[發明專利]一種馬赫曾德爾干涉儀及多通道粗波分復用器

在審

• 申請號: 202110010443.9
• 申請日: 2021-01-05
• 公開（公告）號: CN112817091A
• 公開（公告）日: 2021-05-18
• 發明（設計）人: 趙至尊;楊林
• 申請（專利權）人: 中國科學院半導體研究所
• 主分類號: G02B6/293
• 分類號: G02B6/293
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司 11021
• 代理人: 王文思

1.一種馬赫曾德爾干涉儀，其特征在于，包括：

兩根輸入波導，用于輸入寬光譜光信號；

第一多模干涉耦合器，用于將所述寬光譜光信號分為兩個分量光束；

兩根相移波導，用于使所述兩個分量光束分別在所述兩根相移波導中傳播，并產生特定的相位差；

第二多模干涉耦合器，用于使產生特定相位差的所述兩個分量光束發生干涉，各產生至少一個指定波長的光信號；

兩根輸出波導，用于將所述兩個分量光束各自產生的至少一個指定波長的信號光分別輸出。

2.根據權利要求1所述的干涉儀，其特征在于，所述輸入波導與所述第一多模干涉耦合器之間、所述第一多模干涉耦合器與所述相移波導之間、所述相移波導與所述第二多模干涉耦合器之間、所述第二多模干涉耦合器與所述輸出波導之間均通過錐形波導連接。

3.根據權利要求2所述的干涉儀，其特征在于，所述錐形波導的窄端與對應連接的波導寬度相同。

4.根據權利要求1所述的干涉儀，其特征在于，所述相移波導包括：

第一彎曲波導，第一錐形波導，第一直波導，第二錐形波導，第二彎曲波導，第三錐形波導，第二直波導，第四錐形波導，第三彎曲波導，各波導依次首尾相連。

5.根據權利要求4所述的干涉儀，其特征在于，所述第一直波導、第二直波導的寬度寬于所述第一彎曲波導、第二彎曲波導和第三彎曲波導，所述第一錐形波導、第二錐形波導、第三錐形波導、第四錐形波導的兩端寬度均與所連波導的寬度相同。

6.根據權利要求4所述的干涉儀，其特征在于，所述兩根相移波導的各彎曲波導的曲率半徑和長度均相同，各錐形波導的長度均相同，各直波導的長度不同。

7.根據權利要求1至6所述的干涉儀，其特征在于，所述干涉儀中的各波導均為條形波導或脊形波導。

8.根據權利要求1所述的干涉儀，其特征在于，所述第一多模干涉耦合器和所述第二多模干涉耦合器的分光比均為50：50。

9.根據權利要求1所述的干涉儀，其特征在于，所述干涉儀的制備材料至少包括鈮酸鋰、硅、二氧化硅、磷化銦或砷化鎵。

10.一種多通道粗波分復用器，其特征在于，包括：

所述波分復用器由多個如權利要求1至9所述的馬赫曾德爾干涉儀級聯構成，其中，前一級所述馬赫曾德爾干涉儀的兩個輸出端分別通過波導與后一級的兩個所述馬赫曾德爾干涉儀的一個輸入端連接。

11.根據權利要求10所述的多通道粗波分復用器，其特征在于，各級所述馬赫曾德爾干涉儀的中心波長不同。