[發明專利]旋轉外部加熱式高頻感應超高純鍺單晶制備方法及設備

在審

• 申請號: 202110068511.7
• 申請日: 2021-01-19
• 公開（公告）號: CN112853472A
• 公開（公告）日: 2021-05-28
• 發明（設計）人: 白爾雋
• 申請（專利權）人: 白爾雋
• 主分類號: C30B15/00
• 分類號: C30B15/00;C30B15/14;C30B29/08
• 代理公司: 深圳市遠航專利商標事務所(普通合伙) 44276
• 代理人: 田志遠;袁浩華

1.旋轉外部加熱式高頻感應超高純鍺單晶制備方法，其特征在于，包括商品鍺錠原料的鑄錠及初級純化的步驟、精區熔提純的步驟以及拉制單晶的步驟，

所述商品鍺錠原料的鑄錠及初級純化的步驟中，分別將第一石英舟和原料鍺錠進行初步處理，并將第一石英舟涂碳涂層，后在第一石英舟內對鍺錠初級純化；

所述精區熔提純的步驟中，分別將第二石英舟和初級純化后的鍺錠進行清洗處理，將第二石英舟涂硅層，后在第二石英舟內作精區域提純，得到超高純鍺多晶。

2.根據權利要求1所述的旋轉外部加熱式高頻感應超高純鍺單晶制備方法，其特征在于，通過涂碳涂層設備對第一石英舟涂碳涂層，所述涂碳涂層設備包括潔凈工作臺及位于所述潔凈工作臺內的石英支架、碳涂層噴槍，通過碳涂層噴槍對固定于所述石英支架上的石英舟進行涂層。

3.旋轉外部加熱式高頻感應超高純鍺單晶制備設備，其特征在于，包括籽晶提拉轉動裝置、石英管爐體和旋轉的外加熱裝置，所述籽晶提拉轉動裝置及石英管爐體的底部套在所述外加熱裝置內，

所述籽晶提拉轉動裝置包括套在所述石英管爐體內的石英坩堝和籽晶桿，所述籽晶桿的上端穿出所述石英管爐體后與晶體上升旋轉機構連接；

所述外加熱裝置包括加熱器和套在所述加熱器外部的加熱線圈，所述加熱器通過加熱器旋轉軸與機座連接。

4.根據權利要求3所述的旋轉外部加熱式高頻感應超高純鍺單晶制備設備，其特征在于，所述籽晶桿上設有可伸縮波紋管。

5.根據權利要求4所述的旋轉外部加熱式高頻感應超高純鍺單晶制備設備，其特征在于，所述籽晶桿位于所述石英管爐體頂部外側的部分被包圍于所述可伸縮波紋管內。

6.根據權利要求3所述的旋轉外部加熱式高頻感應超高純鍺單晶制備設備，其特征在于，所述籽晶桿的下端部設有籽晶，作為所述石英坩堝內的鍺熔液拉成超高純鍺單晶。

7.根據權利要求3所述的旋轉外部加熱式高頻感應超高純鍺單晶制備設備，其特征在于，還包括冷卻系統，所述冷卻系統包括設于所述籽晶桿上的水冷裝置及設于所述石英管爐體頂上端不銹鋼蓋的水冷系統。

8.根據權利要求3所述的旋轉外部加熱式高頻感應超高純鍺單晶制備設備，其特征在于，還包括通氣裝置，所述通氣裝置包括設于所述石英管爐體上端不銹鋼蓋的進氣口和出氣口。