[發(fā)明專利]一種垂直曝光及檢測裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202110050549.1
• 申請日: 2021-01-14
• 公開（公告）號: CN112882350B
• 公開（公告）日: 2022-05-24
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 倪沁心;陳建明;陳鐵玉;梁添貴;楊大昆
• 申請（專利權(quán)）人: 廣東華恒智能科技有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 東莞市華南專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 44215
• 代理人: 黃焯輝

本發(fā)明涉及曝光裝置技術(shù)領(lǐng)域，尤其是指一種垂直曝光及檢測裝置，其包括機(jī)架以及均裝設(shè)在機(jī)架上的曝光裝置、菲林檢測裝置和用于將物料的傳輸方向垂直于所述機(jī)架進(jìn)行輸送的垂直輸送料機(jī)構(gòu)，所述垂直輸送料機(jī)構(gòu)輸送的物料經(jīng)過所述曝光裝置進(jìn)行曝光；所述菲林檢測裝置包括拉菲林機(jī)構(gòu)以及菲林檢測機(jī)構(gòu)；所述曝光裝置垂直設(shè)置于所述機(jī)架上；所述機(jī)架上裝設(shè)有擋板，所述曝光裝置和所述垂直輸送料機(jī)構(gòu)均位于所述擋板的一側(cè)，所述菲林檢測裝置位于所述擋板的另一側(cè)。本發(fā)明結(jié)構(gòu)新穎，減少粘附在物料上的灰塵，并且可以減少傳輸時(shí)的磨損；可以有效提高檢測效率，能夠及時(shí)檢測和處理，縮短檢測時(shí)間，提高工作效率和生產(chǎn)效率；工作穩(wěn)定性高。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及曝光裝置技術(shù)領(lǐng)域，尤其是指一種垂直曝光及檢測裝置。

背景技術(shù)

近年來，隨著材料等基礎(chǔ)產(chǎn)業(yè)的技術(shù)進(jìn)步，使電路的設(shè)計(jì)和生產(chǎn)技術(shù)獲得了較大發(fā)展，各種新的設(shè)計(jì)理念得到了廣泛的應(yīng)用和推廣，電子產(chǎn)品的市場趨勢皆走向追求輕薄化，使用電路的基材由傳統(tǒng)的玻璃、硅晶圓轉(zhuǎn)向薄化玻璃、金屬箔與塑膠基板等軟性材料取代，亦即現(xiàn)在泛稱的軟性電子(或可撓式電子)。曝光機(jī)是用于線路板行業(yè)的一種設(shè)備，它通過紫外光等將印刷制版所用的膠片上的圖像信息轉(zhuǎn)移到涂有感光物質(zhì)(如干膜)的覆銅板上。印刷制版所用的膠片，被稱為菲林片，采用光匯機(jī)匯制，是印制板制造工序的第一道工序；現(xiàn)有的曝光機(jī)將菲林片與覆銅板進(jìn)行對準(zhǔn)后進(jìn)行加工，如需要對菲林進(jìn)行檢測，需要停下曝光機(jī)拆卸下工作平臺，取出菲林進(jìn)行檢測，工作效率低，操作困難，使用不便，而且容易附著灰塵。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明針對現(xiàn)有技術(shù)的問題提供一種垂直曝光及檢測裝置，結(jié)構(gòu)新穎，減少粘附在物料上的灰塵，并且可以減少傳輸時(shí)的磨損；可以有效提高檢測效率，能夠及時(shí)檢測和處理，縮短檢測時(shí)間，提高工作效率和生產(chǎn)效率；工作穩(wěn)定性高。

為了解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明采用如下技術(shù)方案：

本發(fā)明提供的一種垂直曝光及檢測裝置，包括機(jī)架以及均裝設(shè)在機(jī)架上的曝光裝置、菲林檢測裝置和用于將物料的傳輸方向垂直于所述機(jī)架進(jìn)行輸送的垂直輸送料機(jī)構(gòu)，所述垂直輸送料機(jī)構(gòu)輸送的物料經(jīng)過所述曝光裝置進(jìn)行曝光；所述菲林檢測裝置包括用于將菲林拉出的拉菲林機(jī)構(gòu)以及用于對菲林進(jìn)行檢測的菲林檢測機(jī)構(gòu)；所述曝光裝置垂直設(shè)置于所述機(jī)架上；所述機(jī)架上裝設(shè)有擋板，所述曝光裝置和所述垂直輸送料機(jī)構(gòu)均位于所述擋板的一側(cè)，所述菲林檢測裝置位于所述擋板的另一側(cè)。

其中，所述擋板開設(shè)有與拉菲林機(jī)構(gòu)對應(yīng)的開槽。

其中，所述拉菲林機(jī)構(gòu)包括拉料底座、拉料驅(qū)動(dòng)件、滑動(dòng)設(shè)置在拉料底座的拉料滑座以及裝設(shè)在拉料滑座的拉料頭；所述拉料驅(qū)動(dòng)件裝設(shè)在拉料底座上；所述拉菲林機(jī)構(gòu)還包括限位頂座，所述拉料底座的上端面和所述限位頂座的下端面均設(shè)置有用于與菲林配合滑動(dòng)的限位滑槽，所述限位滑槽的內(nèi)壁一側(cè)一排式等間隔轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)置有多個(gè)導(dǎo)滑輪。

其中，所述拉料頭為電控磁鐵。

其中，所述菲林檢測機(jī)構(gòu)設(shè)置有兩個(gè)且分別位于拉菲林機(jī)構(gòu)兩側(cè)；所述菲林檢測機(jī)構(gòu)包括活動(dòng)架、裝設(shè)在活動(dòng)架前端的檢測器以及用于驅(qū)使所述活動(dòng)架移動(dòng)的XYZ三軸移動(dòng)模組，所述XYZ三軸移動(dòng)模組裝設(shè)在機(jī)架上。

其中，所述垂直輸送料機(jī)構(gòu)包括均轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)置于擋板的上輸送料輥和下輸送料輥，所述上輸送料輥位于所述下輸送料輥的正上方。

其中，所述曝光裝置包括正對設(shè)置的兩個(gè)安裝支架以及兩個(gè)菲林，所述安裝支架上裝設(shè)有菲林支架，所述菲林包括菲林框架以及裝設(shè)在菲林框架內(nèi)的菲林本體；所述菲林框架滑動(dòng)限位安裝在所述菲林支架；

所述曝光裝置還包括正對設(shè)置的兩個(gè)曝光機(jī)構(gòu)，兩個(gè)曝光機(jī)構(gòu)分別位于兩個(gè)安裝支架相互遠(yuǎn)離的一側(cè)面，所述曝光機(jī)構(gòu)包括曝光支架、裝設(shè)在曝光支架的曝光升降驅(qū)動(dòng)件以及與曝光升降驅(qū)動(dòng)件的輸出端連接的曝光器。