[發明專利]基于掃描探針的納米顆粒三維操控方法

有效

• 申請號: 202110026544.5
• 申請日: 2021-01-08
• 公開（公告）號: CN112834786B
• 公開（公告）日: 2022-05-17
• 發明（設計）人: 張偉華;呂亞坤
• 申請（專利權）人: 南京大學
• 主分類號: G01Q60/00
• 分類號: G01Q60/00;G01Q60/10;G01Q20/02;G01Q10/00
• 代理公司: 江蘇法德東恒律師事務所 32305
• 代理人: 李媛媛

1.基于掃描探針的納米顆粒三維操控方法，其特征在于，該方法采用的裝置包括掃描探針、掃描模塊和觀測模塊，掃描探針為在表面鍍有碳氟化合物的導電探針，該方法的具體步驟包括：利用觀測模塊觀測掃描探針及納米顆粒的位置，納米顆粒位于大氣環境中，所述納米顆粒放置在襯底上，襯底的表面鍍有導電層；掃描模塊根據觀測模塊收集的位置圖像，將掃描探針移動到納米顆粒的附近，然后在掃描探針表面施加-10V的電壓進行掃描，此時探針針尖附近的電場強度極強，因此納米顆粒受到探針針尖的介電泳力的作用，使得探針與顆粒之間的作用能大于顆粒與襯底之間的作用能，從而將納米顆粒拾取，在探針掃描過程中，探針在各個位置停留時間小于0.1s，探針的振動頻率140kHz，探針與納米顆粒的接觸次數大于10000次；隨后掃描模塊控制掃描探針移動到指定位置，在掃描探針表面施加±10V且頻率為100Hz的三角脈沖電壓，通過降低在掃描探針表面施加的電壓強度，使得探針與顆粒之間的作用能小于顆粒與襯底之間的作用能，最終實現納米顆粒從探針表面脫附，放置在指定位置。

2.根據權利要求1所述的基于掃描探針的納米顆粒三維操控方法，其特征在于，所述觀測模塊為光學顯微鏡的成像系統或者電子顯微鏡的成像系統。