[發明專利]一種端面泵浦激光晶體散熱用微通道水冷結構

在審

• 申請號: 202110056025.3
• 申請日: 2021-01-15
• 公開（公告）號: CN112968342A
• 公開（公告）日: 2021-06-15
• 發明（設計）人: 劉建彬;衛超奇;周宇;鄭淮斌;陳輝;賀雨晨;徐卓
• 申請（專利權）人: 西安交通大學
• 主分類號: H01S3/04
• 分類號: H01S3/04;H01S3/042;H01S3/06;H01S3/094
• 代理公司: 西安通大專利代理有限責任公司 61200
• 代理人: 高博

1.一種端面泵浦激光晶體散熱用微通道水冷結構，其特征在于，包括微流通道蓋板(1)，微流通道蓋板(1)的一側與二級熱沉(3)的平面側連接，二級熱沉(3)的另一側通過定位槽與一級熱沉(4)連接，一級熱沉(4)上設置有激光晶體(5)；微流通道蓋板(1)與二級熱沉(3)的接觸側設置有臺階(10)，臺階(10)上設置有微流通道，微流通道的一端設置有進水口(8)，另一端對應設置有出水口(9)，微流通道靠近出水口(9)的一側設置有用于形成湍流的阻擋物(11)，一級熱沉(4)和二級熱沉(3)上設置有金剛石薄片(7)。

2.根據權利要求1所述的端面泵浦激光晶體散熱用微通道水冷結構，其特征在于，臺階(10)的高度為0.5～0.7mm，微流通道距離進水口(8)的距離為3～4.5mm。

3.根據權利要求1所述的高功率端面泵浦激光晶體散熱用微通道水冷結構，其特征在于，微流通道的入水口處與形成的湍流相切。

4.根據權利要求1所述的端面泵浦激光晶體散熱用微通道水冷結構，其特征在于，一級熱沉(4)和二級熱沉(3)靠近出水口(9)的一側對應設置有倒置的臺階用于放置金剛石薄片(7)。

5.根據權利要求1所述的端面泵浦激光晶體散熱用微通道水冷結構，其特征在于，激光晶體(5)和一級熱沉(4)的連接處填充金屬銦形成銦封(6)。

6.根據權利要求1所述的端面泵浦激光晶體散熱用微通道水冷結構，其特征在于，微流通道蓋板(1)上與二級熱沉(3)的接觸側開有凹槽(14)，凹槽(14)內設置有密封圈(2)。

7.根據權利要求1所述的端面泵浦激光晶體散熱用微通道水冷結構，其特征在于，阻擋物(11)能夠實現文丘里效應，阻擋物(11)的分布與激光晶體(5)的熱分布一致。

8.根據權利要求1所述的端面泵浦激光晶體散熱用微通道水冷結構，其特征在于，一級熱沉(4)的直角邊與二級熱沉(3)上的定位槽為間隙配合。

9.根據權利要求1所述的端面泵浦激光晶體散熱用微通道水冷結構，其特征在于，一級熱沉(4)與二級熱沉(3)之間，二級熱沉(3)與微流通道蓋板(1)之間均設置有導熱硅脂層。

10.根據權利要求1所述的端面泵浦激光晶體散熱用微通道水冷結構，其特征在于，入水口(8)和出水口(9)采用水冷快擰連接水管，通過外接變頻泵實現流體在管路中的內循環。