[發(fā)明專利]一種電遷移測試方法、裝置、設(shè)備及存儲介質(zhì)有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 202110012866.4 | 申請日： | 2021-01-06 |
| 公開（公告）號： | CN112834911B | 公開（公告）日： | 2022-05-03 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 尹鵬躍;張水英 | 申請（專利權(quán)）人： | 上海燧原智能科技有限公司 |
| 主分類號： | G01R31/28 | 分類號： | G01R31/28 |
| 代理公司： | 北京品源專利代理有限公司 11332 | 代理人： | 孟金喆 |
| 地址： | 201306 上海市浦東新區(qū)中國（上海*** | 國省代碼： | 上海;31 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 遷移 測試 方法 裝置 設(shè)備 存儲 介質(zhì) | ||
本發(fā)明實施例公開了一種電遷移測試方法、裝置、設(shè)備及存儲介質(zhì)。其中，該方法包括：根據(jù)芯片中的待測試鏈路的仿真模型，確定待測試鏈路的標準電阻；根據(jù)電遷移仿真測試過程中的多組仿真測試數(shù)據(jù)確定待測試鏈路的失效時間計算公式；確定與待測試鏈路對應(yīng)的多組電遷移測試條件；控制電遷移測試系統(tǒng)對與待測試鏈路對應(yīng)的電遷移測試樣品進行電遷移測試，得到與各組電遷移測試條件對應(yīng)的測試樣品失效時間；根據(jù)各組電遷移測試條件中的預(yù)期失效時間與所對應(yīng)的測試樣品失效時間的比對結(jié)果，確定待測試鏈路的電遷移測試結(jié)果。本發(fā)明實施例可以對芯片中的鏈路進行電遷移測試，確定芯片中各鏈路的整個鏈路結(jié)構(gòu)的電遷移實際情況。
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明實施例涉及軟件調(diào)試技術(shù)，尤其涉及一種電遷移測試方法、裝置、設(shè)備及存儲介質(zhì)。
背景技術(shù)
電遷移是金屬線在電流和溫度作用下產(chǎn)生的金屬遷移現(xiàn)象，運動中的電子和主體金屬晶格之間相互交換動量，金屬原子沿電子流方向遷移時，就會在原有位置上形成空洞，同時，在金屬原子遷移堆積形成丘狀突起。前者將引線開路或斷裂，而后者會造成光刻困難和多層布線之間的短路，從而影響芯片的正常工作。電遷移在使用具有較高直流電密度、溫度的半導(dǎo)體可靠性設(shè)計中是十分重要的。隨著芯片功率密度進一步提升，電遷移的實際重要程度在增加。如果在封裝設(shè)計中未考慮電遷移效應(yīng)，那么所在電路的使用壽命可能大幅度縮短。
相關(guān)技術(shù)中的電遷移測試，通常僅對于電路局部結(jié)構(gòu)，例如某個半導(dǎo)體器件，進行電遷移測試，未能考慮芯片中各鏈路的整個鏈路結(jié)構(gòu)的電遷移實際情況。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明實施例提供一種電遷移測試方法、裝置、設(shè)備及存儲介質(zhì)，以優(yōu)化現(xiàn)有的電遷移測試方法，對芯片中的鏈路進行電遷移測試。
第一方面，本發(fā)明實施例提供了一種電遷移測試方法，包括：
根據(jù)芯片中的待測試鏈路的仿真模型，確定所述待測試鏈路的標準電阻；
按照預(yù)設(shè)的多組電遷移仿真測試條件對所述待測試鏈路的仿真模型進行電遷移仿真測試，根據(jù)電遷移仿真測試過程中的多組仿真測試數(shù)據(jù)確定所述待測試鏈路的失效時間計算公式；其中，所述電遷移仿真測試條件包括仿真測試電流和仿真測試溫度，所述仿真測試數(shù)據(jù)包括仿真測試失效時間；
根據(jù)所述待測試鏈路的失效時間計算公式和預(yù)設(shè)的多組待測試鏈路測試條件，確定與所述待測試鏈路對應(yīng)的多組電遷移測試條件；其中，所述電遷移測試條件包括：測試電流、測試溫度以及預(yù)期失效時間；
根據(jù)與所述待測試鏈路對應(yīng)的多組電遷移測試條件以及所述待測試鏈路的標準電阻，控制電遷移測試系統(tǒng)對與所述待測試鏈路對應(yīng)的電遷移測試樣品進行電遷移測試，得到與各組電遷移測試條件對應(yīng)的測試樣品失效時間；
根據(jù)各組電遷移測試條件中的預(yù)期失效時間與所對應(yīng)的測試樣品失效時間的比對結(jié)果，確定所述待測試鏈路的電遷移測試結(jié)果。
第二方面，本發(fā)明實施例還提供了一種電遷移測試裝置，包括：
標準電阻確定模塊，用于根據(jù)芯片中的待測試鏈路的仿真模型，確定所述待測試鏈路的標準電阻；
計算公式確定模塊，用于按照預(yù)設(shè)的多組電遷移仿真測試條件對所述待測試鏈路的仿真模型進行電遷移仿真測試，根據(jù)電遷移仿真測試過程中的多組仿真測試數(shù)據(jù)確定所述待測試鏈路的失效時間計算公式；其中，所述電遷移仿真測試條件包括仿真測試電流和仿真測試溫度，所述仿真測試數(shù)據(jù)包括仿真測試失效時間；
測試條件確定模塊，用于根據(jù)所述待測試鏈路的失效時間計算公式和預(yù)設(shè)的多組待測試鏈路測試條件，確定與所述待測試鏈路對應(yīng)的多組電遷移測試條件；其中，所述電遷移測試條件包括：測試電流、測試溫度以及預(yù)期失效時間；
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