[發明專利]一種基于測試載具板的蓄能電容失效檢測方法

在審

• 申請號: 202110053239.5
• 申請日: 2021-01-15
• 公開（公告）號: CN112858792A
• 公開（公告）日: 2021-05-28
• 發明（設計）人: 魏津;張經祥;胡雪原
• 申請（專利權）人: 勝達克半導體科技（上海）有限公司
• 主分類號: G01R27/26
• 分類號: G01R27/26;G01R31/28
• 代理公司: 上海專益專利代理事務所(特殊普通合伙) 31381
• 代理人: 方燕娜;王雯婷

本發明涉及半導體測試技術領域，具體地說是一種基于測試載具板的蓄能電容失效檢測方法。具體測試方法如下：S1：測試載具板與DPS測試電路連接；S2：將測試載具板處于空載狀態下；S3：測試載具板開始運行；S4：預估出蓄能電容的目標電容值C；S5：讀取恒定輸出電壓Vdut及鉗制電流Iclamp；S6：計算測試時間t；S7：設置DPS測試電路的工作參數；S8：觸發DPS測試電路的ForceV模式；S9：計算出實測蓄能電容的電容值C_實測；S10：根據蓄能電容的電容值C_實測的數據，判斷出蓄能電容的失效情況。同現有技術相比，利用自動測試機的現有功能就實現載具電路板上蓄能電容失效的檢測，精準得知載具電路板上蓄能電容的失效情況，并及時處理，確保集成電路芯片測試精準度。

技術領域

本發明涉及半導體測試技術領域，具體地說是一種基于測試載具板的蓄能電容失效檢測方法。

背景技術

一般情況下，在集成電路芯片正常工作時需要穩定的電源。通常設計電路時，在芯片的電源引腳連接電源網絡之處都會在靠近電源引腳的地方布局一些去耦電容，包括容值較小的濾波電容和容值較大的蓄能電容。

對于芯片測試應用，芯片的所有引腳都要一一對接自動測試機的針腳，而且自動測試機內部在針腳和測試電路單元之間往往也有較長的內部線纜連接。所以，當被測芯片裝載到測試載具電路板上的時候，對芯片而言，其電源引腳一般沒有機會連接大面積覆銅的電源網絡。在這種情況下，為了準確測試被測芯片的功能和性能，更加需要在測試載具板上靠近芯片電源引腳的地方就近連接一些去耦電容。

但是，這些去耦電容當中，容值較大的蓄能電容會帶來一個問題：當需要測試被測芯片的靜態直流泄露電流IDDQ的指標時，蓄能電容會帶來明顯的誤差。所以當測試程序的測試項執行至測量IDDQ時，需要切斷蓄能電容到被測芯片電源引腳的連接。也就是說蓄能電容的連接需要設計為可通可斷。通常用繼電器來實現這種通斷切換，在設計測試載具電路板的時候要有繼電器串聯在蓄能電容和電源網絡之間。

然而，測試載具電路板在使用過程中會發生各種故障，其中有一種典型的失效場景就是蓄能電容相關的電路失效。例如：繼電器失效、蓄能電容失效、電路連接斷路或短路、電容的用料錯誤。這一類失效都會表現出蓄能電容的容值異常，因此，測量電容容值即可診斷出測試載具電路板的這一類失效。

這種失效通常會導致被測芯片的良率降低或性能降低，但是測試過程和良率相關的因素太多了，因此這種失效具有一定的隱蔽性。在通常的測試條件下，對于蓄能電容容值是否異常，并沒有針對性的檢測手段和方案。因此對于良率偏低的原因調查時，往往先排查了很多其他因素，才輪到檢查載具電路板的蓄能電容這個環節。這往往耗費很多時間。

發明內容

本發明為克服現有技術的不足，提供一種基于測試載具板的蓄能電容失效檢測方法，利用自動測試機的現有功能就實現載具電路板上蓄能電容失效的檢測。

為實現上述目的，設計一種基于測試載具板的蓄能電容失效檢測方法，包括DPS測試電路、測試載具板，其特征在于：具體測試方法如下：

S1：自動測試機的測試載具板與DPS測試電路連接；

S2：將測試載具板處于沒有被測芯片的空載狀態下；

S3：測試載具板開始運行；

S4：根據測試載具電路板的參數，預估出蓄能電容的目標電容值C；

S5：根據測試程序的數據，讀取恒定輸出電壓Vdut及鉗制電流Iclamp；

S6：計算測試時間t；

S7：設置DPS測試電路的工作參數；

S8：自動測試機的主控模塊觸發DPS測試電路的ForceV模式；

S9：計算出實測蓄能電容的電容值C_實測；

S10：根據測得的蓄能電容的電容值C_實測的數據，判斷出蓄能電容的失效情況。