[發明專利]一種光纖級波導芯片多輸出耦合裝置

在審

• 申請號: 202110050448.4
• 申請日: 2021-01-14
• 公開（公告）號: CN112904498A
• 公開（公告）日: 2021-06-04
• 發明（設計）人: 馮吉軍;莊山慶;陳劍
• 申請（專利權）人: 蘇州科沃微電子有限公司;上海理工大學
• 主分類號: G02B6/42
• 分類號: G02B6/42
• 代理公司: 上海灣谷知識產權代理事務所(普通合伙) 31289
• 代理人: 倪繼祖

1.一種光纖級波導芯片多輸出耦合裝置，其特征在于，包括：

光學平臺(101)；

安裝在所述光學平臺(101)上，用于固定波導芯片并調整波導芯片位置的芯片固定裝置(200)；

以所述芯片固定裝置(200)為中心成品字形布置安裝在所述光學平臺(101)上，用于實現錐頭光纖-波導芯片-錐頭光纖的耦合雙輸出檢測的耦合系統(300)；以及

一方面用于吸附波導芯片，另一方面用于吸附錐頭光纖的真空吸附系統。

2.根據權利要求1所述的光纖級波導芯片多輸出耦合裝置，其特征在于，還包括：安裝在所述光學平臺(101)上，用于在耦合過程中實時觀測錐頭光纖及波導芯片在水平方向和垂直方向上的位置匹配狀況的成像系統。

3.根據權利要求1所述的光纖級波導芯片多輸出耦合裝置，其特征在于，所述芯片固定裝置(200)包括：

用于放置波導芯片，表面開設有多個氣孔，內部與所述真空吸附系統連通的芯片座(205)；

用于固定所述芯片座(205)的固定座(204)；

用于固定所述固定座(204)，并調整所述固定座(204)角度的角度分度盤(203)；

用于固定所述角度分度盤(203)，并調整所述角度分度盤(203)在空間直角坐標系中三個方向位置的第一三軸調整平臺(202)；以及

用于固定所述第一三軸調整平臺(202)，并固定安裝在所述光學平臺(101)上的第一底座(201)。

4.根據權利要求3所述的光纖級波導芯片多輸出耦合裝置，其特征在于，所述耦合系統包括：位于所述芯片固定裝置(200)右側的右側耦合裝置，以及位于所述芯片固定裝置(200)左側并前后對稱布置的兩個左側耦合裝置；

所述右側耦合裝置包括：

與錐頭光纖固定相連的光纖連接軸(305)；

用于固定所述光纖連接軸(305)的連接座(304)；

用于固定連接所述連接座(304)的連接平臺(303)；

用于固定所述連接平臺(303)，并調整所述連接平臺(303)在空間直角坐標系中三個方向位置的第二三軸調整平臺(302)；以及

用于固定所述第二三軸調整平臺(302)，并安裝在所述光學平臺(101)上的第二底座(301)；

所述左側耦合裝置包括：

安裝在所述光學平臺(101)上的第三底座(306)；

固定在所述第三底座(306)上，用于調節十二個自由度的六軸調整平臺(307)；以及

安裝在所述六軸調整平臺(307)上，由所述六軸調整平臺(307)調節十二個自由度，并且內部與所述真空吸附系統連通的錐頭光纖吸附座(308)；

其中，兩個所述錐頭光纖吸附座(308)相對并各自吸附一個錐頭光纖，兩個錐頭光纖平行；

兩個所述錐頭光纖吸附座(308)左側的所述光學平臺(101)上固定有用于支撐兩個所述錐頭光纖吸附座(308)所吸附的兩個錐頭光纖的光纖支撐座(311)。

5.根據權利要求4所述的光纖級波導芯片多輸出耦合裝置，其特征在于，所述錐頭光纖吸附座(308)開設有用于連通所述真空吸附系統的螺紋孔(3081)，所述錐頭光纖吸附座(308)前端表面開設有連通所述螺紋孔(3081)的兩組氣孔(3082)，兩組氣孔(3082)中間的所述錐頭光纖吸附座(308)端部開設有凹槽(3083)；

所述錐頭光纖吸附座(308)端部邊沿設有兩個半徑不同的彎曲部(3084)。

6.根據權利要求4所述的光纖級波導芯片多輸出耦合裝置，其特征在于，所述真空吸附系統包括：真空泵(401)、兩個一分二轉換接頭(402)以及三個分別螺紋連通所述芯片座(205)、兩個錐頭光纖吸附座(308)的外螺紋直通接頭(404)；

第一個所述一分二轉換接頭(402)的輸入端連通所述真空泵(401)，一個輸出端通過透明軟氣管(403)連接螺紋連通所述芯片座(205)的外螺紋直通接頭(404)，另一個輸出端通過第二個所述一分二轉換接頭(402)和透明軟氣管(403)連接螺紋連通兩個錐頭光纖吸附座(308)的外螺紋直通接頭(404)。