[發明專利]差壓式流量計在審
| 申請號： | 202110067631.5 | 申請日： | 2021-01-19 |
| 公開（公告）號： | CN113175962A | 公開（公告）日： | 2021-07-27 |
| 發明（設計）人： | 結城興仁;東條博史;木田希 | 申請（專利權）人： | 阿自倍爾株式會社 |
| 主分類號： | G01F1/34 | 分類號： | G01F1/34 |
| 代理公司： | 上海華誠知識產權代理有限公司 31300 | 代理人： | 肖華 |
| 地址： | 日本東京都千*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 差壓式 流量計 | ||
1.一種差壓式流量計，其特征在于，包括：
使測量對象的流體流通的配管；
差壓生成機構，其設置在所述配管內，使上游側的所述流體和下游側的所述流體之間產生差壓；
第一絕對壓力傳感器，其構成為測量所述差壓生成機構上游側的所述流體的第一絕對壓力；
第二絕對壓力傳感器，其構成為測量所述差壓生成機構下游側的所述流體的第二絕對壓力；
溫度傳感器，其構成為測量所述第一絕對壓力傳感器、所述第二絕對壓力傳感器的周圍溫度；
壓力計算部，其構成為基于由所述溫度傳感器測量的溫度，對所述第一絕對壓力傳感器的輸出信號進行校正而換算成所述第一絕對壓力，并且基于由所述溫度傳感器測量的溫度，對所述第二絕對壓力傳感器的輸出信號進行校正而換算成所述第二絕對壓力；以及
流量計算部，其構成為基于由所述壓力計算部計算出的第一絕對壓力、第二絕對壓力來計算所述流體的流量，
承受所述第一絕對壓力的所述第一絕對壓力傳感器的膜片、承受所述第二絕對壓力的所述第二絕對壓力傳感器的膜片以及所述溫度傳感器被集成在一個傳感器芯片上。
2.根據權利要求1所述的差壓式流量計，其特征在于，
在所述傳感器芯片的內部具有：
承受所述第一絕對壓力的所述第一絕對壓力傳感器的膜片；
承受所述第二絕對壓力的所述第二絕對壓力傳感器的膜片；
所述溫度傳感器；
向所述第一絕對壓力傳感器的膜片傳遞所述第一絕對壓力的第一壓力導入路徑；以及
向所述第二絕對壓力傳感器的膜片傳遞所述第二絕對壓力的第二壓力導入路徑。
3.一種差壓式流量計，其特征在于，包括：
使測量對象的流體流通的配管；
差壓生成機構，其設置在所述配管內，使上游側的所述流體和下游側的所述流體之間產生差壓；
差壓傳感器，其構成為測量所述差壓生成機構上游側的所述流體的第一絕對壓力與所述差壓生成機構下游側的所述流體的第二絕對壓力的差壓；
絕對壓力傳感器，其構成為測量所述第二絕對壓力；
溫度傳感器，其構成為測量所述差壓傳感器和所述絕對壓力傳感器的周圍溫度；
壓力計算部，其構成為基于由所述溫度傳感器測量的溫度對所述差壓傳感器的輸出信號進行校正而換算成差壓，并且基于由所述溫度傳感器測量的溫度對所述絕對壓力傳感器的輸出信號進行校正而換算成第二絕對壓力；以及
流量計算部，其構成為基于由所述壓力計算部計算出的差壓和第二絕對壓力來計算所述流體的流量，
承受所述第一絕對壓力和所述第二絕對壓力的所述差壓傳感器的膜片、承受所述第二絕對壓力的所述絕對壓力傳感器的膜片以及所述溫度傳感器被集成在一個傳感器芯片上。
4.根據權利要求3所述的差壓式流量計，其特征在于，
在所述傳感器芯片的內部具有：
承受所述第一絕對壓力和所述第二絕對壓力的所述差壓傳感器的膜片；
承受所述第二絕對壓力的所述絕對壓力傳感器的膜片；
所述溫度傳感器；
第一壓力導入路徑，其向所述差壓傳感器的膜片的第一面傳遞所述第一絕對壓力；
第二壓力導入路徑，其向所述差壓傳感器的膜片的與所述第一面相反一側的第二面傳遞所述第二絕對壓力；以及
第三壓力導入路徑，其向所述絕對壓力傳感器的膜片傳遞所述第二絕對壓力。
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