[發明專利]一種聚酰亞胺蒸鍍薄膜的制備方法在審
| 申請號： | 202110013899.0 | 申請日： | 2021-01-06 |
| 公開（公告）號： | CN112877650A | 公開（公告）日： | 2021-06-01 |
| 發明（設計）人： | 閔永剛;劉屹東;張繼升 | 申請（專利權）人： | 慧邁材料科技（廣東）有限公司 |
| 主分類號： | C23C14/26 | 分類號： | C23C14/26;C23C14/12;C23C14/54;C23C14/58;C08J5/18;C08L79/08;C08G73/10 |
| 代理公司： | 廣東高端專利代理事務所(特殊普通合伙) 44346 | 代理人： | 徐玲 |
| 地址： | 528000 廣東省佛山市南海區獅*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 聚酰亞胺 薄膜 制備 方法 | ||
【權利要求書】：
1.一種聚酰亞胺蒸鍍薄膜的制備方法，其特征在于，
步驟一：使用由雙胺構成的升華性蒸鍍材和由雙酐構成的升華性蒸鍍材；
步驟二：通過真空成膜法同時蒸鍍的共蒸鍍法，在基材上形成由雙胺和雙酐反應生成的聚酰胺酸構成的薄膜；
步驟三：退火后亞胺化生成聚酰亞胺。
2.如權利要求1所述的一種聚酰亞胺蒸鍍薄膜的制備方法，其特征在于，所述薄膜的厚度以埃為單位進行精確控制。
3.如權利要求2所述的一種聚酰亞胺蒸鍍薄膜的制備方法，其特征在于，所述薄膜的雙胺和雙酐的摩爾比率以1:1～1.01的方式組合。
4.如權利要求1所述的一種聚酰亞胺蒸鍍薄膜的制備方法，其特征在于，所述升華性蒸鍍材的雙胺為均苯二胺、對苯二胺、聯苯二胺中的至少一種，雙酐為均苯二酐、對苯二酐、聯苯二酐中的至少一種。
5.如權利要求4所述的一種聚酰亞胺蒸鍍薄膜的制備方法，其特征在于，所述升華性蒸鍍材的雙胺和雙酐顆粒的平均粒徑為10um以下。
6.如權利要求1所述的一種聚酰亞胺蒸鍍薄膜的制備方法，其特征在于，所述真空成膜法為電子束蒸鍍法、離子鍍法、反應性等離子體蒸鍍法、電阻加熱法或感應加熱法中的任意一種。
7.如權利要求1所述的一種聚酰亞胺蒸鍍薄膜的制備方法，其特征在于，所述聚酰胺酸構成的薄膜是在350℃下退火5min后亞胺化生成聚酰亞胺。
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