[發明專利]一種晶圓清洗設備中的定位設備

在審

• 申請號: 202110017019.7
• 申請日: 2021-01-07
• 公開（公告）號: CN112768379A
• 公開（公告）日: 2021-05-07
• 發明（設計）人: 曹禮枝
• 申請（專利權）人: 曹禮枝
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L21/68;B08B11/02;B08B13/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種晶圓清洗設備中的定位設備，其結構包括支撐箱(1)、控制面板(2)、主體(3)、警報燈(4)，所述支撐箱(1)的頂部前端設有控制面板(2)，所述主體(3)安裝在支撐箱(1)的頂端，所述警報燈(4)嵌固在主體(3)的頂部后端，其特征在于：

所述主體(3)包括清洗槽(31)、清洗裝置(32)、進水口(33)、機械臂(34)、照明燈(35)，所述清洗槽(31)設置在主體(3)的底端，所述清洗裝置(32)安裝在清洗槽(31)的底部正中間，所述進水口(33)設置在清洗槽(31)的側端，所述機械臂(34)橫向安裝在清洗槽(31)的正上方，所述照明燈(35)位于主體(3)的內部頂端。

2.根據權利要求1所述的一種晶圓清洗設備中的定位設備，其特征在于：所述清洗裝置(32)包括蓄水框(321)、排屑口(322)、旋轉裝置(323)、旋轉柱(324)，所述蓄水框(321)嵌固在清洗槽(31)的底端，所述位于蓄水框(321)的側端，所述旋轉裝置(323)安裝在蓄水框(321)的正中間，所述旋轉柱(324)垂直安裝在旋轉裝置(323)的底部正中間。

3.根據權利要求2所述的一種晶圓清洗設備中的定位設備，其特征在于：所述旋轉裝置(323)包括蓄水池(a1)、外流孔(a2)、支撐塊(a3)、定位裝置(a4)，所述蓄水池(a1)位于旋轉裝置(323)的內部正中間，所述外流孔(a2)設有六個，且環繞于蓄水池(a1)的側端進行排列，所述支撐塊(a3)設有八個，且環繞于蓄水池(a1)的端面進行排列，所述定位裝置(a4)設有三個，且環繞于蓄水池(a1)的側端進行排列。

4.根據權利要求3所述的一種晶圓清洗設備中的定位設備，其特征在于：所述支撐塊(a3)包括固定座(a31)、通料槽(a32)、橡膠墊(a33)、空槽(a34)，所述固定座(a31)嵌固在支撐塊(a3)的底端，所述通料槽(a32)設置在支撐塊(a3)的上端，所述橡膠墊(a33)嵌固在支撐塊(a3)的頂端，所述空槽(a34)位于橡膠墊(a33)的內部。

5.根據權利要求4所述的一種晶圓清洗設備中的定位設備，其特征在于：所述定位裝置(a4)包括旋轉槽(b1)、夾緊塊(b2)、卡合軸(b3)、回卷彈簧(b4)，所述旋轉槽(b1)設置在蓄水池(a1)的側端，所述夾緊塊(b2)卡合于旋轉槽(b1)的側端，所述夾緊塊(b2)嵌固在旋轉槽(b1)中，且貫穿于夾緊塊(b2)，所述回卷彈簧(b4)安裝在夾緊塊(b2)的側端。

6.根據權利要求5所述的一種晶圓清洗設備中的定位設備，其特征在于：所述夾緊塊(b2)包括夾緊體(b21)、活動槽(b22)、限位塊(b23)、卡合軸(b24)、接觸塊(b25)，所述夾緊體(b21)的末端設有活動槽(b22)，所述限位塊(b23)設有兩個，且分別位于活動槽(b22)的兩端，所述卡合軸(b24)嵌固在活動槽(b22)的正中間，所述接觸塊(b25)卡合于卡合軸(b24)中。

7.根據權利要求6所述的一種晶圓清洗設備中的定位設備，其特征在于：所述接觸塊(b25)包括支撐體(c1)、轉孔(c2)、橡膠塊(c3)、空腔(c4)，所述支撐體(c1)的后端正中間設有轉孔(c2)，所述橡膠塊(c3)嵌固在支撐體(c1)的前端，所述空腔(c4)設置在橡膠塊(c3)的內部。