[發明專利]一種太陽能生產尾排廢氣回收系統及方法

在審

• 申請號: 202110065777.6
• 申請日: 2021-01-19
• 公開（公告）號: CN112723382A
• 公開（公告）日: 2021-04-30
• 發明（設計）人: 王耀亮;李英輝;趙唯杰
• 申請（專利權）人: 上海躍紳能源科技有限公司
• 主分類號: C01C1/02
• 分類號: C01C1/02;C01B21/04;C01B3/50
• 代理公司: 上海樂泓專利代理事務所(普通合伙) 31385
• 代理人: 蘇杰

本發明的一種太陽能生產尾排廢氣回收系統及方法，負壓緩沖罐接收尾排廢氣并通過過濾器一與過濾器二對尾排廢氣進行一次過濾，過濾后的尾排廢氣通過增壓和二次過濾后輸送至正壓緩沖罐，正壓緩沖罐將二次過濾后的尾排廢氣輸送給一級吸收塔初步吸收廢氣中的氨氣，一級吸收塔的頂部廢氣輸送至二級吸收塔，一級吸收塔的產物稀氨水一部分輸送至氨水提濃模塊，另一部分回流至一級吸收塔，二級吸收塔深度吸收氨氣并產生稀氨水，將吸收后的富含氫氣和氮氣的尾氣輸送給氮氣提純模塊進行回收。通過對電池生產尾排廢氣進行回收得到氨水、氮氣和氫氣，且最終排放的尾氣符合國家排放標準，大幅度降低了氨氮廢水的排放，具有能耗低，安全，經濟性高等特點。

技術領域

本發明屬于廢氣回收技術領域，具體來說是一種太陽能生產尾排廢氣回收系統及方法。

背景技術

目前太陽能電池鍍膜生產采用PECVD工藝，其原理是采用化學氣相沉積(CVD)工藝，將硅烷和氨氣等原材料由不同管道導入CVD系統中，在專用設備反應室中分解成硅、氮等單質，沉積在硅片上生長氮化硅薄膜晶體。鍍膜PECVD生產過程主要的尾排氣系統機臺排放的含氨廢氣。

在電池片鍍膜的生產過程中，氨氣在硅片的表面分解，提供氮原子或含有原子團的氮。實際生產過程中氨氣轉化為N原子和H原子的效率并不高，其余的未反應的氨氣、硅烷會被排出CVD系統形成尾氣。

鍍膜PECVD含氨廢氣的成分包括氨氣、氫氣、氮氣和硅烷源等。由于吹掃氮氣、硅烷燃燒塔空氣的加入，尾氣中實際各組分的大致構成如下：

成分	體積分數
2]]>	1％
3]]>	1％～4％
2]]>	～94％
SiH4	～0％
O2	1％
H2O	1％

現在主流技術，是利用在硅烷燃燒塔后的過濾器下游，在吸收塔中利用純水或者稀硫酸吸收尾氣中的氨氣，尾氣中不凝組分如氫氣，氮氣直接排放大氣。吸收后的氨水濃度比較低，一般小于2％，這部分氨水沒有經濟價值，只能作為氨氮廢水排入廢水池中。該工藝存在以下缺點：

1、氨氮廢水全部進入廢水站，需要在硝化、反硝化消耗大量葡萄糖來使COD達標；

2、氫氣、氮氣在尾氣中直接排放造成浪費；