[發(fā)明專利]涂布裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202110044860.5
• 申請(qǐng)日: 2021-01-13
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN113117970B
• 公開(kāi)（公告）日: 2023-01-31
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 西尾勤
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 中外爐工業(yè)株式會(huì)社
• 主分類號(hào): B05C5/02
• 分類號(hào): B05C5/02;B05C11/10
• 代理公司: 上海專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 31100
• 代理人: 馬淑香

在被涂布體(W)之上使涂布用噴嘴(10)與被涂布體相對(duì)地移動(dòng)，在將涂布用噴嘴的涂液收容部(11)內(nèi)的涂液從狹縫狀排出口(11)向被涂布體的表面涂布涂液(P)時(shí)，在涂液供給裝置(20)與涂布用噴嘴之間設(shè)置有：控制機(jī)構(gòu)(22)，該控制機(jī)構(gòu)對(duì)向涂液收容部的涂液的供給和停止進(jìn)行控制；涂布寬度調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)(13、13)，該涂布寬度調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)對(duì)將涂液收容部?jī)?nèi)的涂液從狹縫狀排出口向被涂布體的表面涂布的涂液的涂布寬度進(jìn)行調(diào)節(jié)；以及氣體供給機(jī)構(gòu)(30)，該氣體供給機(jī)構(gòu)以恒定的壓力向涂液收容部?jī)?nèi)供給氣體，使存儲(chǔ)在涂液收容部?jī)?nèi)的涂液排出。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種涂布裝置，該涂布裝置將在前端部設(shè)置有排出涂液收容部?jī)?nèi)的涂液的狹縫狀排出口的涂布用噴嘴配置在被涂布體之上，并且從涂液供給裝置向該涂布用噴嘴內(nèi)部的涂液收容部?jī)?nèi)供給涂液，使所述被涂布體和涂布用噴嘴相對(duì)地移動(dòng)，從而使涂液收容部?jī)?nèi)的涂液穿過(guò)所述狹縫狀排出口而涂布到被涂布體的表面。特別地具有如下特征：一邊如上所述使被涂布體和涂布用噴嘴相對(duì)地移動(dòng)，穿過(guò)設(shè)置于涂布用噴嘴的狹縫狀排出口向被涂布體的表面涂布涂液，一邊改變向被涂布體的表面涂布的涂液的寬度，在向被涂布體的表面以成為圓形狀等各種形狀的方式涂布涂液的情況下，能夠以所涂布的涂液的厚度不會(huì)產(chǎn)生不均勻等的方式進(jìn)行涂布。

背景技術(shù)

以往，廣泛利用如下的涂布裝置：將在前端部設(shè)置有排出涂液收容部?jī)?nèi)的涂液的狹縫狀排出口的涂布用噴嘴設(shè)置在被涂布體之上，并且從涂液供給裝置穿過(guò)涂液供給管向該涂布用噴嘴內(nèi)部的涂液收容部?jī)?nèi)供給涂液，使所述被涂布體和涂布用噴嘴相對(duì)地移動(dòng)，從而使涂液收容部?jī)?nèi)的涂液穿過(guò)所述狹縫狀排出口而涂布到被涂布體的表面。

并且，近年來(lái)，如專利文獻(xiàn)1～4等所示，提出了如下的技術(shù)：在如上所述的涂布裝置中，在將收容于涂布用噴嘴的涂液收容部?jī)?nèi)的涂液從設(shè)置在涂布用噴嘴的前端的狹縫狀排出口向被涂布體的表面涂布時(shí)，一邊向被涂布體的表面涂布涂液，一邊改變所涂布的涂液的寬度，并向晶片等被涂布體的表面以成為圓形狀等各種形狀的方式涂布涂液。

在此，如上所述，在從涂液供給裝置穿過(guò)涂液供給管向涂布用噴嘴內(nèi)部的涂液收容部?jī)?nèi)供給涂液，并從狹縫狀排出口向被涂布體的表面進(jìn)行涂布時(shí)，在一邊向被涂布體的表面涂布涂液，一邊改變涂布的涂液的寬度的情況下，即使從涂液供給裝置向涂液供給管供給涂液的壓力恒定，在從涂液供給裝置穿過(guò)涂液供給管向涂液收容部供給涂液時(shí)也會(huì)產(chǎn)生配管壓損(壓力損失)，從而與改變涂液的寬度而從狹縫狀排出口排出的涂液的量的變化對(duì)應(yīng)地，該配管壓損改變，因此，存在如下問(wèn)題：在涂布的涂液的寬度較寬的部分，被涂布體的表面的涂液的膜厚變薄，另一方面，在涂布的涂液的寬度較窄的部分，被涂布體的表面的涂液的膜厚變厚，從而難以以恒定的膜厚向一個(gè)被涂布體的表面涂布涂液。

因此，在專利文獻(xiàn)3、專利文獻(xiàn)4中，示出了如下內(nèi)容：在從涂液供給裝置穿過(guò)涂液供給管向涂液收容部?jī)?nèi)供給涂液時(shí)，對(duì)穿過(guò)涂液供給管向涂液收容部?jī)?nèi)供給的涂液的壓力進(jìn)行調(diào)節(jié)，以使該涂液收容部?jī)?nèi)的涂液的液壓恒定的方式供給涂液，即使在向被涂布體的表面涂布的涂液的寬度發(fā)生變化的情況下，也使涂液以恒定的膜厚向被涂布體的表面涂布。

但是，在這樣對(duì)從涂液供給裝置穿過(guò)涂液供給管向涂液收容部?jī)?nèi)供給的涂液的壓力進(jìn)行調(diào)節(jié)，以使該涂液收容部?jī)?nèi)的涂液的液壓恒定的方式向涂液收容部?jī)?nèi)供給涂液的情況下，存在結(jié)構(gòu)復(fù)雜、控制非常麻煩，難以將涂液收容部?jī)?nèi)的涂液的液壓調(diào)節(jié)為恒定，從而以恒定的膜厚向被涂布體的表面涂布涂液的問(wèn)題。

現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)1：日本專利特開(kāi)2014-22545號(hào)公報(bào)

專利文獻(xiàn)2：日本專利特開(kāi)2012-120938號(hào)公報(bào)

專利文獻(xiàn)3：日本特許第4040144號(hào)公報(bào)

專利文獻(xiàn)4：日本專利特開(kāi)2018-69230號(hào)公報(bào)

發(fā)明內(nèi)容

發(fā)明要解決的技術(shù)問(wèn)題