[發(fā)明專利]納米晶石墨/硼摻雜金剛石復(fù)合材料的制備和用途有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 202110059884.8 | 申請(qǐng)日: | 2021-01-18 |
| 公開(公告)號(hào): | CN112899640B | 公開(公告)日: | 2022-02-18 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 李紅東;崔政;張秋霞;王鵬;袁曉溪;劉鈞松;成紹恒;王啟亮 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人: | 吉林大學(xué) |
| 主分類號(hào): | C23C16/27 | 分類號(hào): | C23C16/27;C23C16/511;G01N27/48 |
| 代理公司: | 長(zhǎng)春吉大專利代理有限責(zé)任公司 22201 | 代理人: | 王恩遠(yuǎn) |
| 地址: | 130012 吉林省長(zhǎng)春市*** | 國省代碼: | 吉林;22 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 納米 晶石 摻雜 金剛石 復(fù)合材料 制備 用途 | ||
本發(fā)明納米晶石墨/硼摻雜金剛石復(fù)合材料的制備和用途,屬于功能復(fù)合結(jié)構(gòu)及其制備和應(yīng)用的技術(shù)領(lǐng)域。本發(fā)明的技術(shù)方案是采用CVD法一步生長(zhǎng)納米晶石墨/硼摻雜金剛石(NG/BDD)復(fù)合電極,并將其作為電化學(xué)電極,檢測(cè)痕量分子。NG的形成是在較高溫度下,在B摻雜的作用下使金剛石(111)面表面發(fā)生重構(gòu)而成。本發(fā)明BDD的(111)面形成大量NG,增加導(dǎo)電性,提升對(duì)檢測(cè)物質(zhì)的吸附提高電化學(xué)電極的檢測(cè)靈敏度,可檢測(cè)多種痕量化學(xué)和生物分子。本發(fā)明電極制備工藝簡(jiǎn)單,便于大規(guī)模制備,并對(duì)金剛石傳感器在檢測(cè)低濃度和痕量化學(xué)和生物分子具有重要意義。
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明屬于功能復(fù)合結(jié)構(gòu)制備和應(yīng)用的技術(shù)領(lǐng)域,涉及一種新型NG/BDD的制備方法及作為高靈敏度電化學(xué)電極的用途。
背景技術(shù)
金剛石是一種具有超高硬度、高導(dǎo)熱系數(shù)、化學(xué)惰性、良好穩(wěn)定性等優(yōu)良性能的功能材料。通過摻入雜質(zhì)(如硼)使其導(dǎo)電,可制作高性能的電化學(xué)電極。
本發(fā)明制備了一種新型納米晶石墨/硼摻雜金剛石(NG/BDD)復(fù)合結(jié)構(gòu),并應(yīng)用于電化學(xué)傳感器的電極,基于此材料制作的傳感器可提升檢測(cè)性能,降低檢測(cè)限,并具有非常好的穩(wěn)定性和可重復(fù)性。
和本發(fā)明接近的現(xiàn)有技術(shù)是公開號(hào)為CN 107119263A,名稱為“一種垂直石墨烯/摻硼金剛石傳感電極的制備方法”的專利申請(qǐng),制備方法是采用電子輔助熱絲化學(xué)氣相沉積(HFCVD)設(shè)備制備摻硼金剛石薄膜,通過金催化物的作用在BDD表面采用等離子體噴射化學(xué)氣相沉積法生長(zhǎng)垂直石墨烯。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明要解決的技術(shù)問題是,通過化學(xué)氣相沉積(CVD)法制備納米晶石墨/硼摻雜金剛石復(fù)合材料,在多晶BDD的(111)晶面生長(zhǎng)NG,并應(yīng)用于電化學(xué)傳感器的電極,具有非常好的穩(wěn)定性和可重復(fù)性。
