[發明專利]一種自動化旋轉多管陣列式設備

在審

• 申請號: 202110045089.3
• 申請日: 2021-01-13
• 公開（公告）號: CN114763604A
• 公開（公告）日: 2022-07-19
• 發明（設計）人: 郝奕舟
• 申請（專利權）人: 廣州墨羲科技有限公司
• 主分類號: C23C16/455
• 分類號: C23C16/455
• 代理公司: 廣州科沃園專利代理有限公司 44416
• 代理人: 陸豐艷

本發明公開了一種自動化旋轉多管陣列式設備，包括兩個以上單管裝置和放置架，所述單管裝置包括管道和爐體，所述管道的一端安裝有第一密封件，所述第一密封件與第一旋轉件連接，所述第一旋轉件與第一固定件連接，所述第一旋轉件上設有第一旋轉件軸承座；所述管道的另一端安裝有第二密封件，所述第二密封件與第二旋轉件連接，所述第二旋轉件與第二固定件連接，所述第二旋轉件上設有第二旋轉件軸承座和皮帶固定輪，所述皮帶固定輪通過皮帶連接皮帶轉動裝置，所述兩個以上單管裝置組成多管陣列。本發明的工藝進行過程中可以同時原位對管道進行軸向旋轉，提高管道內部的均勻性，實現管道反應區和反應物的軸向旋轉。

技術領域

本發明屬于化學氣相沉積設備領域，具體地涉及一種自動化旋轉多管陣列式設備。

背景技術

大部分設備只能同時開啟運行一個或兩個管道，并且需要人工更換管道和管道處的密封件(包括法蘭，密封圈等)，人工更換管道速度較慢，在更換過程中不能保證管道和密封件的相對位置完全固定不變，在長時間多次使用中可能導致密封效果變差，需要反復多次調試，影響效率。此外單管或雙管設備只能同時運行1-2個工藝，效率低，設備成本高。

傳統設備的管道在工藝時完全固定不動，無法進行旋轉，有時會造成管道上下不均勻；其次，傳統的設備的結構無法實現自動化，也無法繼續增加管道數量，特別是當管道數量較多(管道數量8)時，處于中間位置的管道和密封件等由于受到相鄰位置管道和密封件的阻隔(如空間阻隔)和運行影響(如高溫，帶電等)，難于通過人工的方式對靠中間位置的管道進行操作。

發明內容

本發明的目的是提供一種自動化旋轉多管陣列式設備，以增加設備中管道數量，增加可同時開啟運行的工藝數量，添加管道旋轉功能，同時實現設備的全自動化運行，大幅增加設備工作效率。

為達到上述目的，本發明的技術方案如下：

本發明公開了一種自動化旋轉多管陣列式設備，所述單管裝置包括管道和爐體，所述爐體上設有管道孔，所述管道通過所述管道孔安裝在爐體上，所述管道的一端安裝有第一密封件，所述第一密封件與第一旋轉件與連接，所述第一旋轉件與第一固定件連接，所述第一旋轉件上設有第一旋轉件軸承座；所述管道的另一端安裝有第二密封件，所述第二密封件與第二旋轉件連接，所述第二旋轉件與第二固定件連接，所述第二旋轉件上設有第二旋轉件軸承座和皮帶固定輪，所述皮帶固定輪通過皮帶連接皮帶轉動裝置，所述皮帶轉動裝置控制所述皮帶固定輪轉動從而帶動所述管道的軸向旋轉；所述第一固定件固定安裝在第一固定架上，所述第二固定件安裝在第二固定架上，所述第一固定架和第二固定架均安裝于所述放置架的滑軌上；所述爐體也設置于滑軌上，可在滑軌上左右移動；所述滑軌設置于所述放置架的底部，所述放置架的頂部設置有運行導軌，所述運行導軌上安裝有一套機械手；所述兩個以上單管裝置上下和/或左右平行安裝，組成多管陣列。

進一步地，所述第一密封件和第二密封件均包括法蘭、密封圈、墊片和彈片，所述第一密封件和第二密封件均通過所述密封圈和管道緊密接觸密封安裝。

進一步地，所述第一旋轉件和第二旋轉件均還包括旋轉軸承和旋轉膠圈。

進一步地，所述第一固定架和第二固定架均與遠端控制器建立通訊連接。

進一步地，所述機械手與所述遠端控制器建立通訊連接。

進一步地，所述安裝方法包括以下步驟：

步驟S1，所述遠端控制器預設所述管道的安裝位置、所述第一固定架和第二固定架移動的起始位置、移動距離以及鎖定位置，所述遠端控制器預設所述密封圈與管道的壓緊壓力；

步驟S2，所述遠端控制器控制機械手到達所述管道的安裝位置，控制機械手抓取所述管道的一端，將所述管道穿過所述管道孔安裝在爐體上，后所述遠端控制器控制所述機械手抓取管道的兩端位置；