[發(fā)明專利]可變網(wǎng)格低質量MEMS反射鏡

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202110049540.9
• 申請日: 2021-01-14
• 公開（公告）號: CN112817146B
• 公開（公告）日: 2023-09-01
• 發(fā)明（設計）人: 凱文·亞蘇穆拉
• 申請（專利權）人: 谷歌有限責任公司
• 主分類號: G02B26/08
• 分類號: G02B26/08
• 代理公司: 中原信達知識產權代理有限責任公司 11219
• 代理人: 周亞榮;鄧聰惠

1.一種用于光通信的組件，包括：

具有周邊和第一表面的區(qū)域；

至少第一旋轉軸線和第二旋轉軸線；以及

在所述第一表面上的層，所述層包括可變網(wǎng)格圖案，其中，所述可變網(wǎng)格圖案包括多個肋，所述多個肋中的每個肋在所述第一旋轉軸線附近具有第一寬度，并且在所述第一表面的遠離所述第一旋轉軸線的部分處具有第二寬度，所述第一寬度大于所述第二寬度，其中，與在所述周邊附近相比，所述多個肋中的每個肋在所述第二旋轉軸線附近具有更大的寬度。

2.根據(jù)權利要求1所述的組件，其中，所述第一寬度逐漸減小到所述第二寬度。

3.根據(jù)權利要求1所述的組件，其中，所述層具有跨所述第一表面分布的質量，使得與靠近所述周邊的部分相比，所述第一表面的中心部分承載更大比例的質量。

4.根據(jù)權利要求1所述的組件，其中，所述可變網(wǎng)格圖案是對稱圖案。

5.根據(jù)權利要求1所述的組件，其中，所述多個肋是互連的。

6.根據(jù)權利要求1所述的組件，其中，所述組件是反射鏡，并且所述第一表面是背側非反射表面。

7.根據(jù)權利要求1所述的組件，其中，所述至少一個旋轉軸線跨所述組件的中心部分延伸，使得所述多個肋中的每個肋的第一寬度靠近所述組件的中心部分，并且該肋的第二寬度靠近所述周邊。

8.一種微機電系統(tǒng)(MEMS)反射鏡組合，包括：

含有多個空腔的板；

至少一個反射鏡，所述至少一個反射鏡具有能夠繞至少第一軸線和第二軸線旋轉的反射器區(qū)域，所述至少一個反射鏡具有周邊和第一表面，所述至少一個反射鏡位于所述多個空腔中的相應一個空腔內，

其中，所述反射器區(qū)域包括：

在所述第一表面上的層，所述層包括可變網(wǎng)格圖案，其中，所述可變網(wǎng)格圖案包括多個肋，所述多個肋中的每個肋在所述第一軸線附近具有第一寬度，并且在所述第一表面的遠離所述第一軸線的部分處具有第二寬度，所述第一寬度大于所述第二寬度，其中，與在所述周邊附近相比，所述多個肋中的每個肋在所述第二軸線附近具有更大的寬度。

9.根據(jù)權利要求8所述的MEMS反射鏡組合，其中，所述第一寬度過渡到所述第二寬度。

10.根據(jù)權利要求9所述的MEMS反射鏡組合，其中，所述過渡包括逐漸減小。

11.根據(jù)權利要求8所述的MEMS反射鏡組合，其中，所述層具有跨所述第一表面分布的質量，使得與靠近所述周邊的部分相比，所述第一表面的中心部分承載更大比例的質量。

12.根據(jù)權利要求8所述的MEMS反射鏡組合，其中，所述可變網(wǎng)格圖案是對稱圖案。

13.一種用于制作光通信組件的方法，包括：

將一個層施加到微機電系統(tǒng)(MEMS)反射鏡的反射器區(qū)域的非反射表面上，所述反射器區(qū)域由周邊限定并且能夠繞至少第一軸線旋轉；和

在所述層中形成可變網(wǎng)格圖案，其中，所述可變網(wǎng)格圖案限定多個肋，所述多個肋中的每個肋在所述反射器區(qū)域的中心附近具有第一寬度，并且在所述周邊附近具有第二寬度，所述第一寬度大于所述第二寬度，其中，所述反射鏡的所述反射器區(qū)域能夠進一步繞第二軸線旋轉，并且其中，與在所述周邊附近相比，所述多個肋中的每個肋在所述第二軸線附近具有更大的寬度。

14.根據(jù)權利要求13所述的方法，其中，形成所述可變網(wǎng)格圖案包括從所述非反射表面去除所述層的至少一部分以產生所述多個肋。

15.根據(jù)權利要求14所述的方法，其中，去除所述層的至少一部分包括在給定區(qū)域中去除小于所述層的整個深度。