[發(fā)明專利]用于實(shí)現(xiàn)工件旋轉(zhuǎn)的磁力耦合傳動(dòng)機(jī)構(gòu)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202110016795.5
• 申請(qǐng)日: 2021-01-07
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN112853306B
• 公開(kāi)（公告）日: 2023-04-14
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 白潔;洪福;吳立華;張宇;張冰潔;林欽彬;朱強(qiáng);康國(guó)坡;李權(quán);李克天
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 廣東開(kāi)放大學(xué)（廣東理工職業(yè)學(xué)院）;廣東培創(chuàng)智能技術(shù)有限公司;廣東苗方醫(yī)藥科技有限公司
• 主分類號(hào): C23C14/56
• 分類號(hào): C23C14/56;F16H49/00
• 代理公司: 廣州嘉權(quán)專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 44205
• 代理人: 胡輝

本發(fā)明公開(kāi)了一種用于實(shí)現(xiàn)工件旋轉(zhuǎn)的磁力耦合傳動(dòng)機(jī)構(gòu)，包括門板，安裝于觀察窗處以密封觀察窗，門板具有外側(cè)和內(nèi)側(cè)，內(nèi)側(cè)朝向反應(yīng)室；驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，包括外輪和內(nèi)輪，外輪和內(nèi)輪分別相對(duì)設(shè)置在門板的外側(cè)和內(nèi)側(cè)，外輪和內(nèi)輪上均設(shè)置有磁性部件，使得外輪和內(nèi)輪之間磁力耦合，外輪通過(guò)驅(qū)動(dòng)電機(jī)驅(qū)動(dòng)，進(jìn)而帶動(dòng)內(nèi)輪轉(zhuǎn)動(dòng)；安裝架，設(shè)置于反應(yīng)室內(nèi)，安裝架具有用于裝載多面體工件的工件軸；傳動(dòng)機(jī)構(gòu)，連接在內(nèi)輪與工件軸之間，內(nèi)輪通過(guò)傳動(dòng)機(jī)構(gòu)帶動(dòng)工件軸轉(zhuǎn)動(dòng)，進(jìn)而帶動(dòng)多面體工件轉(zhuǎn)動(dòng)。通過(guò)外輪和內(nèi)輪上的磁性部件的互相耦合作用，把門板外的動(dòng)力傳入至門板內(nèi)，門板上不需要開(kāi)孔，進(jìn)而解決了軸密封的問(wèn)題。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及工件表面鍍膜加工技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種用于實(shí)現(xiàn)工件在鍍膜過(guò)程能表面旋轉(zhuǎn)的磁力耦合傳動(dòng)機(jī)構(gòu)。

背景技術(shù)

物理氣相沉積PVD是廣泛使用的在工件表面鍍膜的工藝，現(xiàn)有設(shè)備只能鍍靜止的工件的表面，如果要鍍一個(gè)多面體工件，需要工件在鍍膜的過(guò)程中能夠均勻的轉(zhuǎn)動(dòng)，以讓每個(gè)面都能輪流朝向靶材。

但是，物理氣相沉積PVD是在真空條件下進(jìn)行的，如果簡(jiǎn)單的在反應(yīng)室壁開(kāi)孔并把室外安裝固定的電動(dòng)機(jī)的動(dòng)力傳入反應(yīng)室內(nèi)，以實(shí)現(xiàn)多面體工件的轉(zhuǎn)動(dòng)，其傳動(dòng)軸密封的問(wèn)題比較難解決；由于反應(yīng)室內(nèi)高溫環(huán)境，直接把電機(jī)安裝在反應(yīng)室內(nèi)，電機(jī)不能承受高溫。因此，現(xiàn)有的技術(shù)很難設(shè)計(jì)一種能夠讓多面體工件實(shí)現(xiàn)轉(zhuǎn)動(dòng)的裝置。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的在于提供一種用于實(shí)現(xiàn)工件旋轉(zhuǎn)的磁力耦合傳動(dòng)機(jī)構(gòu)，能夠在不開(kāi)孔的前提下實(shí)現(xiàn)外部動(dòng)力的傳輸，進(jìn)而使得工件在鍍膜時(shí)可以發(fā)生轉(zhuǎn)動(dòng)。

