[發明專利]一種單晶硅拋光片熱處理裝置

在審

• 申請號: 202110026225.4
• 申請日: 2021-01-08
• 公開（公告）號: CN113161258A
• 公開（公告）日: 2021-07-23
• 發明（設計）人: 詹玉峰;陳躍華;方勇華
• 申請（專利權）人: 浙江旭盛電子有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L21/324
• 代理公司: 溫州青科專利代理事務所(特殊普通合伙) 33390
• 代理人: 虞乘乘

1.一種單晶硅拋光片熱處理裝置，包括底座(1)，其特征在于：所述底座(1)頂部的一側固定安裝有凈化組件(2)，所述底座(1)頂部的中心處固定安裝有制冷組件(3)，所述凈化組件(2)與制冷組件(3)之間連通有第一管體(4)，所述底座(1)頂部的另一側固定安裝有風冷組件(5)，所述風冷組件(5)的頂部固定安裝有氣泵(6)，所述氣泵(6)的抽氣端連通有第二管體(7)，所述第二管體(7)的一端與制冷組件(3)的頂部連通；

所述凈化組件(2)包括第一箱體(21)，所述第一箱體(21)的底部與底座(1)的頂部固定安裝，所述第一箱體(21)內腔的一側連通有第一罩體(22)，所述第一罩體(22)的一側連通有軟管(23)，所述第一箱體(21)內腔的底部滑動安裝有過濾箱(24)，所述軟管(23)的底部與過濾箱(24)的頂部連通，所述過濾箱(24)內腔的頂部滑動連接有無紡布濾板(25)，所述過濾箱(24)內腔的底部滑動連接有活性炭濾芯(26)，所述第一管體(4)的一端貫穿第一箱體(21)并與過濾箱(24)的一側連通，所述第一管體(4)與過濾箱(24)的連接處位于活性炭濾芯(26)的下方；

所述制冷組件(3)包括第二箱體(31)，所述第二箱體(31)的底部固定安裝有制冷器(32)，所述制冷器(32)的制冷端貫穿第二箱體(31)并延伸至第二箱體(31)的內腔，所述第二箱體(31)內腔的兩側均固定安裝有蛇形管(33)，所述蛇形管(33)的內側連通有連接管(34)，所述第一管體(4)的一端貫穿第二箱體(31)并與一側蛇形管(33)的頂部連通，所述第二管體(7)的一端貫穿第二箱體(31)并與另一側蛇形管(33)的頂部連通；

所述制冷組件(3)包括第三箱體(51)，所述第三箱體(51)的底部與底座(1)的頂部固定安裝，所述第三箱體(51)內腔的頂部固定安裝有第二罩體(52)，所述第三箱體(51)內腔的底部固定安裝有第一電機(53)，所述第一電機(53)的輸出軸固定安裝有隔熱板(54)，所述隔熱板(54)的頂部固定安裝有放置板(55)，所述放置板(55)的頂部等距安裝有殼體(56)，所述氣泵(6)的排氣端貫穿第三箱體(51)并延伸至第三箱體(51)的內腔與第二罩體(52)的一側連通。

2.根據權利要求1所述的一種單晶硅拋光片熱處理裝置，其特征在于：所述第一箱體(21)的正面鉸接有第一箱門(9)，所述第三箱體(51)的正面鉸接有第二箱門(8)。

3.根據權利要求1所述的一種單晶硅拋光片熱處理裝置，其特征在于：所述第二箱體(31)底部的四角處均固定安裝有支腿(10)，且支腿(10)的底部與底座(1)的頂部固定安裝。

4.根據權利要求1所述的一種單晶硅拋光片熱處理裝置，其特征在于：所述第二箱體(31)的頂部固定安裝有第二電機(11)，所述第二電機(11)的輸出組固定安裝有轉軸(12)，所述轉軸(12)的底部貫穿第二箱體(31)并延伸至第二箱體(31)的內腔固定安裝有攪拌葉(13)。

5.根據權利要求1所述的一種單晶硅拋光片熱處理裝置，其特征在于：所述過濾箱(24)的內腔且位于無紡布濾板(25)和活性炭濾芯(26)的底部均固定安裝有支撐塊(14)，所述無紡布濾板(25)和活性炭濾芯(26)的底部均與支撐塊(14)的頂部貼合。

6.根據權利要求1所述的一種單晶硅拋光片熱處理裝置，其特征在于：所述第三箱體(51)的內腔且位于隔熱板(54)和第一電機(53)之間固定安裝有隔板(15)，所述第一電機(53)的輸出軸轉動貫穿隔板(15)并延伸至隔板(15)的外部。

7.根據權利要求1所述的一種單晶硅拋光片熱處理裝置，其特征在于：所述殼體(56)的內腔固定安裝有板體(16)，所述板體(16)的表面開設有第一氣孔(17)，所述殼體(56)的兩側均開設有第二氣孔(18)。

8.根據權利要求1所述的一種單晶硅拋光片熱處理裝置，其特征在于：所述第一罩體(22)與第一箱體(21)的連接處嵌設有濾網(19)，所述第一罩體(22)的一側通過濾網(19)與第一箱體(21)的外部連通。