[發(fā)明專利]磁吸式探針卡裝置在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 202110009169.3 | 申請日： | 2021-01-05 |
| 公開（公告）號： | CN112782438A | 公開（公告）日： | 2021-05-11 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 吳銘欽;劉峰;黃宏義 | 申請（專利權(quán)）人： | 蘇州雨竹機電有限公司 |
| 主分類號： | G01R1/073 | 分類號： | G01R1/073;G01R1/067 |
| 代理公司： | 北京科龍寰宇知識產(chǎn)權(quán)代理有限責任公司 11139 | 代理人： | 李林 |
| 地址： | 215000 江蘇省蘇州市中國(江蘇)自由*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 磁吸式 探針 裝置 | ||
1.一種磁吸式探針卡裝置，其特征在于，包括：
一探針卡，包括一基板及復(fù)數(shù)探針，該復(fù)數(shù)探針設(shè)置在該基板上，且向下延伸至該基板下表面，每一該探針上鍍有一磁性層；以及
一測試座，對應(yīng)該探針卡設(shè)置，該測試座包括一晶圓測試平臺及一電磁鐵，該電磁鐵設(shè)置于該晶圓測試平臺下方，該電磁鐵產(chǎn)生的磁力能夠吸附該復(fù)數(shù)探針至該晶圓測試平臺。
2.如權(quán)利要求1所述的磁吸式探針卡裝置，其特征在于：該磁性層為鎳層、鈷層或銠層。
3.如權(quán)利要求1所述的磁吸式探針卡裝置，其特征在于：每一該探針包括一連接部以及一測試部，且該測試部垂直連接于該連接部，該磁性層鋪設(shè)于該連接部上且對應(yīng)設(shè)置有該測試部的位置。
4.如權(quán)利要求1所述的磁吸式探針卡裝置，其特征在于：還包括一控制器，其連接該探針卡以及該測試座，該控制器控制該測試座的該電磁鐵以產(chǎn)生磁力，令該晶圓測試平臺能夠吸附該探針卡的該復(fù)數(shù)探針，該控制器能夠控制該探針卡接收及傳遞測試信號。
5.如權(quán)利要求1所述的磁吸式探針卡裝置，其特征在于：該探針卡的該基板上設(shè)有一測試開口，該復(fù)數(shù)探針以環(huán)設(shè)或陣列的方式設(shè)置在該測試開口內(nèi)。
6.如權(quán)利要求4所述的磁吸式探針卡裝置，其特征在于：該探針卡的該基板上設(shè)有復(fù)數(shù)導(dǎo)線，該復(fù)數(shù)導(dǎo)線分別連接該復(fù)數(shù)探針以及該控制器。
7.如權(quán)利要求1所述的磁吸式探針卡裝置，其特征在于：還包括一機臺，該探針卡及該測試座設(shè)置于該機臺上，且該機臺上設(shè)有一移動裝置，該移動裝置連接該測試座，以控制該測試座移動。
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