[發明專利]一種薄層二維材料的制備方法

有效

• 申請號: 202110007651.3
• 申請日: 2021-01-05
• 公開（公告）號: CN112837996B
• 公開（公告）日: 2022-10-14
• 發明（設計）人: 王軍;毛毓珂;陳賽賽;王桂東;蔡金華
• 申請（專利權）人: 上海應用技術大學
• 主分類號: H01L21/02
• 分類號: H01L21/02;H01L29/24;H01L29/786;H01L29/80;H01L51/05;H01L51/42;H01L51/30;H01L51/46;B82Y10/00;B82Y30/00;B82Y40/00
• 代理公司: 上?？剖⒅R產權代理有限公司 31225
• 代理人: 吳文濱

1.一種薄層二維材料的制備方法，其特征在于，該方法包括以下步驟：

1)在基板上滴加第一溶劑，得到第一溶劑層；

2)利用膠帶粘黏二維材料，并將粘黏有二維材料的膠帶粘貼在含有第一溶劑層的基板上，使二維材料與第一溶劑層接觸；

3)向膠帶下面注入第二溶劑；

4)進行熱處理；

5)剝離膠帶，得到粘附于基板上的薄層二維材料；

6)重復步驟1)至步驟5)多次，在基板上制備多層相互堆疊的薄層二維材料，且基板上的薄層二維材料種類為兩種以上；

步驟1)中，所述的第一溶劑層的厚度為0.1-10納米。

2.根據權利要求1所述的一種薄層二維材料的制備方法，其特征在于，步驟3)具體為：揭開膠帶一角，利用注射器吸取第二溶劑，并將第二溶劑注入至膠帶下的空隙處，通過滲透作用使膠帶下面充滿第二溶劑。

3.根據權利要求1所述的一種薄層二維材料的制備方法，其特征在于，步驟4)中，熱處理過程為：在60-70℃下保溫20-28h。

4.根據權利要求1所述的一種薄層二維材料的制備方法，其特征在于，所述的第一溶劑及第二溶劑分別獨立地選自苯、四氯化碳、1,2-二氯乙烷、1,1-二氯乙烷、1,1,1-三氯乙烷、2-甲氧基乙醇、氯仿、1,1,2-三氯乙烯、1,2-二甲氧基乙烷、1,2,3,4-四氫化萘、2-乙氧基乙醇、環丁砜、嘧啶、甲酰胺、正己烷、氯苯、二氧雜環己烷、乙腈、二氯甲烷、乙烯基乙二醇、N,N-二甲基甲酰胺、甲苯、N,N-二甲基乙酰胺、甲基環己烷、1,2-二氯乙烯、二甲苯、甲醇、乙醇、環己烷、N-甲基吡咯烷酮、戊烷、甲酸、乙酸、乙醚、丙酮、苯甲醚、1-丙醇、2-丙醇、1-丁醇、2-丁醇、戊醇、乙酸丁酯、三丁甲基乙醚、乙酸異丙酯、甲乙酮、二甲亞砜、異丙基苯、乙酸乙酯、甲酸乙酯、乙酸異丁酯、乙酸甲酯、3-甲基-1-丁醇、甲基異丁酮、2-甲基-1-丙醇、乙酸丙酯、1,1-二乙氧基丙烷、1,1-二甲氧基甲烷、2,2-二甲氧基丙烷、異辛烷、異丙醚、甲基異丙酮、甲基四氫呋喃、石油醚、三氯乙酸、三氟乙酸、硫酸、乙二胺或水。

5.一種薄層二維材料，其特征在于，該薄層二維材料采用如權利要求1至4任一項所述的方法制備而成。

6.一種如權利要求5所述的薄層二維材料在電接觸材料中的應用。

7.一種場效應晶體管，該場效應晶體管包括電接觸材料，其特征在于，所述的電接觸材料含有范德華異質結，所述的范德華異質結采用如權利要求1所述的方法制備而成。