[發明專利]一種片式薄膜電阻器及其制備方法

在審

• 申請號: 202110015622.1
• 申請日: 2021-01-05
• 公開（公告）號: CN112837872A
• 公開（公告）日: 2021-05-25
• 發明（設計）人: 范文新;麥俊;林瑞芬;練潔蘭
• 申請（專利權）人: 廣東風華高新科技股份有限公司
• 主分類號: H01C1/14
• 分類號: H01C1/14;H01C7/00;H01C17/00;H01C17/14
• 代理公司: 廣州三環專利商標代理有限公司 44202
• 代理人: 郭浩輝;顏希文

1.一種片式薄膜電阻器，其特征在于，包括：絕緣基板、薄膜電阻、面電極；

所述面電極和所述薄膜電阻均設在所述絕緣基板上，且所述薄膜電阻成型于所述面電極的中部；所述薄膜電阻將所述面電極隔離成第一電極和第二電極；

所述薄膜電阻包括第一連接部、第二連接部、第三連接部；

所述第一連接部的一端設于所述第一電極和所述第二電極的同一側邊緣上，所述第三連接部的一端設于所述第一電極和所述第二電極的同另一側邊緣上，所述第二連接部分別與所述第一連接部的另一端、所述第三連接部的另一端連接。

2.如權利要求1所述的片式薄膜電阻器，其特征在于，所述第二連接部的長度大于所述第一連接部與所述第三連接部之間的線間距。

3.如權利要求2所述的片式薄膜電阻器，其特征在于，所述第二連接部包括第一連接段；

所述第一連接段的一端與所述第一連接部的另一端連接；所述第一連接段的另一端與所述第三連接部的另一端連接；

所述第一連接段與所述第一連接部所成的夾角小于180°；所述第一連接段與所述第三連接部所成的夾角小于180°。

4.如權利要求3所述的片式薄膜電阻器，其特征在于，所述第一連接部與所述第三連接部平行。

5.如權利要求2所述的片式薄膜電阻器，其特征在于，所述第二連接部包括第一連接段、第二連接段、第三連接段；

所述第一連接段的一端與所述第一連接部的另一端連接；所述第一連接段的另一端與所述第二連接段的一端連接；

所述第二連接段的另一端與所述第三連接段的一端連接，所述第三連接段的另一端與所述第三連接部的另一端連接；

所述第一連接段與所述第一連接部所成的夾角小于或等于90°；所述第一連接段與所述第二連接段所成的夾角小于或等于90°；

所述第二連接段與所述第三連接段所成的夾角小于或等于90°；所述第三連接段與所述第三連接部所成的夾角小于或等于90°。

6.如權利要求5所述的片式薄膜電阻器，其特征在于，所述第一連接部與所述第三連接部設于同一條直線上；所述第一連接部和所述第三連接部分別與所述第二連接段平行。

7.如權利要求2所述的片式薄膜電阻器，其特征在于，所述第二連接部包括第一連接段、第二連接段、第三連接段；

所述第一連接段的一端與所述第一連接部的另一端連接；所述第一連接段的另一端與所述第二連接段的一端連接；

所述第二連接段的另一端與所述第三連接段的一端連接，所述第三連接段的另一端與所述第三連接部的另一端連接；

所述第一連接段與所述第一連接部所成的夾角大于90°；所述第一連接段與所述第二連接段所成的夾角大于90°；

所述第二連接段與所述第三連接段所成的夾角大于90°；所述第三連接段與所述第三連接部所成的夾角大于90°。

8.如權利要求7所述的片式薄膜電阻器，其特征在于，所述第一連接部與所述第三連接部設于同一條直線上；所述第一連接部和所述第三連接部分別與所述第二連接段平行。

9.如權利要求1-8任意一項所述的片式薄膜電阻器，其特征在于，所述第一連接部垂直設于所述第一電極和所述第二電極的同一側邊緣上；所述第三連接部垂直設于所述第一電極和所述第二電極的同另一側邊緣上。

10.一種片式薄膜電阻器的制備方法，其特征在于，包括：

提供絕緣基板，所述絕緣基板包括第一表面和第二表面，所述第一表面和所述第二表面相對設置；

在所述第一表面上設有第一掩膜，通過沉積技術沉積一層電阻膜層后去掉所述第一掩膜，獲得薄膜電阻層；

在所述薄膜電阻層的表面上設有第二掩膜，通過化學沉積技術沉積一層電極膜層后去掉所述第二掩膜，獲得面電極層。