[發明專利]一種管式PECVD設備的腔室結構

在審

• 申請號: 202110028055.3
• 申請日: 2021-01-11
• 公開（公告）號: CN112853325A
• 公開（公告）日: 2021-05-28
• 發明（設計）人: 周繼承;黃靜;廖佳;梁慧玲;徐偉;呂博文
• 申請（專利權）人: 中南大學
• 主分類號: C23C16/50
• 分類號: C23C16/50;C23C16/455
• 代理公司: 北京東方盛凡知識產權代理事務所(普通合伙) 11562
• 代理人: 王穎

1.一種管式PECVD設備的腔室結構，其特征在于，包括石英爐管(9)，前端法蘭組件，尾端法蘭組件和補氣裝置；所述石英爐管(9)的兩端分別與所述前端法蘭組件和后端法蘭組件固接；所述石英爐管(9)內設置有石墨舟(22)；

所述前端法蘭組件包括前端固定法蘭(10)；所述前端固定法蘭(10)套接在所述石英爐管(9)一端外壁；所述前端固定法蘭(10)的一側依次固接有前端水冷法蘭(11)，前端密封法蘭(24)，前端進氣法蘭(12)和爐門(13)；所述前端進氣法蘭(24)為環狀設置；所述前端進氣法蘭內開設有環形腔；所述前端進氣法蘭內壁周向等距開設有若干布氣孔(23)；所述布氣孔(23)與所述環形腔連通；所述前端進氣法蘭(12)外壁底部連通有進氣管(15)；遠離所述進氣管(15)的所述布氣孔(23)孔徑逐漸增大；所述石英爐管(9)另一端連通有補氣裝置。

2.根據權利要求1所述的一種管式PECVD設備的腔室結構，其特征在于：所述尾端法蘭組件包括尾端固定法蘭(5)；所述尾端固定法蘭(5)套接在所述石英爐管另一端外壁；所述尾端固定法蘭(5)的一側依次固接有尾端密封法蘭(4)，尾端水冷法蘭(3)和尾端端面法蘭(2)。

3.根據權利要求2所述的一種管式PECVD設備的腔室結構，其特征在于：所述補氣裝置包括補氣管(7)；所述補氣管(7)位于所述石英爐管(9)外管口為補氣管進氣口(1)；所述補氣管(7)位于所述石英爐管(9)內腔管口為補氣管出氣口(8)；所述補氣管(7)的一端連通有補氣管進氣管道A(16)和補氣管進氣管道B(17)；所述尾端端面法蘭(2)側面開設有補氣通孔(25)；所述補氣管(7)另一端通過所述補氣通孔連通所述石英爐管(9)內腔，且固接有補氣管固定件(26)；所述補氣管固定件(26)頂部與所述石英爐管(9)內壁頂部固接。

4.根據權利要求3所述的一種管式PECVD設備的腔室結構，其特征在于：所述補氣管出氣口(8)端面依次固接有均勻布氣板(18)和補氣管布氣板(19)。

5.根據權利要求1所述的一種管式PECVD設備的腔室結構，其特征在于：所述進氣管(15)由進氣管道A(20)和進氣管道B(21)組成。

6.根據權利要求1所述的一種管式PECVD設備的腔室結構，其特征在于：所述石墨舟(22)的一端電性連接有電極桿(6)；所述電極桿(6)的一端貫穿所述尾端端面法蘭(2)側面中部電性連接有外接電源。

7.根據權利要求1所述的一種管式PECVD設備的腔室結構，其特征在于：所述尾端端面法蘭(2)側面底部連通有抽氣管(14)；所述抽氣管(14)的一端貫穿所述尾端端面法蘭(2)側面連通所述石英爐管(9)內腔。

8.根據權利要求7所述的一種管式PECVD設備的腔室結構，其特征在于：所述抽氣管(14)外壁距所述石英管(9)底面50-100mm。

9.根據權利要求1所述的一種管式PECVD設備的腔室結構，其特征在于：所述補氣通孔(25)內壁頂部距所述尾端端面法蘭(2)頂端50-100mm。

10.根據權利要求1所述的一種管式PECVD設備的腔室結構，其特征在于：所述補氣管(7)出氣方向平行于所述石墨舟(22)頂面。