本發(fā)明所采用的技術(shù)方案是：一種用于實(shí)現(xiàn)工件旋轉(zhuǎn)的磁力耦合傳動(dòng)機(jī)構(gòu)，安裝于反應(yīng)室的觀察窗處，包括：

門板，安裝于觀察窗處以密封所述觀察窗，所述門板具有外側(cè)和內(nèi)側(cè)，所述內(nèi)側(cè)朝向所述反應(yīng)室；

驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，包括外輪和內(nèi)輪，所述外輪和內(nèi)輪分別相對(duì)設(shè)置在所述門板的外側(cè)和內(nèi)側(cè)，所述外輪和內(nèi)輪上均設(shè)置有磁性部件，使得所述外輪和內(nèi)輪之間磁力耦合，所述外輪通過(guò)驅(qū)動(dòng)電機(jī)驅(qū)動(dòng)，進(jìn)而帶動(dòng)所述內(nèi)輪轉(zhuǎn)動(dòng)；

安裝架，設(shè)置于所述反應(yīng)室內(nèi)，所述安裝架具有用于裝載工件的工件軸；

傳動(dòng)機(jī)構(gòu)，連接在所述內(nèi)輪與工件軸之間，所述內(nèi)輪通過(guò)所述傳動(dòng)機(jī)構(gòu)帶動(dòng)所述工件軸轉(zhuǎn)動(dòng)，進(jìn)而帶動(dòng)所述工件轉(zhuǎn)動(dòng)。

有益效果：通過(guò)外輪和內(nèi)輪上的磁性部件的互相耦合作用，把門板外的動(dòng)力傳入至門板內(nèi)，門板上不需要開(kāi)孔，進(jìn)而解決了軸密封的問(wèn)題。同時(shí)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的動(dòng)力源位于門板外部，有效避免了高溫對(duì)動(dòng)力源的損傷。

在其中一些實(shí)施例中，所述傳動(dòng)機(jī)構(gòu)包括蝸輪蝸桿機(jī)構(gòu)和鏈傳動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述蝸輪蝸桿機(jī)構(gòu)包括蝸輪和蝸桿軸，所述鏈傳動(dòng)機(jī)構(gòu)包括第一傳動(dòng)輪、第二傳動(dòng)輪以及連接在第一傳動(dòng)輪和第二傳動(dòng)輪之間的傳動(dòng)鏈，所述蝸桿軸一端與所述內(nèi)輪同軸固定連接，所述蝸輪嚙合在所述蝸桿軸的另一端，所述蝸輪與所述第一傳動(dòng)輪設(shè)置為同軸轉(zhuǎn)動(dòng)，所述第二傳動(dòng)輪與所述工件軸同軸固定連接。

在其中一些實(shí)施例中，所述第一傳動(dòng)輪的直徑小于所述第二傳動(dòng)輪的直徑。

在其中一些實(shí)施例中，所述鏈傳動(dòng)機(jī)構(gòu)還包括用于張緊所述傳動(dòng)鏈的張緊裝置。

在其中一些實(shí)施例中，所述門板由陶瓷或玻璃制成。

在其中一些實(shí)施例中，所述安裝架還包括分別安裝在所述工件軸兩端的第一支架和第二支架，所述第一支架和所述第二支架的上端部設(shè)置有U形槽。

在其中一些實(shí)施例中，所述安裝架通過(guò)內(nèi)底板安裝于所述門板上，所述內(nèi)底板設(shè)置成L型。

在其中一些實(shí)施例中，所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)還包括驅(qū)動(dòng)電機(jī)，所述驅(qū)動(dòng)電機(jī)驅(qū)動(dòng)所述外輪轉(zhuǎn)動(dòng)，所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)通過(guò)外底板安裝于所述門板上，所述外底板設(shè)置成L型。

附圖說(shuō)明