[發(fā)明專利]一種開方機加工質(zhì)量綜合評價方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202110039772.6
• 申請日: 2021-01-13
• 公開（公告）號: CN112857279B
• 公開（公告）日: 2022-12-30
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 仇健;劉崇寧
• 申請（專利權(quán)）人: 青島高測科技股份有限公司
• 主分類號: G01B21/00
• 分類號: G01B21/00;G01B21/08;G01B21/20;G01B21/24;G01B21/30
• 代理公司: 北京同輝知識產(chǎn)權(quán)代理事務所(普通合伙) 11357
• 代理人: 于晶晶

本發(fā)明公開一種開方機加工質(zhì)量綜合評價方法，包括加工效率、加工精度、表面質(zhì)量以及過程數(shù)據(jù)中的至少一種。本申請通過直線度或平面度兩種機制，對被測點采取相同的測量流程來測量尺寸精度，再經(jīng)過不同的處理手段，獲得更加準確的切割面信息，流程簡單易操作；精度要求更加嚴格，有利于把控產(chǎn)品的成品質(zhì)量；通過統(tǒng)計分析加工誤差分布，找出誤差大致分布的位置，有助于獲得相關(guān)信息調(diào)整誤差分布，并作為修改工藝的依據(jù)，提高成品合格率；結(jié)合尺寸精度和表面粗糙度、波紋度以及線痕評價，可以對宏觀和微觀質(zhì)量同時進行評價；對能夠反映加工過程的物理量，如金剛線張力、切割軸扭矩等數(shù)據(jù)中的至少一種進行評價，反映加工過程狀況，綜合評價加工質(zhì)量。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明屬于開方機加工工藝技術(shù)領(lǐng)域，具體地說涉及一種開方機加工質(zhì)量綜合評價方法。

背景技術(shù)

現(xiàn)階段對硅棒開方后精度的評價方法主要是極差方法。極差的定義是硅棒毛坯在開方后測量相對面上的各相對位置點厚度，如前后面或上下面，統(tǒng)計各測點位置厚度的最大值和最小值，并計算最大值和最小值的差值即為極差。現(xiàn)行極差方法反映加工精度的指標不全面，測量數(shù)據(jù)與實際精度相比偏小。例如，硅棒開方獲得的加工型面存在一種情況：各位置對稱面上的誤差分布規(guī)律相同，一種可能是加工形狀完美，各位置沒有較大精度偏差，如圖1所示；另一種可能是各位置的對稱面都向同一方向變形，如圖2所示，這種情況下測得的極差反映效果較好，但是零件型面合格率不高，無法真實反映開方機的加工質(zhì)量，不利于改善開方產(chǎn)品的成品質(zhì)量。另外，極差方法也沒有能夠反映表面質(zhì)量的參數(shù)評定，不能對宏觀和微觀質(zhì)量同時進行評價，更沒有反映加工狀態(tài)的物理指標。

因此，現(xiàn)有技術(shù)還有待于進一步發(fā)展和改進。

發(fā)明內(nèi)容

針對現(xiàn)有技術(shù)的種種不足，為了解決上述問題，現(xiàn)提出一種開方機加工質(zhì)量綜合評價方法。本發(fā)明提供如下技術(shù)方案：

一種開方機加工質(zhì)量綜合評價方法，包括加工效率、加工精度、表面質(zhì)量以及過程數(shù)據(jù)中的至少一種，所述加工精度包括分別測量評價開方后硅棒的對稱面極差、各平面的最大直線度偏差或最大平面度偏差、截面形狀、長度方向形狀以及輪廓形狀中的一種或多種。

進一步的，所述加工精度的測量評價的方法包括：在開方后硅棒上的每個面至少沿寬度方向取3個測點，沿長度方向至少取3個測點，即共計至少9個測點。

進一步的，所述對稱面極差包括前后面極差和上下面極差，所述對稱面極差的測量方法包括：

計算每個測點前后面或上下面之間的厚度；

統(tǒng)計所有前后面或上下面的厚度最大值和最小值；

計算前后面或上下面厚度最大值和最小值的差值即為前后面極差或上下面極差。

進一步的，所述最大直線度偏差測量方法包括：

選取沿長度方向至少3個測點的連線為測量直線，并測量其直線度；

選取每一面直線度的最大值作為最大直線度；

計算前后面或上下面的最大直線度之和即為前后面或上下面的最大直線度偏差。

進一步的，所述最大平面度偏差測量方法包括：

測量每個面每個測點的尺寸并計算平面度；

計算前后面或上下面的平面度之和即為前后面或上下面的最大平面度偏差。

進一步的，所述截面形狀的測量方法包括：

測量開方后硅棒的頭尾兩端每一面測點的誤差；

基于每一面測點的誤差分別繪制頭尾兩端正方形或矩形截面的誤差曲線；

將頭尾兩端的誤差曲線疊加到一個基準正方形上，得到截面形狀。