NG/BDD復(fù)合材料制備的具體技術(shù)方案如下:
一種納米晶石墨/硼摻雜金剛石復(fù)合材料的制備方法,采用微波等離子體化學(xué)氣相沉積法,首先將襯底硅片或鈦片進(jìn)行預(yù)處理放入反應(yīng)室,再進(jìn)行化學(xué)氣相沉積;化學(xué)氣相沉積條件為:以氫氣、甲烷、氣態(tài)硼酸三甲酯為反應(yīng)氣體,氫氣流量150~200sccm,甲烷流量2~5sccm,氣態(tài)硼酸三甲酯流量為1~3sccm,微波功率350~400W,腔體工作氣壓7~8KPa,襯底溫度達(dá)到950~1100℃。
所述的預(yù)處理,首先將襯底清洗去除表面污染物,再將生長(zhǎng)面放在含金剛石粉的砂紙上研磨15分鐘,并放入含有金剛石粉的酒精中超聲處理1小時(shí),最后經(jīng)過丙酮、酒精、去離子水依次超聲清洗,用氮?dú)獯蹈伞?/p>
NG/BDD復(fù)合材料用途的具體技術(shù)方案如下:
一種納米晶石墨/硼摻雜金剛石復(fù)合材料的用途,用于對(duì)對(duì)乙酰氨基酚的檢測(cè)。
進(jìn)一步的,所述的對(duì)乙酰氨基酚的檢測(cè),具體的有制備納米晶石墨/硼摻雜金剛石復(fù)合材料電極和檢測(cè)對(duì)乙酰氨基酚的過程;所述的制備納米晶石墨/硼摻雜金剛石復(fù)合材料電極,首先將襯底硅片或鈦片進(jìn)行預(yù)處理,再放入微波等離子體化學(xué)氣相沉積反應(yīng)室進(jìn)行化學(xué)氣相沉積;化學(xué)氣相沉積條件為:以氫氣、甲烷、氣態(tài)硼酸三甲酯為反應(yīng)氣體,氫氣流量150~200sccm,甲烷流量2~5sccm,氣態(tài)硼酸三甲酯流量為1~3sccm,微波功率350~400W,腔體工作氣壓7~8KPa,襯底溫度達(dá)到950-1100℃,沉積時(shí)間10~15小時(shí),得到納米晶石墨/硼摻雜金剛石復(fù)合材料電極;所述的檢測(cè)對(duì)乙酰氨基酚的過程,以納米晶石墨/硼摻雜金剛石復(fù)合材料電極作為工作電極,鉑絲作為對(duì)電極,甘汞電極作為參比電極,通過電化學(xué)工作站(CHI760E)三電極系統(tǒng)對(duì)被檢測(cè)溶液進(jìn)行電化學(xué)測(cè)試;所述的被檢測(cè)溶液,是pH=7的磷酸鹽緩沖溶液;使用差分常規(guī)脈沖伏安(DNPV)法對(duì)被檢測(cè)溶液進(jìn)行電化學(xué)測(cè)試,根據(jù)陽極峰值電流與對(duì)乙酰氨基酚濃度的線性方程Ip=0.310C+0.014給出檢測(cè)結(jié)果,其中,Ip為陽極峰值電流,單位μΑ,C為對(duì)乙酰氨基酚濃度,單位μΜ。
進(jìn)一步的,襯底溫度優(yōu)選1050℃,沉積時(shí)間優(yōu)選12小時(shí)。
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C23C 對(duì)金屬材料的鍍覆;用金屬材料對(duì)材料的鍍覆;表面擴(kuò)散法,化學(xué)轉(zhuǎn)化或置換法的金屬材料表面處理;真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆
C23C16-00 通過氣態(tài)化合物分解且表面材料的反應(yīng)產(chǎn)物不留存于鍍層中的化學(xué)鍍覆,例如化學(xué)氣相沉積
C23C16-01 .在臨時(shí)基體上,例如在隨后通過浸蝕除去的基體上
C23C16-02 .待鍍材料的預(yù)處理
C23C16-04 .局部表面上的鍍覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金屬材料的沉積為特征的
C23C16-22 .以沉積金屬材料以外之無機(jī)材料為特征的





