[發(fā)明專利]振幅調(diào)制靜電力顯微術測量電學特性的方法及裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202110017122.1
• 申請日: 2021-01-07
• 公開（公告）號: CN112748153B
• 公開（公告）日: 2023-01-10
• 發(fā)明（設計）人: 許瑞;程志海;龐斐;季威
• 申請（專利權）人: 中國人民大學
• 主分類號: G01N27/00
• 分類號: G01N27/00
• 代理公司: 北京興智翔達知識產(chǎn)權代理有限公司 11768
• 代理人: 張玉梅

1.一種振幅調(diào)制靜電力顯微術測量電學特性的方法，其特征在于，包括：

響應于檢測到針對樣品的電學特性的檢查指令，向探針施加振幅調(diào)制交流電壓，其中，所述振幅調(diào)制交流電壓包括調(diào)制信號、載波信號，電學特性至少包括以下任一：載流子濃度、電導率、介電常數(shù)；

基于所述調(diào)制信號在預設頻率處所述探針的振幅和相位，確定所述樣品的電學特性；

其中，所述預設頻率等于所述調(diào)制信號的2倍頻率；以及，

將所述探針的1/2共振頻率確定為所述調(diào)制信號的頻率；

其中，所述基于所述調(diào)制信號在預設頻率處所述探針的振幅和相位，確定所述樣品的電學特性，包括：確定在所述調(diào)制信號在預設頻率處，所述探針所受到的靜電力；基于所述靜電力和所述預設頻率，確定所述樣品的電學特性；

其中，所述基于所述靜電力和所述預設頻率，確定所述樣品的電學特性，包括：根據(jù)所述靜電力和所述預設頻率，確定所述探針和所述樣品之間的復電容梯度；根據(jù)所述復電容梯度確定所述樣品的局域阻抗；基于所述局域阻抗，確定所述樣品的電學特性；

其中，通過如下方式確定所述調(diào)制信號的頻率：

獲取所述探針的共振頻率；根據(jù)所述探針的共振頻率，確定所述調(diào)制信號的頻率；

其中，所述獲取所述樣品的共振頻率，包括：將所述探針的1/2一階共振頻率確定為所述調(diào)制信號的頻率。

2.一種振幅調(diào)制靜電力顯微術測量電學特性的裝置，其特征在于，包括：

施加單元，用于響應于檢測到針對樣品的電學特性的檢查指令，向探針施加振幅調(diào)制交流電壓，其中，所述振幅調(diào)制交流電壓包括調(diào)制信號、載波信號，電學特性至少包括以下任一：載流子濃度、電導率、介電常數(shù)；

第一確定單元，用于基于所述調(diào)制信號在預設頻率處所述探針的振幅和相位，確定所述樣品的電學特性；

其中，所述預設頻率等于所述調(diào)制信號的2倍頻率；以及，

將所述探針的1/2共振頻率確定為所述調(diào)制信號的頻率；

所述第一確定單元還用于：確定在所述調(diào)制信號在預設頻率處，所述探針所受到的靜電力；基于所述靜電力和所述預設頻率，確定所述樣品的電學特性；以及，根據(jù)所述靜電力和所述預設頻率，確定所述探針和所述樣品之間的復電容梯度；根據(jù)所述復電容梯度確定所述樣品的局域阻抗；基于所述局域阻抗，確定所述樣品的電學特性；

第二確定單元，用于通過如下方式確定所述調(diào)制信號的頻率：

獲取所述探針的共振頻率；根據(jù)所述探針的共振頻率，確定所述調(diào)制信號的頻率；

其中，所述獲取所述樣品的共振頻率，包括：將所述探針的1/2一階共振頻率確定為所述調(diào)制信號的頻率。

3.一種電子設備，其特征在于，包括處理器以及存儲器，所述存儲器存儲有計算機可讀取指令，當所述計算機可讀取指令由所述處理器執(zhí)行時，運行如權利要求1所述方法中的步驟。

4.一種計算機可讀介質(zhì)，其上存儲有計算機程序，其特征在于，該程序被處理器執(zhí)行時實現(xiàn)如權利要求1中所述的方法。