[發明專利]蒸鍍裝置

在審

• 申請號: 202110022090.4
• 申請日: 2021-01-08
• 公開（公告）號: CN112877651A
• 公開（公告）日: 2021-06-01
• 發明（設計）人: 劉金彪;肖昂;李海博;羅楠;徐天宇;黃秦霏;胡斌;加新星;晉亞杰;李靖;劉文豪;姬磊
• 申請（專利權）人: 京東方科技集團股份有限公司;成都京東方光電科技有限公司
• 主分類號: C23C14/26
• 分類號: C23C14/26;C23C14/54
• 代理公司: 北京律智知識產權代理有限公司 11438
• 代理人: 王輝;闞梓瑄

本公開提供一種蒸鍍裝置，該蒸鍍裝置包括：儲存罐和噴嘴，儲存罐包括罐體和設于所述罐體上的第一開口，所述罐體包括第一電加熱層與第一絕緣層，所述第一絕緣層包覆所述第一電加熱層；所述儲存罐被配置儲存蒸鍍材料；噴嘴設于所述儲存罐的開口上，所述噴嘴被配置為將所述儲存罐中的蒸鍍材料噴出。本公開提供的蒸鍍裝置，通過熱接觸傳熱的方式直接對蒸鍍材料進行溫度控制，從而能夠對蒸鍍材料的蒸鍍速率進行更加精確的控制。

技術領域

本公開涉及顯示技術領域，具體而言，涉及一種蒸鍍裝置。

背景技術

OLED(Organic Light-Emitting Diode，有機發光二級管)顯示屏由于具有薄、輕、寬視角、主動發光、發光顏色連續可調、成本低、響應速度快、能耗小、驅動電壓低、工作溫度范圍寬、生產工藝簡單、發光效率高及可柔性顯示等優點，已被列為極具發展前景的下一代顯示技術。

在基板上形成OLED器件通常采用蒸鍍工藝，其是指在一定的真空條件下加熱蒸鍍材料，使蒸鍍材料熔化(或升華)成原子、分子或原子團組成的蒸汽，然后凝結在基板表面成膜，從而形成OLED器件的功能層。

對于蒸鍍工藝而言，作為蒸發材料的蒸鍍裝置是其核心。現目前主流的蒸鍍裝置主要有坩堝及加熱系統溝通。由于蒸鍍膜層厚度極薄以及膜層均勻性的高要求，需要從蒸鍍裝置蒸出材料的速率盡可能穩定，且當出現由于切換監控速率或材料消耗導致的速率波動能夠快速恢復。而在傳統的蒸鍍裝置中，熱量的動態調節能力始終存在一個瓶頸。

需要說明的是，在上述背景技術部分公開的信息僅用于加強對本公開的背景的理解，因此可以包括不構成對本領域普通技術人員已知的現有技術的信息。

發明內容

本公開的目的在于提供一種蒸鍍裝置，通過熱接觸傳熱的方式直接對蒸鍍材料進行溫度控制，從而能夠對蒸鍍材料的蒸鍍速率進行更加精確的控制。

根據本公開的一個方面，提供了一種蒸鍍裝置，該蒸鍍裝置包括：

儲存罐，包括罐體和設于所述罐體上的第一開口，所述罐體包括第一電加熱層與第一絕緣層，所述第一絕緣層包覆所述第一電加熱層；所述儲存罐被配置儲存蒸鍍材料；

噴嘴，設于所述儲存罐的開口上，所述噴嘴被配置為將所述儲存罐中的蒸鍍材料噴出。

在本公開的一種示例性實施例中，所述噴嘴包括第二電加熱層與第二絕緣層，所述第二絕緣層包覆所述第二電加熱層。

在本公開的一種示例性實施例中，所述蒸鍍裝置還包括：

冷卻套，套設在所述儲存罐上，所述冷卻套被配置為對所述儲存罐進行冷卻。

在本公開的一種示例性實施例中，所述罐體設有第一導電孔，所述第一導電孔露出所述第一電加熱層；所述噴嘴設有第二導電孔，所述第二導電孔露出所述第二電加熱層。

在本公開的一種示例性實施例中，所述冷卻套上設有第一接線端與第二接線端，所述第一接線端與所述第一導電孔處露出的所述第一電加熱層抵接，所述第二接線端與所述第二導電孔處露出的所述第二電加熱層抵接。

在本公開的一種示例性實施例中，所述第一接線端與所述第二接線端為彈性接線端。

在本公開的一種示例性實施例中，所述冷卻套包括冷卻套本體和設于所述冷卻套本體上的第二開口，所述罐體能夠通過所述第二開口設于所述冷卻套本體形成的腔體中；所述冷卻套本體中設有冷卻回路，所述冷卻回路用于冷卻液流動。

在本公開的一種示例性實施例中，所述冷卻套本體的材料包括：金屬材料。

在本公開的一種示例性實施例中，所述第一電加熱層的材料包括：熱解石墨。

在本公開的一種示例性實施例中，所述第一絕緣層的材料包括：陶瓷。