[發(fā)明專利]一種基于靜電噴涂聚合物絕緣層的NO2 在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 202110026696.5 | 申請日： | 2021-01-09 |
| 公開（公告）號： | CN112649472A | 公開（公告）日： | 2021-04-13 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 王璐;王麗娟;劉暢;曾玲君;朱陽陽 | 申請（專利權(quán)）人： | 長春工業(yè)大學(xué) |
| 主分類號： | G01N27/00 | 分類號： | G01N27/00;C09D133/12;C09D5/25 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 130012 吉林*** | 國省代碼： | 吉林;22 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 基于 靜電 噴涂 聚合物 絕緣 no base sub | ||
1.一種基于靜電噴涂聚合物絕緣層的NO2氣體傳感器的制備方法包括：利用靜電噴涂的方法，通過調(diào)控聚甲基丙烯酸甲酯溶液（1）的濃度，同時調(diào)控直流高壓電源（2）的輸出電壓，將聚甲基丙烯酸甲酯球狀霧滴（3），靜電噴涂在SiNx/Si襯底片（4）表面，形成多維球面絕緣層，利用真空蒸鍍法先后將六聯(lián)苯分子和酞菁銅分子蒸鍍在多維球面絕緣層上，形成六聯(lián)苯有機誘導(dǎo)層（5）和酞菁銅有機半導(dǎo)體敏感層（6），最后蒸鍍金叉指電極（7），得到基于靜電噴涂聚合物絕緣層的NO2氣體傳感器。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基于靜電噴涂聚合物絕緣層的NO2氣體傳感器的制備方法，其特征在于，稱取0.40 g 聚甲基丙烯酸甲酯，5 mL氯仿做溶劑，配制80 mg/mL 聚甲基丙烯酸甲酯預(yù)噴涂溶液，將聚甲基丙烯酸甲酯預(yù)噴涂溶液裝入靜電噴涂推進裝置（1）。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基于靜電噴涂聚合物絕緣層的NO2氣體傳感器的制備方法，其特征在于，利用靜電噴涂的方法，設(shè)置直流高壓電源（2）的輸出電壓為16±1 kV，將聚甲基丙烯酸甲酯球狀霧滴（3），靜電噴涂在SiNx/Si襯底片（4）表面，形成多維半球面絕緣層，100 ℃下烘干2 h。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基于靜電噴涂聚合物絕緣層的NO2氣體傳感器的制備方法，其特征在于，利用真空蒸鍍法，先后將六聯(lián)苯分子和酞菁銅分子蒸鍍在多維球面絕緣層上，形成六聯(lián)苯有機誘導(dǎo)層（5）和酞菁銅有機半導(dǎo)體敏感層（6），最后蒸鍍金叉指電極（7），得到基于靜電噴涂聚合物絕緣層的NO2氣體傳感器。
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