[發明專利]一種高純鉬鈮合金靶材加工用預處理研磨裝置及其使用方法

在審

• 申請號: 202110025849.4
• 申請日: 2021-01-08
• 公開（公告）號: CN112827605A
• 公開（公告）日: 2021-05-25
• 發明（設計）人: 陸有軍;高杰;劉洋;林立群;萬治清;劉鄉
• 申請（專利權）人: 北方民族大學
• 主分類號: B02C19/00
• 分類號: B02C19/00;B02C23/00
• 代理公司: 北京聯瑞聯豐知識產權代理事務所(普通合伙) 11411
• 代理人: 張學府

本發明公開了一種高純鉬鈮合金靶材加工用預處理研磨裝置及其使用方法，其技術方案是：包括箱體，所述箱體內部設有初級研磨機構和二次研磨機構，所述初級研磨機構位于二次研磨機構頂部，所述箱體一側內壁嵌設有傳動組件；所述初級研磨機構包括頂桿，所述頂桿固定嵌設在箱體內部，一種高純鉬鈮合金靶材加工用預處理研磨裝置及其使用方法有益效果是：通過設置由頂座、底座、第一研磨球和研磨頭一等部件組成的初級研磨機構，在工作時，頂座和底座反向轉動，有效提升研磨效率，并且第一研磨球可增大頂座和底座之間的研磨面積，并且嵌設在通孔一內部的研磨頭一可穩定活動，進而可有效提升研磨質量，保證研磨的粉末更加細密。

技術領域

本發明涉及靶材加工技術領域，具體涉及一種高純鉬鈮合金靶材加工用預處理研磨裝置及其使用方法。

背景技術

鍍膜靶材是通過磁控濺射、多弧離子鍍或其他類型的鍍膜系統在適當工藝條件下濺射在基板上形成各種功能薄膜的濺射源。簡單說的話，靶材就是高速荷能粒子轟擊的目標材料，用于高能激光武器中，不同功率密度、不同輸出波形、不同波長的激光與不同的靶材相互作用時，會產生不同的殺傷破壞效應，而高純鉬鈮合金靶材由于具有較為優異的性能，具有較大的發展前景。

現有技術存在以下不足：在高純鉬鈮合金靶材制造前，往往需要將鉬鈮合金研磨成極為細小的粉末，從而方便后續的熔融成型工作，但傳統研磨裝置研磨效率低下，并且研磨質量不高，導致靶材生產質量無法進一步提升。

因此，發明一種高純鉬鈮合金靶材加工用預處理研磨裝置及其使用方法很有必要。

發明內容

為此，本發明提供一種高純鉬鈮合金靶材加工用預處理研磨裝置及其使用方法，通過設置初級研磨機構、二次研磨機構和傳動組件，工作時可通過反向多級的研磨，并且設置的第一研磨球、磨頭一、第二研磨球和磨頭二，極大提升了研磨效率和研磨質量，粉末更加細密，以解決傳統研磨裝置研磨效率低下，并且研磨質量不高，導致靶材生產質量無法進一步提升的問題。

為了實現上述目的，本發明提供如下技術方案：一種高純鉬鈮合金靶材加工用預處理研磨裝置及其使用方法，包括箱體，所述箱體內部設有初級研磨機構和二次研磨機構，所述初級研磨機構位于二次研磨機構頂部，所述箱體一側內壁嵌設有傳動組件；

所述初級研磨機構包括頂桿，所述頂桿固定嵌設在箱體內部，所述頂桿內部開設有空腔，所述頂桿底部設有頂座，所述頂座內部固定嵌設有立柱，所述立柱頂部固定連接有轉軸，所述轉軸頂端貫穿空腔并延伸至空腔頂部，所述頂座底部設有底座，所述底座外側固定套接有齒圈，所述箱體內壁開設有環槽，所述齒圈位于環槽內部，所述底座頂部表面固定嵌設有若干第一研磨球，所述頂座底部表面開設有多個通孔一，多個所述通孔一內部均固定嵌設有彈簧一，所述彈簧一底部固定連接有磨頭一；

所述二次研磨機構包括研磨管，所述研磨管固定連接在底座底部，所述箱體內部固定嵌設有支撐環，所述支撐環套設在研磨管外側，所述研磨管內部套設有研磨柱，所述研磨柱頂部設置為圓錐狀，所述研磨管內壁固定嵌設有多個第二研磨球，所述研磨柱外側開設有多個通孔二，所述通孔二內部固定嵌設有彈簧二，多個所述彈簧二外側均固定連接有磨頭二，所述研磨柱底端固定連接有支撐桿，所述支撐桿兩端均與支撐環底部固定連接；

所述傳動組件包括電機，所述電機固定連接在箱體一側，所述箱體一側內壁開設有空槽，所述電機輸出軸延伸至空槽內部，所述電機輸出軸固定連接有錐齒輪一，所述錐齒輪一一側設有錐齒輪二，所述錐齒輪二與錐齒輪一嚙合連接，所述錐齒輪二內部固定套接有轉動桿，所述轉動桿頂端延伸至空腔內部，所述轉動桿底端貫穿環槽并延伸至箱體底部，所述轉動桿和轉軸外側均固定套接有鏈輪，兩個所述鏈輪外側均套設有鏈條，兩個所述鏈輪之間通過鏈條驅動連接，所述轉動桿外側固定套接有齒輪，所述齒輪位于齒圈一側，所述齒輪與齒圈相嚙合。