[發明專利]一種基于靜電噴涂聚合物絕緣層的NO2

在審

• 申請號: 202110026696.5
• 申請日: 2021-01-09
• 公開（公告）號: CN112649472A
• 公開（公告）日: 2021-04-13
• 發明（設計）人: 王璐;王麗娟;劉暢;曾玲君;朱陽陽
• 申請（專利權）人: 長春工業大學
• 主分類號: G01N27/00
• 分類號: G01N27/00;C09D133/12;C09D5/25
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種基于靜電噴涂聚合物絕緣層的NO₂氣體傳感器的制備方法包括：利用靜電噴涂的方法，通過調控聚甲基丙烯酸甲酯溶液（1）的濃度，同時調控直流高壓電源（2）的輸出電壓，將聚甲基丙烯酸甲酯球狀霧滴（3），靜電噴涂在SiN_x/Si襯底片（4）表面，形成多維球面絕緣層，利用真空蒸鍍法先后將六聯苯分子和酞菁銅分子蒸鍍在多維球面絕緣層上，形成六聯苯有機誘導層（5）和酞菁銅有機半導體敏感層（6），最后蒸鍍金叉指電極（7），得到基于靜電噴涂聚合物絕緣層的NO₂氣體傳感器。

2.根據權利要求1所述的一種基于靜電噴涂聚合物絕緣層的NO₂氣體傳感器的制備方法，其特征在于，稱取0.40 g 聚甲基丙烯酸甲酯，5 mL氯仿做溶劑，配制80 mg/mL 聚甲基丙烯酸甲酯預噴涂溶液，將聚甲基丙烯酸甲酯預噴涂溶液裝入靜電噴涂推進裝置（1）。

3.根據權利要求1所述的一種基于靜電噴涂聚合物絕緣層的NO₂氣體傳感器的制備方法，其特征在于，利用靜電噴涂的方法，設置直流高壓電源（2）的輸出電壓為16±1 kV，將聚甲基丙烯酸甲酯球狀霧滴（3），靜電噴涂在SiN_x/Si襯底片（4）表面，形成多維半球面絕緣層，100 ℃下烘干2 h。

4.根據權利要求1所述的一種基于靜電噴涂聚合物絕緣層的NO₂氣體傳感器的制備方法，其特征在于，利用真空蒸鍍法，先后將六聯苯分子和酞菁銅分子蒸鍍在多維球面絕緣層上，形成六聯苯有機誘導層（5）和酞菁銅有機半導體敏感層（6），最后蒸鍍金叉指電極（7），得到基于靜電噴涂聚合物絕緣層的NO₂氣體傳感器。