[發明專利]一種多層平面電磁線圈驅動的MEMS變形鏡

在審

• 申請號: 202110029372.7
• 申請日: 2021-01-11
• 公開（公告）號: CN112630958A
• 公開（公告）日: 2021-04-09
• 發明（設計）人: 秦毅;姜鳴;任斌;王福杰;胡耀華;姚智偉
• 申請（專利權）人: 東莞理工學院
• 主分類號: G02B26/08
• 分類號: G02B26/08
• 代理公司: 北京欣鼎專利代理事務所(普通合伙) 11834
• 代理人: 王陽虹

1.一種多層平面電磁線圈驅動的MEMS變形鏡，包括多層電磁線圈、硅底座、反射鏡、介質層、永久磁性材料層和封裝外殼，其特征在于，所述多層電磁線圈，通過給多層電磁線圈通入電壓使線圈產生的磁場逐漸加強，對變形鏡進行操作，去掉電壓后使變形鏡回到最初位置；所述硅底座上形成的多層線圈，每個線圈都具有中心點和墊點；通過將電壓通入多層電磁線圈中，使多層電磁線圈產生相應的電磁場，帶動上方永久磁性材料層，永久磁性材料層帶動硅層進行運動，從而達到以電磁力驅動MEMS變形鏡的目的。

2.根據權利要求1所述的一種多層平面電磁線圈驅動的MEMS變形鏡，其特征在于，所述多層線圈的各層之間通過墊點或中心點進行接觸,使得從硅底座起由下而上依次排序,所述多層線圈的奇數層與偶數層之間通過中心點接觸,偶數層與奇數層之間通過墊點接觸；在第一層線圈的墊點上以及最后一層線圈的墊點或者中心點上形成有與外部互聯的兩個焊點。

3.根據權利要求1所述的一種多層平面電磁線圈驅動的MEMS變形鏡，其特征在于，所述多層電磁線圈可以是銅、金、銀、鋁等，多晶硅中的任何材料制作而成。

4.根據權利要求1所述的一種多層平面電磁線圈驅動的MEMS變形鏡，其特征在于，所述反射鏡下表面覆蓋一層介電層，用于減少內部組件與面板之間的電容。

5.根據權利要求1所述的一種多層平面電磁線圈驅動的MEMS變形鏡，其特征在于，所述介電層下表面中心區域覆蓋并固定一層永久磁性材料層，形成永久性性材料層，介電層下表皮周邊區域設有硅層，在電壓通入多層電磁線圈后能夠做出相應的運動。

6.根據權利要求1所述的一種多層平面電磁線圈驅動的MEMS變形鏡，其特征在于，所述封裝外殼，用于將內部封閉保證裝置的正常運轉，可以采用陶瓷或塑料作為封裝外殼的制作材料。

7.根據權利要求1所述的一種多層平面電磁線圈驅動的MEMS變形鏡，其特征在于，所述多層電磁線圈的單層厚度不超過100μm。

8.根據權利要求1所述的一種多層平面電磁線圈驅動的MEMS變形鏡，其特征在于，所述多層電磁線圈的形狀為圓形。

9.根據權利要求1所述的一種多層平面電磁線圈驅動的MEMS變形鏡，其特征在于，所述介電層選用聚絆亞胺、SOG、氧化硅、氮化硅中的材料制成。

10.根據權利要求2所述的一種多層平面電磁線圈驅動的MEMS變形鏡，其特征在于，所述多層線圈的層數應設置為偶數層數。