[發明專利]加工裝置

在審

• 申請號: 202110036686.X
• 申請日: 2021-01-12
• 公開（公告）號: CN113199353A
• 公開（公告）日: 2021-08-03
• 發明（設計）人: 宮本弘樹;山中聰
• 申請（專利權）人: 株式會社迪思科
• 主分類號: B24B19/22
• 分類號: B24B19/22;B24B41/00;B24B41/02;B24B41/04;B24B41/06;B24B47/12;B24B47/20;B24B47/22;B24B49/12;B24B55/03;B24B55/04;B24B55/06
• 代理公司: 北京三友知識產權代理有限公司 11127
• 代理人: 喬婉;于靖帥

本發明提供加工裝置，減少將被加工物搬送至卡盤工作臺時換持被加工物的次數。根據中心坐標識別單元所識別的晶片(100)的中心坐標，按照使機器人(155)所保持的晶片(100)的中心(201)與卡盤工作臺(30)的保持面(32)的中心(203)一致的方式將晶片(100)保持于保持面(32)上。由此，能夠不使用暫放工作臺而將晶片(100)適當地保持于保持面(32)上。因此，與不使用暫放工作臺相對應地減少換持晶片(100)的次數，因此能夠減少晶片(100)的污染和破損的風險，并且能夠降低將晶片(100)保持于保持面(32)所花費的時間。

技術領域

本發明涉及加工裝置。

背景技術

在專利文獻1和專利文獻2所公開的全自動磨削裝置中，利用磨削磨具對卡盤工作臺所吸引保持的被加工物進行磨削。

在全自動磨削裝置中，通過機器人將收納于盒的被加工物搬送至暫放工作臺而暫放。使用搬入單元的搬送墊對暫放于暫放工作臺的被加工物進行保持而搬送至卡盤工作臺。利用磨削磨具對卡盤工作臺所吸引保持的被加工物進行磨削。另外，通過搬出單元的搬送墊對磨削后的被加工物進行保持，從卡盤工作臺搬送至旋轉清洗單元。通過機器人將通過旋轉清洗單元進行了清洗的被加工物收納于盒中。由此，結束磨削加工。

專利文獻1：日本特開2018-027594號公報

專利文獻2：日本特開2019-084646號公報

在以往的全自動磨削裝置中，如上述那樣利用暫放工作臺換持被加工物，因此產生換持時間。另外，由于換持被加工物，被加工物和暫放工作臺接觸，因此有時會在被加工物上附著灰塵、或使被加工物破損。

發明內容

因此，本發明的目的在于，減少將被加工物從盒搬送至卡盤工作臺時換持被加工物的次數，從而抑制灰塵附著于被加工物并抑制被加工物的破損。

本發明的加工裝置(本加工裝置)具有：盒，其具有沿上下方向配置的多個擱板；盒載臺，其載置該盒；卡盤工作臺，其通過保持面對被加工物進行保持；搬送單元，其對收納于該盒的被加工物進行保持并將被加工物從該盒搬送至該卡盤工作臺；以及加工單元，其對該卡盤工作臺所保持的被加工物進行加工，其中，該加工裝置還具有：拍攝單元，其對該搬送單元所保持的被加工物進行拍攝；中心坐標識別單元，其根據該拍攝單元進行拍攝而獲取的拍攝圖像來識別被加工物的中心坐標；以及控制單元，其根據該中心坐標識別單元所識別的該中心坐標而控制該搬送單元，按照使該搬送單元所保持的被加工物的中心與該卡盤工作臺的該保持面的中心一致的方式將被加工物保持于該保持面上。

另外，在本加工裝置中，該搬送單元可以具有：機器人，其安裝有對收納于該盒的被加工物進行保持的機器人手臂；以及搬入機構，其接受該機器人手臂所保持的被加工物并搬入至該卡盤工作臺的該保持面上，該拍攝單元對該機器人手臂所保持的被加工物進行拍攝，該控制單元根據該中心坐標識別單元所識別的該中心坐標而通過該搬入機構將被加工物按照使該保持面的中心與被加工物的中心一致的方式保持于該保持面上。

另外，在本加工裝置中，被加工物可以具有作為表示晶體取向的標記的切口或定向平面，該保持面具有轉印被加工物而得的形狀，具有與該標記對應的標記對應部，該加工裝置還具有：標記識別單元，其根據該拍攝單元進行拍攝而得到的該拍攝圖像來識別該標記的位置；旋轉單元，其使該卡盤工作臺以該保持面的中心為軸而旋轉；以及標記對位控制單元，其控制該旋轉單元以便使該保持面的該標記對應部與該搬送單元所保持的被加工物的該標記一致。

在本加工裝置中，控制單元根據中心坐標識別單元所識別的被加工物的中心坐標而控制搬送單元，按照使搬送單元所保持的被加工物的中心與卡盤工作臺的保持面的中心一致的方式將被加工物保持于保持面上。這樣，在本加工裝置中，能夠不使用暫放工作臺而將被加工物適當地保持于保持面上。因此，與不使用暫放工作臺相對應地，減少換持被加工物的次數，因此能夠減少在被加工物上附著灰塵而污染、或使被加工物破損的風險。另外，能夠降低將被加工物從盒取出并載置于保持面的時間。