[發明專利]錫槽裝置

有效

• 申請號: 202110050680.8
• 申請日: 2021-01-14
• 公開（公告）號: CN112794628B
• 公開（公告）日: 2022-07-19
• 發明（設計）人: 李青;李赫然;王偉偉;王耀君;張鉆;胡恒廣
• 申請（專利權）人: 河北光興半導體技術有限公司;東旭光電科技股份有限公司;東旭科技集團有限公司
• 主分類號: C03B18/16
• 分類號: C03B18/16;C03B18/20
• 代理公司: 北京英創嘉友知識產權代理事務所(普通合伙) 11447
• 代理人: 金蘭

1.一種錫槽裝置，其特征在于，所述錫槽裝置包括錫槽罩（10）、設置于該錫槽罩（10）內部的多個第一分隔板（101）與多個第二分隔板（102），多個所述第一分隔板（101）沿所述錫槽罩（10）的前后方向延伸并沿所述錫槽罩（10）的左右方向間隔設置，多個所述第二分隔板（102）沿所述錫槽罩（10）的左右方向延伸并沿該錫槽罩（10）的前后方向間隔設置，多個所述第一分隔板（101）和/或多個所述第二分隔板（102）限定出多個下端開放并用于與錫液槽內的錫液相對的分隔區域（100），

所述錫槽裝置還包括與每個所述分隔區域（100）一一對應設置的混合管路（1）、第一管路（2）、第二管路（3）、以及能夠進行開度大小調節的第一閥門（21）與第二閥門（31）；所述第一管路（2）的入口端用于與氫氣源連通，所述第一管路（2）的出口端用于與所述混合管路（1）的入口端連通，所述第一閥門（21）設置于所述第一管路（2）；所述第二管路（3）的入口端用于與氮氣源連通，所述第二管路（3）的出口端用于與所述混合管路（1）的入口端連通，所述第二閥門（31）設置于所述第二管路（3）；多個所述混合管路（1）的多個出口端用于與多個所述分隔區域（100）分別一一對應連通；

多個所述分隔區域（100）包括用于與流入所述錫液上表面的玻璃帶相對設置的中部分隔區域組（103）、以及用于與所述玻璃帶左右兩側邊緣外的所述錫液相對設置的邊部分隔區域組（104），且在所述錫槽裝置處于工作狀態時，滿足：所述中部分隔區域組（103）中的每個所述分隔區域（100）對應的所述第一閥門（21）及所述第二閥門（31）分別處于關閉狀態和打開狀態；所述邊部分隔區域組（104）中的每個所述分隔區域（100）對應的所述第一閥門（21）和所述第二閥門（31）均處于打開狀態；

所述錫槽裝置還包括壓力檢測單元（4）以及控制器（5），所述壓力檢測單元（4）、所述第一閥門（21）以及所述第二閥門（31）均與所述控制器（5）電連接，每個所述分隔區域（100）中均設置有所述壓力檢測單元（4），且在所述錫槽裝置處于工作狀態下時，滿足：

在所述邊部分隔區域組（104）中的任一所述分隔區域（100）對應的所述壓力檢測單元（4）檢測的第一壓力大于所述中部分隔區域組（103）中任一所述分隔區域（100）對應的所述壓力檢測單元（4）檢測的第二壓力時，

所述控制器（5）調節所述邊部分隔區域組（104）中該分隔區域（100）對應的所述第一閥門（21）和所述第二閥門（31）、以及所述中部分隔區域組（103）中該分隔區域（100）對應的所述第一閥門（21）和所述第二閥門（31）的開度大小，以使所述第一壓力小于所述第二壓力。

2.根據權利要求1所述的錫槽裝置，其特征在于，在所述錫槽裝置處于工作狀態下時，還滿足：

在所述中部分隔區域組（103）或所述邊部分隔區域組（104）中，當位于后方的所述分隔區域（100）對應的所述壓力檢測單元（4）檢測的第三壓力小于位于前方的所述分隔區域（100）對應的所述壓力檢測單元（4）檢測的第四壓力時，

所述控制器（5）調節該位于后方的所述分隔區域（100）對應的所述第一閥門（21）和所述第二閥門（31）、以及該位于前方的所述分隔區域（100）對應的所述第一閥門（21）和所述第二閥門（31）的開度大小，以使所述第三壓力大于所述第四壓力。

3.根據權利要求1-2中任意一項所述的錫槽裝置，其特征在于，所述第一分隔板（101）和所述第二分隔板（102）的上邊緣均與所述錫槽罩（10）的頂壁（105）的內側抵接，所述第一分隔板（101）和所述第二分隔板（102）的下邊緣均與所述錫槽罩（10）開放端處的頂蓋磚（106）的上表面抵接；

至少部分地所述第一分隔板（101）的前邊緣與所述錫槽罩（10）的前側壁（107）的內側抵接，至少部分地所述第一分隔板（101）的后邊緣與所述錫槽罩（10）的后側壁（108）的內側抵接；所述第二分隔板（102）的左邊緣與所述錫槽罩（10）的左側壁（109）的內側抵接，所述第二分隔板（102）的右邊緣與所述錫槽罩（10）的右側壁（110）的內側抵接。