[發(fā)明專利]一種用于硅片線切割的切割設備

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202110038056.6
• 申請日: 2021-01-12
• 公開（公告）號: CN112606235B
• 公開（公告）日: 2022-12-20
• 發(fā)明（設計）人: 余友宇
• 申請（專利權）人: 盛吉盛精密制造（紹興）有限公司
• 主分類號: B28D5/00
• 分類號: B28D5/00;B28D5/04
• 代理公司: 合肥利交橋專利代理有限公司 34259
• 代理人: 劉冉

1.一種用于硅片線切割的切割設備，包括機身，其特征在于：所述機身內設有加工腔，所述加工腔下側壁體設有切割腔，所述加工腔左右側的所述機身內設有用于硅棒切割的硅棒切割裝置，所述硅棒切割裝置包括設置于所述機身下側的帶輪腔一，所述帶輪腔一右側設有齒輪腔一，所述齒輪腔一下側壁體內固設有電機，所述電機動力輸出軸上固設有轉動安裝于所述齒輪腔一上側壁體的轉軸一，所述帶輪腔一上側的所述機身內設有帶輪腔二，關于所述切割腔左右側的所述帶輪腔二上側設有對稱的線輪腔一，所述線輪腔一上側設有齒輪腔二，所述齒輪腔二與所述線輪腔一之間轉動設有轉軸二，位于所述切割腔左側的所述線輪腔一與所述帶輪腔一之間轉動設有轉軸三，位于所述切割腔右側的所述線輪腔一與所述帶輪腔二之間轉動設有轉軸四，所述帶輪腔一內的所述轉軸三上固設有帶輪一，所述齒輪腔一內的所述轉軸一上固設有帶輪二，所述帶輪二與所述帶輪一之間設有同步帶一，所述帶輪腔二內的所述轉軸三上固設有帶輪一，所述帶輪腔二內的所述轉軸四上固設有帶輪三，所述帶輪三與所述帶輪一之間設有同步帶二，所述線輪腔一前后側壁體上轉動設有轉軸五，位于所述切割腔左側的所述轉軸五上固設有用于放線的放線輪，位于所述切割腔右側的所述轉軸五上側固設有用于收線的收線輪，所述放線輪和所述收線輪前側的所述轉軸五上固設有錐齒輪一，所述線輪腔一內的所述轉軸三和所述轉軸四上固設有與所述錐齒輪一嚙合連接的錐齒輪二，所述線輪腔一靠近于所述加工腔一側所述機身內設有導線輪腔一，所述導線輪腔一前后側壁體上轉動設有導線輪轉軸，所述導線輪轉軸上固設有導線輪腔二，所述線輪腔一靠近于所述切割腔一側設有線輪腔二，所述線輪腔二前后側壁體上轉動設有轉軸六，所述轉軸六上固設有導輪，所述放線輪提供的金剛線，金剛線通過位于所述切割腔左側的導線輪腔二纏繞到導輪上，然后與位于所述切割腔右側的所述導輪進行纏繞，從而在位于所述切割腔左右側的導輪上側來回纏繞N個來回，然后通過位于所述切割腔右側的所述導輪繞到位于所述切割腔有的所述導線輪腔二進行傳導，再然后通過所述收線輪進行收回，所述加工腔左右側設有用于硅片切割時進行降溫的散熱裝置，所述切割腔左側有設有用于阻隔冷卻液的阻隔板裝置，所述加工腔上側的所述機身內設有用于硅塊進行運送切斷的運送裝置；所述散熱裝置包括對稱設置于所述加工腔左右側的導流槽，所述導流槽固定安裝于所述加工腔下側壁體上，所述加工腔用于冷卻液的導流，位于所述加工腔左側的所述機身上側設有冷卻液箱，所述冷卻液箱下側設有轉接管四，所述轉接管四與所述冷卻液箱之間設有流出管，所述加工腔左右側的壁體上固設有對稱的噴頭，所述噴頭遠離于所述加工腔一側的所述機身內固設有水泵，位于所述加工腔左側的所述水泵與所述轉接管四之間設有液體管一，所述水泵與所述齒輪腔二之間轉動設有轉軸七，所述齒輪腔二內的所述轉軸二上固設有齒輪一，所述齒輪腔二內的所述轉軸七上固設有與所述齒輪一嚙合連接的齒輪二，所述線輪腔一內的所述轉軸二上固設有與所述錐齒輪一嚙合連接的錐齒輪三，所述切割腔下側壁體內固設有過濾網(wǎng)，所述過濾網(wǎng)內設有電動水泵，所述電動水泵左側設有連出管，所述轉接管四左側設有進行接頭，所述連出管與所述進行接頭連通，所述冷卻液箱與所述進行接頭之間設有液體管二；所述阻隔板裝置包括對稱設置于切割腔左側的隔液板，所述隔液板下側固定安裝于切割腔下側壁體上，所述隔液板上側固定安裝于所述導流槽下側壁體上，所述線輪腔二與所述切割腔之間設有用于出金剛線的滑腔一，所述滑腔一上下側壁體內設有對稱的滑腔二，所述滑腔二內滑動設有滑塊，所述滑塊與所述滑腔二底壁之間設有能夠伸縮的伸縮彈簧一，所述滑腔一內滑動設有與所述滑塊固定安裝的夾緊塊，所述夾緊塊與滑塊能夠防止所述切割腔內的冷卻液進行到線輪腔二內。

2.根據(jù)權利要求1所述的一種用于硅片線切割的切割設備，其特征在于：所述運送裝置包括對稱設置于所述齒輪腔一前后側的帶輪腔三，所述帶輪腔三與所述齒輪腔一之間轉動設有轉軸八，所述加工腔上側的所述機身內設有齒輪腔三，所述齒輪腔三右側壁體內設有滑槽，所述滑槽內滑動設有齒條推桿，所述齒條推桿下側固設有輔助卡塊，所述輔助卡塊下側設有用于硅片固定固定塊，所述固定塊能夠滑入到輔助卡塊內進行卡緊安裝，所述齒輪腔三前后的所述機身內設有對稱的齒輪腔四，所述齒輪腔四之間轉動設有轉軸九，所述齒輪腔三內的所述轉軸九上固設有與所述齒條推桿左側壁體內齒條嚙合連接的齒輪三，所述齒輪腔四內的所述轉軸九上固設有齒輪四，所述帶輪腔三與所述齒輪腔四之間轉動設有轉軸十，所述齒輪腔四內的所述轉軸十上花鍵嚙合連接有花鍵轉軸，所述花鍵轉軸遠離于所述齒輪腔三一側壁體上固設有電磁鐵一，所述電磁鐵一遠離于所述齒輪腔三一側的所述轉軸十上固設有電磁鐵二，所述電磁鐵二與所述電磁鐵一之間設有能夠伸縮的伸縮彈簧二，所述帶輪腔三內的所述轉軸十上固設有大帶輪，所述帶輪腔三內的所述轉軸八上固設有小帶輪，所述大帶輪與所述小帶輪之間設有傳動帶，對所述齒輪腔三前后側的所述電磁鐵一和所述電磁鐵二進行通電，能夠實現(xiàn)所述齒輪腔三前側或者后的齒輪四和花鍵轉軸嚙合連接或者脫離嚙合連接，從而實現(xiàn)轉軸九的正反轉，從而能夠實現(xiàn)硅棒的向下運輸切割或者向上運輸送出，加工腔前側壁體上固設有用于硅棒運輸進出的門。