[發明專利]功率器件測試探針卡用磁力式泄壓結構的安裝方法

有效

• 申請號: 202110032430.1
• 申請日: 2020-07-01
• 公開（公告）號: CN112649630B
• 公開（公告）日: 2022-08-16
• 發明（設計）人: 趙梁玉;王艾琳;王興剛;周明
• 申請（專利權）人: 強一半導體（蘇州）有限公司
• 主分類號: G01R1/067
• 分類號: G01R1/067;G01R1/073;G01R31/26;G01R35/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本發明功率器件測試探針卡用磁力式泄壓結構的安裝方法屬于半導體器件測試技術領域；該方法首先將調整件倒置，將環形磁鐵套在接觸端上，并旋擰上磁鐵固定端，將環形磁鐵固定；然后將調整件正置，調整件的接觸端旋擰入泄壓孔中；再將閥門件倒置，將下方粘貼有密封墊的圓形磁鐵放入閥門件的階梯通孔中；接著將遮擋環安裝在閥門件的階梯通孔中；最后將閥門件正置，將閥門件的連接件旋擰入泄壓孔中；本發明功率器件測試探針卡用磁力式泄壓結構的安裝方法應用于功率器件測試探針卡，能夠同時抑制高電壓環境下探針之間非正常放電和高溫度環境下探針卡翹曲變形和探針位置漂移。

本申請是發明專利申請《功率器件測試探針卡用磁力式泄壓結構及其安裝標定方法》的分案申請。

原案申請日：2020-07-01。

原案申請號：2020106210545。

原案發明名稱：功率器件測試探針卡用磁力式泄壓結構及其安裝標定方法。

技術領域

本發明功率器件測試探針卡用磁力式泄壓結構的安裝方法屬于半導體器件測試技術領域。

背景技術

隨著MEMS技術和半導體技術的不斷發展，小型化高功率器件的產量逐年攀升。很多器件要在高電壓和高溫度環境下進行工作。確保這些器件能夠在如此惡劣環境下正常工作，需要用探針卡對其性能進行測試。

功率器件測試的一項重要指標是擊穿電壓，該電壓可以高達幾千伏，在如此高電壓下進行測試，探針卡的探針之間就可能產生非正常放電現象，瞬間就可以損壞測試設備以及被測晶圓。

功率器件測試的另一項重要指標是工作溫度，一般來講，測試芯片要求在-40攝氏度到125攝氏度之間均能夠正常工作，而汽車領域中的部分芯片，要求其能夠在180攝氏度以上的環境下正常工作，那么我們就需要對其在180攝氏度以上的工作情況進行測試。由于探針卡各部件之間存在熱膨脹系數差異，從室溫到180攝氏度以上的溫度變化會造成探針卡的翹曲變形和探針的位置漂移，這不僅降低了測試效果和效率，嚴重時甚至造成測試失敗、探針卡損傷等問題。

可見，如何抑制高電壓環境下探針之間非正常放電現象，以及如何抑制高溫度環境下探針卡翹曲變形和探針位置漂移，是現階段功率器件測試探針卡技術亟待解決的關鍵技術問題，然而，目前還沒有發現能夠同時突破這兩個技術難題的探針卡。

發明內容

針對上述問題，本發明公開了一種功率器件測試探針卡用磁力式泄壓結構及其安裝標定方法，，該項技術應用于功率器件高溫高壓測試用探針卡，不僅能夠抑制高電壓環境下探針之間非正常放電現象，而且能夠抑制高溫度環境下探針卡翹曲變形和探針位置漂移。

本發明的目的是這樣實現的：

功率器件測試探針卡用磁力式泄壓結構，在進氣系統上設置有泄壓孔，所述泄壓孔內壁攻有螺紋，并旋擰有調整件，所述調整件包括截面為T形、中間具有通孔的接觸端，環形磁鐵和上磁鐵固定端，所述接觸端寬部側壁套有螺紋，用于旋擰在泄壓孔內壁，窄部設置有環形磁鐵，窄部側壁套有螺紋，所述上磁鐵固定端內壁攻有螺紋，用于旋擰在接觸端窄部側壁，接觸端寬部下方與上磁鐵固定端上方將環形磁鐵固定；所述泄壓孔內壁還旋擰有閥門件，所述閥門件包括截面為倒T形、中間具有上窄下寬階梯通孔的連接件，所述連接件窄部側壁套有螺紋，用于旋擰在泄壓孔內壁，所述階梯通孔的寬部放置有圓形磁鐵，所述圓形磁鐵上方粘貼有密封墊，側壁設置有豁口，底部設置有豁口，側壁豁口和底部豁口相連，階梯通孔的寬部內壁攻有螺紋，并旋擰有中間具有通孔的遮擋環，圓形磁鐵在環形磁鐵的吸引和壓縮空氣的推動下，能夠在遮擋環上方上下運動。

功率器件測試探針卡用磁力式泄壓結構的安裝方法，包括以下步驟：

步驟a、將調整件倒置，將環形磁鐵套在接觸端上，并旋擰上磁鐵固定端，將環形磁鐵固定；

步驟b、將調整件正置，調整件的接觸端旋擰入泄壓孔中；