[發明專利]一種真空閥門

有效

• 申請號: 202110019715.1
• 申請日: 2021-01-07
• 公開（公告）號: CN112833208B
• 公開（公告）日: 2023-02-17
• 發明（設計）人: 繆暉華
• 申請（專利權）人: 上海精測半導體技術有限公司
• 主分類號: F16K3/18
• 分類號: F16K3/18;F16K3/30;F16K3/314;F16K3/316;F16K27/04;F16K31/12;F16K41/10
• 代理公司: 北京品源專利代理有限公司 11332
• 代理人: 胡彬

本發明公開了一種真空閥門，涉及半導體生產技術領域。該真空閥門用于控制兩個腔室之間的開閉，包括殼體、門板、彈性連接件、傳動件及驅動件。所述殼體相對的兩個側面對應設置有開口，兩個所述開口分別連接兩個所述腔室之中的一個；所述門板滑動設置于所述殼體內，用于打開或關閉所述開口；所述彈性連接件彈性連接兩塊所述門板；所述傳動件一端伸入所述殼體，所述傳動件能夠改變所述彈性連接件沿所述第二方向的彈性伸縮量，從而控制所述門板貼緊或遠離所述開口的邊緣。該真空閥門不需要設置經常維護的機械連桿機構，提高了閥門使用壽命，且能滿足所需密封精度，還進一步減小了設備體積，且對零件的加工精度不敏感。

技術領域

本發明涉及真空裝置技術領域，尤其涉及一種真空閥門。

背景技術

在半導體和液晶顯示領域中，許多處理工藝(例如干刻蝕工藝、灰化工藝、薄膜沉積工藝等)都需要在高潔凈度、高真空度下進行，因此相應制造需采用真空設備裝置?，F有的真空設備一般包括用以執行不同工序的多個腔室,在生產過程中，不同工序的腔室之間需要保持相對的獨立性，以保證各工序的生產環境達到標準。

真空閥門主要用于真空設備中腔室與腔室之間的連接。具體地,通過操控真空閥門的開、關狀態可以實現兩個真空腔室之間的連通和隔離，在閥門處于關閉狀態時，兩個腔室的氣壓不會相互影響，保證了各個腔室之間的相互隔離可獨立運行；在閥門處于打開狀態時，此時腔室之間相互連通，可進行制品傳遞等工作。閥門是半導體設備各腔室連接必不可少的密封設備，即保證了制品在不同腔室中操作的便利性，又保證了各真空腔室的真空度和相對獨立的控制需求?，F有的真空閥門，連桿之間的尺寸精度嚴重密制約閥門的密封效果，因而對零件的加工要求較高，且零件組裝及更換保養復雜。

針對上述問題，需要開發一種真空閥門，以解決維護更換復雜且對零件的加工精度要求較高導致成本升高的問題。

發明內容

本發明的目的在于提出一種真空閥門，不需要設置經常維護的機械連桿機構，提高了閥門使用壽命，且能滿足所需密封精度，還進一步減小了設備體積，同時避免了連桿之間的摩擦導致的顆粒，提高了腔室中的潔凈度。

為達此目的，本發明采用以下技術方案：

一種真空閥門，用于控制兩個腔室之間的開閉，包括：

具有空腔的殼體，所述殼體相對的兩個側面對應設置有開口，兩個所述開口分別連接兩個所述腔室之中的一個；

兩塊門板，所述門板設置于所述殼體的空腔內，所述門板與所述開口一一對應，每個所述門板用于打開或關閉相應的所述開口，至少一塊所述門板上設置密封圈安裝槽，且所述密封圈安裝槽配置于所述門板朝向所述開口的側面上；

彈性連接件，所述彈性連接件位于所述兩塊門板中間，并與兩塊所述門板固定連接，所述彈性連接件可以沿第二方向彈性伸縮；

傳動件，所述傳動件與所述彈性連接件緊密貼合，所述傳動件可以支撐所述彈性連接件，還可以沿第一方向或第一方向的反方向相對于所述彈性連接件做相對運動，同時改變所述彈性連接件沿所述第二方向的彈性伸縮量，從而控制所述門板貼緊或遠離所述開口的邊緣，所述第一方向垂直于所述第二方向；

驅動件，所述驅動件的輸出軸與所述傳動件固定連接，并相互配合以控制所述門板打開或關閉相應的所述開口，其中，所述驅動件的輸出軸可以沿第一方向或第一方向的反方向移動，從而帶動所述傳動件和所述門板一同沿所述第一方向或第一方向的反方向運動。

優選地，所述彈性連接件包括若干相互分離的彈性片，其中一部分所述彈性片構成第一彈性片組，另一部分所述彈性片構成第二彈性片組，所述第一彈性片組用于連接其中一塊所述門板，所述第二彈性片組用于連接另一塊所述門板；

所述第一彈性片組和所述第二彈性片組沿第二方向伸縮并分別夾持在所述傳動件相對的兩側；