[發明專利]一種XY運動臺及運動裝置

有效

• 申請號: 202110039666.8
• 申請日: 2021-01-13
• 公開（公告）號: CN112355990B
• 公開（公告）日: 2021-04-20
• 發明（設計）人: 江旭初;袁嘉欣;吳火亮;陳嘯虎;唐艷文
• 申請（專利權）人: 上海隱冠半導體技術有限公司
• 主分類號: B25H1/10
• 分類號: B25H1/10;B25H1/14
• 代理公司: 北京品源專利代理有限公司 11332
• 代理人: 胡彬

1.一種XY運動臺，其特征在于，包括：

基座（1），其具有與XY平面平行的基準面；

X向導軌單元（2），固設于所述基準面上且沿X方向延伸，所述X向導軌單元（2）沿Y方向相對且間隔設置有兩個；

Y向導軌單元（3），其沿Y方向延伸，所述Y向導軌單元（3）的兩端分別與兩個所述X向導軌單元（2）滑動連接；

安裝件（4），其與所述Y向導軌單元（3）滑動連接，所述安裝件（4）具有位于所述Y向導軌單元（3）上方的安裝面；

氣足（8），其與所述安裝件（4）連接，所述氣足（8）具有吸附于所述基準面上的第一狀態和氣浮支承于所述基準面上的第二狀態；

X向驅動裝置（5），其與所述Y向導軌單元（3）連接，用于驅動所述Y向導軌單元（3）沿所述X方向運動；

Y向驅動裝置（6），其與所述安裝件（4）連接，用于驅動所述安裝件（4）相對所述Y向導軌單元（3）沿所述Y方向運動；

所述Y向導軌單元為機械導軌結構；

所述XY運動臺還包括柔性件（7），所述柔性件（7）在Z方向的剛度小于所述柔性件（7）在所述X方向和所述Y方向的剛度，所述安裝件（4）通過所述柔性件（7）與所述Y向導軌單元（3）連接。

2.根據權利要求1所述的XY運動臺，其特征在于，所述Y向導軌單元（3）包括Y向固定座（31），所述Y向固定座（31）沿X方向的相對兩側均設置有Y向導軌（32），每個所述Y向導軌（32）上均滑動連接有Y向滑塊（33）；

所述安裝件（4）包括位于所述Y向固定座（31）上方的安裝板（41）和設置于所述Y向固定座（31）沿Y方向相對兩側的兩個轉接塊（42），所述安裝板（41）的上表面形成所述安裝面，每個所述轉接塊（42）和對應的所述Y向滑塊（33）之間連接有所述柔性件（7）。

3.根據權利要求2所述的XY運動臺，其特征在于，所述柔性件（7）包括相對且間隔設置的導軌連接部（73）和轉接連接部（71）以及連接于所述導軌連接部（73）和所述轉接連接部（71）之間的柔性部（72），所述柔性部（72）為與XY平面平行的板狀結構，且所述柔性部（72）的厚度小于所述導軌連接部（73）的厚度及所述轉接連接部（71）的厚度，所述導軌連接部（73）與所述Y向滑塊（33）連接，所述轉接連接部（71）與所述轉接塊（42）連接。

4.根據權利要求3所述的XY運動臺，其特征在于，所述導軌連接部（73）和所述轉接連接部（71）為相互平行的板狀結構，所述柔性部（72）分別與所述導軌連接部（73）和所述轉接連接部（71）垂直連接。

5.根據權利要求2-4任一項所述的XY運動臺，其特征在于，所述Y向固定座（31）的上表面開設有安裝槽（311），所述Y向驅動裝置（6）包括Y向定子（61）和與所述Y向定子（61）驅動配合的Y向動子（62），所述Y向定子（61）沿所述Y方向延伸且至少下端容納于所述安裝槽（311）中，所述Y向動子（62）與所述安裝件（4）連接。

6.根據權利要求2-4任一項所述的XY運動臺，其特征在于，所述氣足（8）位于所述Y向固定座（31）的下方，且所述Y向固定座（31）下表面與所述氣足（8）上表面之間具有間隙，兩個所述轉接塊（42）的下端均與所述氣足（8）連接。

7.根據權利要求6所述的XY運動臺，其特征在于，所述氣足（8）的下表面設置有預載腔（83），所述氣足（8）包括位于所述預載腔（83）上方的氣足本體（81）和設于所述預載腔（83）周圍的氣浮部（82），所述氣浮部（82）的底部開設有氣浮孔（821），所述預載腔（83）用于形成使所述氣足（8）吸附于所述基座（1）的預載力，所述預載力為真空預載力或磁吸預載力。