[發明專利]濾波器、多工器以及電子設備

有效

• 申請號: 202110045085.5
• 申請日: 2021-01-13
• 公開（公告）號: CN113162578B
• 公開（公告）日: 2023-04-07
• 發明（設計）人: 邊子鵬;龐慰
• 申請（專利權）人: 諾思（天津）微系統有限責任公司
• 主分類號: H03H9/17
• 分類號: H03H9/17;H03H9/02
• 代理公司: 北京漢智嘉成知識產權代理有限公司 11682
• 代理人: 姜勁;谷惠敏

1.一種濾波器，所述濾波器包含多個諧振器，其特征在于，至少兩個所述諧振器的底電極包括從下至上依次堆疊的第一底電極、隔離層和第二底電極，所述第一底電極的邊緣和所述第二底電極的邊緣電連接，至少一個所述諧振器中的所述第一底電極上具有電隔離溝槽，所述電隔離溝槽將所述第一底電極分為第一底電極隔離島區和第一底電極邊緣區，所述第一底電極隔離島區通過第一金屬連接過孔與襯底下方的焊盤相連，再通過布線層和/或其他金屬連接過孔連接到所述濾波器的電路節點上。

2.根據權利要求1所述的濾波器，其特征在于，所述隔離層為空氣腔或介質層。

3.根據權利要求2所述的濾波器，其特征在于，所述空氣腔的厚度為0.05μm至3μm。

4.根據權利要求2所述的濾波器，其特征在于，所述空氣腔的厚度為0.01μm至5μm。

5.根據權利要求2所述的濾波器，其特征在于，所述電隔離溝槽的寬度為0.5um至15um。

6.根據權利要求1所述的濾波器，其特征在于，所述第一底電極隔離島區的形狀與所述諧振器的有效區域形狀相同。

7.根據權利要求6所述的濾波器，其特征在于，所述第一底電極隔離島區的形狀為圓形或多邊形。

8.根據權利要求1所述的濾波器，其特征在于，所述至少兩個所述諧振器，為所述濾波器中的所有諧振器。

9.根據權利要求1所述的濾波器，其特征在于，所述濾波器包括具有所述電隔離溝槽的諧振器R1與不具有所述電隔離溝槽的諧振器R2，其中，所述諧振器R1與所述諧振器R2通過頂電極相互電連接，所述諧振器R1的第一底電極隔離島區和所述諧振器R2的第一底電極均通過第一金屬連接過孔與各自的焊盤相連，再通過布線層將兩個所述焊盤相連。

10.根據權利要求1所述的濾波器，其特征在于，具有電隔離溝槽的諧振器的數量為多個，所述多個具有電隔離溝槽的諧振器通過頂電極相互電連接，所述多個具有電隔離溝槽的諧振器的第一底電極隔離島區各自通過所述第一金屬連接過孔與襯底下方的焊盤相連，再通過所述襯底下方的布線層彼此相連。

11.根據權利要求1所述的濾波器，其特征在于，所述濾波器包括具有所述電隔離溝槽的諧振器R1與不具有所述電隔離溝槽的諧振器R2，其中，所述諧振器R1的頂電極和所述諧振器R2的底電極通過第二金屬連接過孔相互電連接，所述諧振器R1的第一底電極隔離島區和所述諧振器R2的第一底電極均通過所述第一金屬連接過孔與各自的焊盤相連，然后再通過所述布線層將所述兩個焊盤相連。

12.根據權利要求1所述的濾波器，其特征在于，所述濾波器包括具有所述電隔離溝槽的諧振器R1與不具有所述電隔離溝槽的諧振器R2，其中，所述諧振器R1的頂電極和所述諧振器R2的頂電極通過頂電極金屬層進行電連接，諧振器R1的第一底電極隔離島區通過第一金屬連接過孔與諧振器R1的焊盤相連，在布線層設置電感器并將其一端與諧振器R1的焊盤相連，諧振器R1和諧振器R2均通過底電極與外電路相連，諧振器R2的焊盤與地相連。

13.根據權利要求1所述的濾波器，其特征在于，所述濾波器包括具有所述電隔離溝槽的諧振器R1與不具有所述電隔離溝槽的諧振器R2，其中，所述諧振器R1第二底電極和所述諧振器R2的第二底電極通過第二底電極金屬層進行電連接，所述諧振器R1的第一底電極隔離島區通過所述第一金屬連接過孔與在所述布線層設置的電感線圈的第一端相連，所述電感線圈的第二端接地，諧振器R1和諧振器R2均通過頂電極金屬層與外電路相連。