[發(fā)明專(zhuān)利]基板處理裝置、以及基板處理方法

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202110007901.3
• 申請(qǐng)日: 2021-01-05
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN113073374A
• 公開(kāi)（公告）日: 2021-07-06
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 橫山俊夫;平尾智則;對(duì)馬拓也;大橋弘尭
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 株式會(huì)社荏原制作所
• 主分類(lèi)號(hào): C25D17/00
• 分類(lèi)號(hào): C25D17/00;C25D17/08;C25D7/00;C25D21/12;H05K3/18
• 代理公司: 北京集佳知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11227
• 代理人: 舒艷君;王海奇

本發(fā)明提出能夠使基板精度良好地定位并保持于基板支架的基板處理裝置以及方法。控制配置調(diào)整機(jī)構(gòu)，以便基于第一傳感器的檢測(cè)來(lái)調(diào)整基板的配置，控制第二傳感器，以便檢測(cè)在基于上述第一傳感器的檢測(cè)調(diào)整了配置的基板的板面預(yù)先形成的特征點(diǎn)，確認(rèn)通過(guò)上述第二傳感器檢測(cè)出的特征點(diǎn)的位置是否處于允許范圍，在通過(guò)上述第二傳感器檢測(cè)出的特征點(diǎn)的位置處于上述允許范圍內(nèi)的情況下，控制上述配置調(diào)整機(jī)構(gòu)，以便基于上述第二傳感器的檢測(cè)來(lái)調(diào)整上述基板的配置，在基于上述第二傳感器的檢測(cè)調(diào)整了上述基板的配置之后，控制上述基板拆裝機(jī)構(gòu)，以便將基板安裝于上述基板支架。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及基板處理裝置、以及基板處理方法。

背景技術(shù)

以往，作為基板處理裝置的一個(gè)例子，已知有對(duì)基板進(jìn)行電鍍處理的電鍍裝置。一般而言，在這樣的電鍍裝置中，在電鍍裝置投入預(yù)先形成了孔部或者掩膜等圖案的基板。然后，在電鍍裝置中，基板通過(guò)輸送裝置的輸送安裝于基板支架，并在安裝于基板支架的狀態(tài)下對(duì)基板實(shí)施電鍍處理。此時(shí)，輸送基板的輸送裝置并不一定能夠一直以相同的位置、角度保持基板并輸送基板。因此，在將基板安裝于基板支架時(shí)，有基板從規(guī)定的正確的位置偏移的情況。而且，若有這樣的基板相對(duì)于基板支架的位置偏移，則有損傷基板或者不能夠正確地對(duì)基板實(shí)施處理的可能性。

為了應(yīng)對(duì)這樣的問(wèn)題，提出了在基板輸送到規(guī)定的位置時(shí)，通過(guò)圖像傳感器檢測(cè)基板的兩個(gè)角部的位置來(lái)判定基板的位置的基板處理裝置(例如參照專(zhuān)利文獻(xiàn)1)。該基板處理裝置通過(guò)照明裝置從與圖像傳感器相反側(cè)對(duì)基板進(jìn)行照射，從而精度良好地檢測(cè)基板的角部。

專(zhuān)利文獻(xiàn)1：日本特開(kāi)2018－168432號(hào)公報(bào)

在專(zhuān)利文獻(xiàn)1所記載的方法中，通過(guò)圖像傳感器檢測(cè)基板的兩個(gè)角部的位置，并修正基板的位置、角度。但是，在基板的翹曲較大的情況下等，有不能夠以足夠的精度修正基板的位置、角度的情況。另外，根據(jù)基板的材質(zhì)有光透過(guò)基板而不能夠檢測(cè)基板的兩個(gè)角部的位置的情況。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明是鑒于上述的情況而完成的，目的之一在于提出能夠使基板精度良好地定位并保持于基板支架的基板處理裝置以及方法。

根據(jù)本發(fā)明的一實(shí)施方式，提出基板處理裝置，其特征在于，上述基板處理裝置具有：基板支架，用于保持基板；基板拆裝機(jī)構(gòu)，用于將基板安裝于上述基板支架；第一傳感器，用于基于基板的外形檢測(cè)該基板的配置；第二傳感器，用于檢測(cè)預(yù)先形成于基板的板面的特征點(diǎn)；配置調(diào)整機(jī)構(gòu)，構(gòu)成為調(diào)整基板的配置；以及控制部，上述控制部控制上述配置調(diào)整機(jī)構(gòu)，以便基于上述第一傳感器的檢測(cè)來(lái)調(diào)整上述基板的配置，上述控制部控制上述第二傳感器，以便檢測(cè)預(yù)先形成在基于上述第一傳感器的檢測(cè)調(diào)整了配置的基板的板面上的特征點(diǎn)，上述控制部確認(rèn)通過(guò)上述第二傳感器檢測(cè)出的特征點(diǎn)的位置是否處于允許范圍，上述控制部在通過(guò)上述第二傳感器檢測(cè)出的特征點(diǎn)的位置處于上述允許范圍內(nèi)的情況下，控制上述配置調(diào)整機(jī)構(gòu)，以便基于上述第二傳感器的檢測(cè)來(lái)調(diào)整上述基板的配置，上述控制部在基于上述第二傳感器的檢測(cè)調(diào)整了上述基板的配置之后，控制上述基板拆裝機(jī)構(gòu)以將上述基板安裝于上述基板支架。

根據(jù)本發(fā)明的其它的一實(shí)施方式，提出具備用于保持基板的基板支架、用于將基板安裝于上述基板支架的基板拆裝機(jī)構(gòu)、以及構(gòu)成為調(diào)整基板的配置的配置調(diào)整機(jī)構(gòu)的基板處理裝置中的基板處理方法，上述基板處理方法包含：基于基板的外形檢測(cè)該基板的配置的第一檢測(cè)步驟；控制上述配置調(diào)整機(jī)構(gòu)，以便基于上述第一檢測(cè)步驟的檢測(cè)來(lái)調(diào)整基板的配置的第一配置調(diào)整步驟；檢測(cè)在上述第一配置調(diào)整步驟調(diào)整了配置的基板的板面預(yù)先形成的特征點(diǎn)的第二檢測(cè)步驟；確認(rèn)在上述第二檢測(cè)步驟檢測(cè)出的特征點(diǎn)的位置是否處于允許范圍，在檢測(cè)出的特征點(diǎn)的位置處于上述允許范圍內(nèi)的情況下，控制上述配置調(diào)整機(jī)構(gòu)，以便基于上述第二檢測(cè)步驟的檢測(cè)來(lái)調(diào)整上述基板的配置的第二配置調(diào)整步驟；以及在上述第二配置調(diào)整步驟之后，控制上述基板拆裝機(jī)構(gòu)，以便將上述基板安裝于上述基板支架的基板安裝步驟。

附圖說(shuō)明

圖1是本發(fā)明的一實(shí)施方式的基板處理裝置的整體配置圖。