[發(fā)明專利]半導(dǎo)體激光器模組及光學(xué)系統(tǒng)在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 202110028967.0 | 申請日： | 2021-01-08 |
| 公開（公告）號： | CN112864792A | 公開（公告）日： | 2021-05-28 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 蔡磊;劉興勝 | 申請（專利權(quán)）人： | 西安炬光科技股份有限公司 |
| 主分類號： | H01S5/00 | 分類號： | H01S5/00;H01S5/40 |
| 代理公司： | 北京超凡宏宇專利代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人： | 張洋 |
| 地址： | 710000 陜*** | 國省代碼： | 陜西;61 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 半導(dǎo)體激光器 模組 光學(xué)系統(tǒng) | ||
1.一種半導(dǎo)體激光器模組，其特征在于，包括半導(dǎo)體激光器陣列，以及沿所述半導(dǎo)體激光器陣列的激光束出射方向依次設(shè)置的連續(xù)反射器和空間合束器，出射的激光束包括平行的第一光束和第二光束，所述第一光束在所述連續(xù)反射器中折返后透過所述空間合束器出射，所述第二光束經(jīng)所述空間合束器的入光側(cè)與所述第一光束呈夾角入射所述空間合束器，并經(jīng)所述空間合束器反射與所述第一光束合束出射，所述第一光束在所述連續(xù)反射器中的光程與所述第二光束經(jīng)所述空間合束器的入光側(cè)入射所述空間合束器的光程相等。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體激光器模組，其特征在于，所述連續(xù)反射器包括至少三個反射表面，所述第一光束依次經(jīng)至少三個所述反射表面反射后，入射所述空間合束器。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的半導(dǎo)體激光器模組，其特征在于，所述連續(xù)反射器包括具有依次對所述第一光束全反射的第一全反射面、第二全反射面和第三全反射面的異形棱鏡；或者，所述連續(xù)反射器包括分別固定設(shè)置且依次對所述第一光束反射的三個第一反射鏡；
其中，所述第一光束進入所述連續(xù)反射器的方向和所述第一光束由所述連續(xù)反射器出射的方向相同。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的半導(dǎo)體激光器模組，其特征在于，所述連續(xù)反射器包括具有依次對所述第一光束全反射的第一全反射面、第二全反射面、第三全反射面和第四全反射面的異形棱鏡；或者，所述連續(xù)反射器包括分別固定設(shè)置且依次對所述第一光束反射的四個第一反射鏡；
其中，所述第一光束進入所述連續(xù)反射器的方向和所述第一光束由所述連續(xù)反射器出射的方向相同。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體激光器模組，其特征在于，所述第二光束在所述空間合束器中經(jīng)至少兩次反射后與所述第一光束插縫合束出射。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體激光器模組，其特征在于，還包括設(shè)置于所述空間合束器出光側(cè)的偏振光組，所述偏振光組調(diào)節(jié)合束出射的光束的偏振態(tài)。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的半導(dǎo)體激光器模組，其特征在于，所述偏振光組包括沿光路方向依次設(shè)置的第一偏振片和1/4波片，經(jīng)所述第一偏振片的線偏振光通過所述1/4波片轉(zhuǎn)換為圓偏振光。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的半導(dǎo)體激光器模組，其特征在于，所述偏振光組還包括與所述第一偏振片平行的第二偏振片，在所述第二偏振片的出光側(cè)設(shè)有吸光板，所述第一偏振片呈夾角設(shè)置于主光路上，由加工表面反射的激光束經(jīng)所述第一偏振片和所述第二偏振片依次反射后，射向所述吸光板。
9.根據(jù)權(quán)利要求6所述的半導(dǎo)體激光器模組，其特征在于，還包括設(shè)置于所述偏振光組出光側(cè)的慢軸勻光鏡組，用于對光束的慢軸方向準(zhǔn)直和勻化。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的半導(dǎo)體激光器模組，其特征在于，所述慢軸勻光鏡組包括至少一個正透鏡和至少一個微陣列透鏡。
11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的半導(dǎo)體激光器模組，其特征在于，所述慢軸勻光鏡組包括依次設(shè)置的第一正透鏡、微陣列透鏡和第二正透鏡；
或者，所述慢軸勻光鏡組包括依次設(shè)置的微陣列透鏡、第一正透鏡和第二正透鏡。
12.根據(jù)權(quán)利要求6或9所述的半導(dǎo)體激光器模組，其特征在于，還包括設(shè)置于所述偏振光組出光側(cè)的快軸調(diào)節(jié)鏡組，用于對光束的快軸方向擴束后聚焦。
13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的半導(dǎo)體激光器模組，其特征在于，所述偏振光組的出光側(cè)設(shè)置有慢軸勻光鏡組和快軸調(diào)節(jié)鏡組，所述慢軸勻光鏡組位于所述快軸調(diào)節(jié)鏡組之前，光束經(jīng)所述慢軸勻光鏡組后入射所述快軸調(diào)節(jié)鏡組。
14.根據(jù)權(quán)利要求12所述的半導(dǎo)體激光器模組，其特征在于，所述快軸調(diào)節(jié)鏡組包括依次設(shè)置的擴束鏡、準(zhǔn)直鏡和縮束鏡。
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