[發明專利]一種紅外增強吸收金屬納米材料及其制備方法

在審

• 申請號: 202110026188.7
• 申請日: 2021-01-08
• 公開（公告）號: CN112786772A
• 公開（公告）日: 2021-05-11
• 發明（設計）人: 明安杰;趙永敏;朱婧;張少勛
• 申請（專利權）人: 有研工程技術研究院有限公司
• 主分類號: H01L37/02
• 分類號: H01L37/02;C23C14/18;C23C14/26;C23C14/04;B82Y30/00;B82Y40/00
• 代理公司: 中國有色金屬工業專利中心 11028
• 代理人: 范威

1.一種紅外增強吸收金屬納米材料，其特征在于，所述材料包括：鉭酸鋰晶片，所述鉭酸鋰晶片的下表面自上而下依次設有Ti/Cr層和Au層，所述鉭酸鋰晶片的上表面自下而上依次設有Ti/Cr層以及Al層、高分子粘附層和金黑層。

2.根據權利要求1所述的材料，其特征在于，所述高分子粘附層為502膠或者AB膠水。

3.一種如權利要求1或2所述紅外增強吸收金屬納米材料的制備方法，其特征在于，所述方法包括：

(1)在鉭酸鋰晶片的下表面自上而下依次制備Ti/Cr層和Au層，在鉭酸鋰晶片的上表面自下而上依次制備Ti/Cr層以及Al層；

(2)在Al層表面制備一層高分子粘附層；

(3)將不銹鋼掩模板置于鉭酸鋰晶片的上方；

(4)采用高純金粒為原料，通過惰性氣體氛圍熱蒸鍍的方式，在高分子粘附層的上表面制備金黑層。

4.根據權利要求3所述的制備方法，其特征在于，所述步驟(1)采用的制備方法為磁控濺射或熱蒸鍍方法。

5.根據權利要求3所述的制備方法，其特征在于，所述步驟(1)Ti/Cr層厚度1～20nm，Au層厚度100～500nm，Al層厚度200～800nm。

6.根據權利要求3所述的制備方法，其特征在于，所述步驟(2)中高分子粘附層為502膠或者AB膠水，制備方法為熏顯柜熏蒸或旋涂的方式。

7.根據權利要求3所述的制備方法，其特征在于，所述步驟(4)在氮氣氛圍熱蒸鍍：將高純金粒原料置于鉬舟或鎢舟中，調節鉭酸鋰晶片與鉬舟或鎢舟距離1-10cm，抽取真空度到1Pa以下，保持通入N₂ 5-10min，調節N₂氣壓1500Pa-4000Pa，調節電流10A-200A，蒸發鉬舟或鎢舟內金粒至無金材料殘留，獲得金黑層。

8.根據權利要求3所述的制備方法，其特征在于，所述金黑層厚度為200nm～5um。