[發(fā)明專利]一種間接式X射線平板探測器及其曝光同步方法有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 202110057826.1 | 申請日： | 2021-01-15 |
| 公開（公告）號： | CN112885856B | 公開（公告）日： | 2023-02-03 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 李懿馨 | 申請（專利權(quán)）人： | 上海品臻影像科技有限公司 |
| 主分類號： | H01L27/146 | 分類號： | H01L27/146;G01N23/04 |
| 代理公司： | 北京集佳知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11227 | 代理人： | 王云曉 |
| 地址： | 200331 上*** | 國省代碼： | 上海;31 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 間接 射線 平板 探測器 及其 曝光 同步 方法 | ||
1.一種間接式X射線平板探測器，其特征在于，包括光電檢測面陣；
所述光電檢測面陣中各個(gè)像素均包括一薄膜晶體管以及一光電二極管；所述光電二極管均與對應(yīng)的負(fù)偏壓信號線連接，所述負(fù)偏壓信號線向?qū)?yīng)的所述光電二極管提供預(yù)設(shè)大小的負(fù)偏壓；
所述負(fù)偏壓信號線通過電流比較模塊連接處理器，所述電流比較模塊用于當(dāng)所述負(fù)偏壓信號線內(nèi)電流大于電流閾值時(shí)，向所述處理器發(fā)送觸發(fā)信號；
所述處理器用于根據(jù)所述觸發(fā)信號采集所述光電檢測面陣生成的圖像；
所述處理器具體用于：
根據(jù)所述觸發(fā)信號從所述圖像中確定原始圖像和本底圖像；
將所述原始圖像減去所述本底圖像得到實(shí)際圖像；
所述處理器具體用于：
當(dāng)所述觸發(fā)信號的時(shí)間點(diǎn)對應(yīng)采集時(shí)間時(shí)，略過當(dāng)前剩余的采集時(shí)間；
將所述觸發(fā)信號的時(shí)間點(diǎn)后一采集時(shí)間所采集的圖像作為原始圖像；
將所述觸發(fā)信號的時(shí)間點(diǎn)對應(yīng)的采集時(shí)間所采集到的圖像作為本底圖像中對應(yīng)區(qū)域的圖像；
將所述觸發(fā)信號的時(shí)間點(diǎn)前N倍間隔時(shí)間，或所述原始圖像所對應(yīng)采集時(shí)間后N倍間隔時(shí)間，所采集的圖像中對應(yīng)所述本底圖像中剩余區(qū)域的圖像，作為所述本底圖像中剩余區(qū)域的圖像；所述N不小于2。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的間接式X射線平板探測器，其特征在于，全部所述負(fù)偏壓信號線連接同一負(fù)偏壓信號總線；所述負(fù)偏壓信號總線通過所述電流比較模塊連接所述處理器。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的間接式X射線平板探測器，其特征在于，所述電流比較模塊為運(yùn)算放大器，所述運(yùn)算放大器的輸出端連接所述處理器。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的間接式X射線平板探測器，其特征在于，所述處理器為FPGA。
5.一種間接式X射線平板探測器曝光同步方法，其特征在于，應(yīng)用于處理器，包括：
以相等的間隔時(shí)間采集光電檢測面陣生成的圖像；所述光電檢測面陣中各個(gè)像素均包括一薄膜晶體管以及一光電二極管；所述光電二極管均與對應(yīng)的負(fù)偏壓信號線連接，所述負(fù)偏壓信號線向?qū)?yīng)的所述光電二極管提供預(yù)設(shè)大小的負(fù)偏壓；
獲取電流比較模塊發(fā)送的觸發(fā)信號；所述觸發(fā)信號為所述電流比較模塊當(dāng)所述負(fù)偏壓信號線內(nèi)電流大于電流閾值時(shí)所生成的信號；
根據(jù)所述觸發(fā)信號從所述圖像中確定實(shí)際圖像；
所述根據(jù)所述觸發(fā)信號從所述圖像中確定實(shí)際圖像包括：
根據(jù)所述觸發(fā)信號從所述圖像中確定原始圖像和本底圖像；
將所述原始圖像減去所述本底圖像得到所述實(shí)際圖像；
所述根據(jù)所述觸發(fā)信號從所述圖像中確定原始圖像和本底圖像包括：
當(dāng)所述觸發(fā)信號的時(shí)間點(diǎn)對應(yīng)采集時(shí)間時(shí)，略過當(dāng)前剩余的采集時(shí)間；
將所述觸發(fā)信號的時(shí)間點(diǎn)后一采集時(shí)間所采集的圖像作為原始圖像；
將所述觸發(fā)信號的時(shí)間點(diǎn)對應(yīng)的采集時(shí)間所采集到的圖像作為本底圖像中對應(yīng)區(qū)域的圖像；
將所述觸發(fā)信號的時(shí)間點(diǎn)前N倍間隔時(shí)間，或所述原始圖像所對應(yīng)采集時(shí)間后N倍間隔時(shí)間，所采集的圖像中對應(yīng)所述本底圖像中剩余區(qū)域的圖像，作為所述本底圖像中剩余區(qū)域的圖像；所述N不小于2。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的方法，其特征在于，所述根據(jù)所述觸發(fā)信號從所述圖像中確定原始圖像和本底圖像包括：
當(dāng)所述觸發(fā)信號的時(shí)間點(diǎn)對應(yīng)所述間隔時(shí)間時(shí)，將所述觸發(fā)信號的時(shí)間點(diǎn)前一采集時(shí)間所采集的圖像作為本底圖像，將所述觸發(fā)信號的時(shí)間點(diǎn)后一采集時(shí)間所采集的圖像作為原始圖像。
7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的方法，其特征在于，所述將所述觸發(fā)信號的時(shí)間點(diǎn)前N倍間隔時(shí)間，或所述原始圖像所對應(yīng)采集時(shí)間后N倍間隔時(shí)間，所采集的圖像中對應(yīng)所述本底圖像中剩余區(qū)域的圖像，作為所述本底圖像中剩余區(qū)域的圖像包括：
將所述觸發(fā)信號的時(shí)間點(diǎn)前兩倍間隔時(shí)間，或所述原始圖像所對應(yīng)采集時(shí)間后兩倍間隔時(shí)間，所采集的圖像中對應(yīng)所述本底圖像中剩余區(qū)域的圖像，作為所述本底圖像中剩余區(qū)域的圖像。
8.根據(jù)權(quán)利要求5所述的方法，其特征在于，所述略過當(dāng)前剩余的采集時(shí)間所需的略過時(shí)間小于所述采集時(shí)間的5％。
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H01L 半導(dǎo)體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L27-00 由在一個(gè)共用襯底內(nèi)或其上形成的多個(gè)半導(dǎo)體或其他固態(tài)組件組成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共絕緣襯底上形成的無源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有專門適用于整流、振蕩、放大或切換的半導(dǎo)體組件并且至少有一個(gè)電位躍變勢壘或者表面勢壘的；包括至少有一個(gè)躍變勢壘或者表面勢壘的無源集成電路單元的
H01L27-14 . 包括有對紅外輻射、光、較短波長的電磁輻射或者微粒子輻射并且專門適用于把這樣的輻射能轉(zhuǎn)換為電能的，或適用于通過這樣的輻射控制電能的半導(dǎo)體組件的
H01L27-15 .包括專門適用于光發(fā)射并且包括至少有一個(gè)電位躍變勢壘或者表面勢壘的半導(dǎo)體組件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料結(jié)點(diǎn)的熱電元件的；包括有熱磁組件的
