[發(fā)明專利]一種管式PECVD設(shè)備的腔室結(jié)構(gòu)

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202110028055.3
• 申請(qǐng)日: 2021-01-11
• 公開（公告）號(hào): CN112853325A
• 公開（公告）日: 2021-05-28
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 周繼承;黃靜;廖佳;梁慧玲;徐偉;呂博文
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 中南大學(xué)
• 主分類號(hào): C23C16/50
• 分類號(hào): C23C16/50;C23C16/455
• 代理公司: 北京東方盛凡知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11562
• 代理人: 王穎

1.一種管式PECVD設(shè)備的腔室結(jié)構(gòu)，其特征在于，包括石英爐管(9)，前端法蘭組件，尾端法蘭組件和補(bǔ)氣裝置；所述石英爐管(9)的兩端分別與所述前端法蘭組件和后端法蘭組件固接；所述石英爐管(9)內(nèi)設(shè)置有石墨舟(22)；

所述前端法蘭組件包括前端固定法蘭(10)；所述前端固定法蘭(10)套接在所述石英爐管(9)一端外壁；所述前端固定法蘭(10)的一側(cè)依次固接有前端水冷法蘭(11)，前端密封法蘭(24)，前端進(jìn)氣法蘭(12)和爐門(13)；所述前端進(jìn)氣法蘭(24)為環(huán)狀設(shè)置；所述前端進(jìn)氣法蘭內(nèi)開設(shè)有環(huán)形腔；所述前端進(jìn)氣法蘭內(nèi)壁周向等距開設(shè)有若干布?xì)饪?23)；所述布?xì)饪?23)與所述環(huán)形腔連通；所述前端進(jìn)氣法蘭(12)外壁底部連通有進(jìn)氣管(15)；遠(yuǎn)離所述進(jìn)氣管(15)的所述布?xì)饪?23)孔徑逐漸增大；所述石英爐管(9)另一端連通有補(bǔ)氣裝置。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種管式PECVD設(shè)備的腔室結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述尾端法蘭組件包括尾端固定法蘭(5)；所述尾端固定法蘭(5)套接在所述石英爐管另一端外壁；所述尾端固定法蘭(5)的一側(cè)依次固接有尾端密封法蘭(4)，尾端水冷法蘭(3)和尾端端面法蘭(2)。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種管式PECVD設(shè)備的腔室結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述補(bǔ)氣裝置包括補(bǔ)氣管(7)；所述補(bǔ)氣管(7)位于所述石英爐管(9)外管口為補(bǔ)氣管進(jìn)氣口(1)；所述補(bǔ)氣管(7)位于所述石英爐管(9)內(nèi)腔管口為補(bǔ)氣管出氣口(8)；所述補(bǔ)氣管(7)的一端連通有補(bǔ)氣管進(jìn)氣管道A(16)和補(bǔ)氣管進(jìn)氣管道B(17)；所述尾端端面法蘭(2)側(cè)面開設(shè)有補(bǔ)氣通孔(25)；所述補(bǔ)氣管(7)另一端通過(guò)所述補(bǔ)氣通孔連通所述石英爐管(9)內(nèi)腔，且固接有補(bǔ)氣管固定件(26)；所述補(bǔ)氣管固定件(26)頂部與所述石英爐管(9)內(nèi)壁頂部固接。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種管式PECVD設(shè)備的腔室結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述補(bǔ)氣管出氣口(8)端面依次固接有均勻布?xì)獍?18)和補(bǔ)氣管布?xì)獍?19)。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種管式PECVD設(shè)備的腔室結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述進(jìn)氣管(15)由進(jìn)氣管道A(20)和進(jìn)氣管道B(21)組成。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種管式PECVD設(shè)備的腔室結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述石墨舟(22)的一端電性連接有電極桿(6)；所述電極桿(6)的一端貫穿所述尾端端面法蘭(2)側(cè)面中部電性連接有外接電源。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種管式PECVD設(shè)備的腔室結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述尾端端面法蘭(2)側(cè)面底部連通有抽氣管(14)；所述抽氣管(14)的一端貫穿所述尾端端面法蘭(2)側(cè)面連通所述石英爐管(9)內(nèi)腔。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的一種管式PECVD設(shè)備的腔室結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述抽氣管(14)外壁距所述石英管(9)底面50-100mm。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種管式PECVD設(shè)備的腔室結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述補(bǔ)氣通孔(25)內(nèi)壁頂部距所述尾端端面法蘭(2)頂端50-100mm。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種管式PECVD設(shè)備的腔室結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述補(bǔ)氣管(7)出氣方向平行于所述石墨舟(22)頂面。