[發(fā)明專利]半導體測試機測試結果實時分析

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202110034635.3
• 申請日: 2021-01-19
• 公開（公告）號: CN114814503A
• 公開（公告）日: 2022-07-29
• 發(fā)明（設計）人: 楊磊
• 申請（專利權）人: 蘇州七劍軟件有限公司
• 主分類號: G01R31/26
• 分類號: G01R31/26
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本發(fā)明提供一種實時分析半導體測試機測試數(shù)據(jù)的方法，包括：實時數(shù)據(jù)讀取步驟和實時分析步驟，實時數(shù)據(jù)讀取步驟以固定頻率對測試文件進行讀取。實時分析步驟對讀取到的數(shù)據(jù)根據(jù)規(guī)則進行拆解合并，得到單條的完整數(shù)據(jù)供分析。本發(fā)明的實時分析半導體測試機測試數(shù)據(jù)的方法，對測試文件實時分析，以幫助及時快速發(fā)現(xiàn)測試過程中的異常，將生產(chǎn)損失降到最低。

技術領域

本發(fā)明涉及一種實時分析半導體測試機測試數(shù)據(jù)的方法，屬于半導體測試領域。

背景技術

在半導體測試行業(yè)，測試機臺測試結果大都以STDF(標準測試數(shù)據(jù)格式)格式保存。這種格式是以二進制存儲測試數(shù)據(jù)，具有人類不可讀的特點。現(xiàn)有的系統(tǒng)都是在晶圓測試完成后，將測試文件導入專門的分析軟件進行分析，這種分析手段太滯后，分析的結果只能對后續(xù)的圓晶測試起到一個參考矯正的作用，而且因為接下來的圓晶測試過程中也沒法實時分析，導致校準是否準確也無法及時驗證。

發(fā)明內容

本發(fā)明的目的在于提供一種實時分析測試機測試數(shù)據(jù)的方法，及時快速發(fā)現(xiàn)測試過程中的異常，將生產(chǎn)損失降到最低。

本發(fā)明采用了如下技術方案：

一種實時分析測試機測試數(shù)據(jù)的方法，其特征在于，包括：

實時數(shù)據(jù)讀取步驟和實時分析步驟，

實時數(shù)據(jù)采集步驟如下：

步驟一：監(jiān)聽是否有新的測試文件產(chǎn)生，

步驟二：依固定頻率檢查文件的大小是否增加，若是，進入步驟三，否則進入步驟四，

步驟三：如果當前讀取的測試文件增長，繼續(xù)讀取增長的數(shù)據(jù)，

步驟四：將新文件設置為讀取對象，

步驟五：重復步驟一到四。

實時分析步驟如下：

步驟六：首先建立一個緩存，命名為ByteBuffer，初始時為0字節(jié)，

步驟七：讀取文件新增數(shù)據(jù)，

步驟八：將新讀取到的數(shù)據(jù)與緩存ByteBuffer中的數(shù)據(jù)合并，

步驟九：判斷L(ByteBuffer)+L(Data)的大小是否大于等于4字節(jié)，若是，則進入步驟十一，若否，則進入步驟十，

步驟十：結果為小于說明本次收到的Header數(shù)據(jù)不完整，長度不夠，將數(shù)據(jù)存入緩存ByteBuffer，

步驟十一：取讀取到的數(shù)據(jù)前4個字節(jié)，然后進入步驟十二，

步驟十二：初始化一個STDF Header，

步驟十三：判斷Header數(shù)據(jù)是否有效，若是，則進入步驟十七，若否，進入步驟十四，

步驟十四：判斷STDF Header記錄要求的的Record長度和L(Data)-L(Header)的長度，若小于，進入步驟十五，否則進入步驟十六，

步驟十五：結果為小于說明本次需要的Record數(shù)據(jù)不完整，長度不夠，將數(shù)據(jù)存入緩存 ByteBuffer，

步驟十六：結果為大于等于，讀取L(Record)長度的數(shù)據(jù)，進入步驟十七，

步驟十七：解析一條完整的STDF記錄，

其中,L(Record)是數(shù)據(jù)包中一條完整的記錄去掉Header部分剩余的長度，

L(ByteBuffer)是上次緩存中長度，

L(Data)是此次讀取到的數(shù)據(jù)長度，