[發明專利]基于元素碲光熱電效應的柔性長波紅外陣列探測器在審
| 申請號： | 202110037306.4 | 申請日： | 2021-01-12 |
| 公開（公告）號： | CN114764029A | 公開（公告）日： | 2022-07-19 |
| 發明（設計）人： | 姜鵬;陸曉偉;包信和 | 申請（專利權）人： | 中國科學院大連化學物理研究所 |
| 主分類號： | G01J5/14 | 分類號： | G01J5/14 |
| 代理公司： | 大連東方專利代理有限責任公司 21212 | 代理人： | 姜玉蓉;李洪福 |
| 地址： | 116000 遼寧*** | 國省代碼： | 遼寧;21 |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 基于 元素 熱電 效應 柔性 長波 紅外 陣列 探測器 | ||
【權利要求書】：
1.基于元素碲光熱電效應的柔性長波紅外陣列探測器，其特征在于，包括：所述探測器為平面型金屬-半導體-金屬結構；所述探測器的像素建立在溫差的方向平行于所述探測器所在平面；所述金屬-半導體-金屬結構為半導體的兩端沉積金屬電極。
2.根據權利要求1所述的基于元素碲光熱電效應的柔性長波紅外陣列探測器，其特征在于，所述探測器為非對稱金屬電極結構；像元一側電極為抑制電極對紅外光的吸收，降低電極處溫升的金、鋁；另一側電極則為易與元素碲發生反應、形成窄帶隙合金的銀、鈦、鉍、鉻、銅。
3.根據權利要求1所述的基于元素碲光熱電效應的柔性長波紅外陣列探測器，其特征在于，所述探測器通過物理氣相沉積即磁控濺射、熱蒸發、分子束外延或者電子束蒸發的方式生長均勻性高的碲薄膜，通過基于金屬掩?；蛘吖饪痰奶卓躺商綔y器。
4.根據權利要求1所述的基于元素碲光熱電效應的柔性長波紅外陣列探測器，其特征在于，為加強電極與元素碲之間的相互擴散、化學反應以構造異質結、降低接觸電阻，可在高溫下沉積金屬電極，沉積溫度在室溫至300℃。
5.根據權利要求1所述的基于元素碲光熱電效應的柔性長波紅外陣列探測器，其特征在于，所述探測器采用低熱導率即導電率小于3Wm-1K-1的聚合物薄膜作為襯底。
下載完整專利技術內容需要扣除積分，VIP會員可以免費下載。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息，商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于中國科學院大連化學物理研究所，未經中國科學院大連化學物理研究所許可，擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作，請聯系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/202110037306.4/1.html，轉載請聲明來源鉆瓜專利網。
