[發明專利]一種熱壓法制的鉬鈮合金靶材方法及裝置

在審

• 申請號: 202110025809.X
• 申請日: 2021-01-08
• 公開（公告）號: CN112877654A
• 公開（公告）日: 2021-06-01
• 發明（設計）人: 陸有軍;高杰;劉洋;林立群;劉鄉;萬治清
• 申請（專利權）人: 北方民族大學
• 主分類號: C23C14/34
• 分類號: C23C14/34;B22F3/14;B22F5/00;C23C14/14;B22F3/24
• 代理公司: 北京聯瑞聯豐知識產權代理事務所(普通合伙) 11411
• 代理人: 張學府

本發明公開了一種熱壓法制的鉬鈮合金靶材方法及裝置，其技術方案是：包括機體，機體內腔中部固定連接有支撐座，支撐座內部設有磨粉機構；磨粉機構包括往復絲杠，支撐座頂部開設有第一滑動槽，往復絲杠外側套設有軸承座，軸承座與往復絲杠通過滾珠螺母副連接，軸承座外側固定連接有滑動板，滑動板頂部開設有第一轉動槽，第一轉動槽內部設有第一連接塊，第一連接塊頂部固定連接有齒輪塊，第一滑動槽頂部一側設有齒塊，齒輪塊與齒塊嚙合連接，一種熱壓法制的鉬鈮合金靶材方法及裝置有益效果是：解決了由于金屬的硬度較大，很難徹底的碾碎成粉，因此需要對原料進行重復碾磨，從而導致原料的碾磨效率較低的問題。

技術領域

本發明涉及靶材技術領域，具體涉及一種熱壓法制的鉬鈮合金靶材方法及裝置。

背景技術

鉬鈮合金材料由于其優異的導電能力，抗氧化性能和較低的鍍膜應力，在液晶顯示器的薄膜晶體管中作為重要的靶材有廣泛的應用，鉬是一種銀白色的金屬，硬而堅韌，熔點高，熱傳導率也比較高，常溫下不與空氣發生氧化反應，鉬的密度為10.2g/cm³，熔點為2610℃，沸點為5560℃，鈮是一種銀灰色、質地較軟且具有延展性、良好的超導性、熔點高、耐腐蝕、耐磨的稀有高熔點金屬，鈮的密度為8.57g/cm³，熔點為2477℃，沸點為4744℃。

現有技術存在以下不足：現有的靶材在制備的過程中需要將靶材的原料碾磨成粉，但是現有技術中的碾磨裝置在使用時，由于金屬的硬度較大，使得碾磨的效果一般，很難徹底的碾碎成粉，需要對原料進行重復碾磨，從而導致原料的碾磨效率較低。

因此，發明一種熱壓法制的鉬鈮合金靶材方法及裝置很有必要。

發明內容

為此，本發明提供一種熱壓法制的鉬鈮合金靶材方法及裝置，通過往復絲杠帶動滑動板來回運動帶動齒輪塊與齒塊之間的嚙合連接，從而帶動第一固定套隨齒輪塊的轉動而轉動，進而帶動第一固定套在支撐座頂部移動的同時自身進行轉動，同時設置齒輪塊的轉動方向與打磨片轉動的方向相反，從而有效的增大的金屬與打磨片之間的接觸面積以及加快了金屬的打磨速度，以解決由于金屬的硬度較大，很難徹底的碾碎成粉，因此需要對原料進行重復碾磨，從而導致原料的碾磨效率較低的問題。

為了實現上述目的，本發明提供如下技術方案：一種熱壓法制的鉬鈮合金靶材方法及裝置，包括機體，所述機體一側固定連接有第一電機，所述機體內腔中部固定連接有支撐座，所述支撐座內部設有磨粉機構；

所述磨粉機構包括往復絲杠，所述支撐座頂部開設有第一滑動槽，所述往復絲杠設于第一滑動槽內部且與支撐座轉動連接，所述往復絲杠一端與第一電機輸出端固定連接，所述往復絲杠外側套設有軸承座，所述軸承座與往復絲杠通過滾珠螺母副連接，所述軸承座外側固定連接有滑動板，所述滑動板設于第一滑動槽內部且與支撐座滑動連接，所述滑動板頂部開設有第一轉動槽，所述第一轉動槽內部設有第一連接塊，所述第一連接塊設于第一轉動槽內部且與滑動板轉動連接，所述第一連接塊頂部固定連接有齒輪塊，所述第一滑動槽頂部一側設有齒塊，所述齒塊與支撐座固定連接，所述齒輪塊與齒塊嚙合連接，所述齒輪塊頂部固定連接有第一固定套，所述第一固定套兩側均開設有第一螺紋孔，所述第一螺紋孔內部設有第一螺紋桿，所述第一螺紋桿設于第一螺紋孔內部且與第一固定套轉動連接，所述第一螺紋桿一端固定連接有固定板，所述固定板設于第一固定套內部且與第一固定套滑動連接，所述第一螺紋桿遠離固定板一側固定連接有轉動塊。

優選的，所述機體一側設有活動門，所述活動門與機體活動鉸接，所述機體底部四角處均固定連接有地腳。

優選的，所述支撐座底部開設有通孔，所述通孔內部設有濾網，所述濾網設于通孔內部且與支撐座固定連接。