[發(fā)明專利]用于半導(dǎo)體用石英板的拋光上盤裝置及拋光上盤方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202110007478.7
• 申請日: 2021-01-05
• 公開（公告）號: CN112847101B
• 公開（公告）日: 2021-11-19
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 單佩;陳佳驊
• 申請（專利權(quán)）人: 上海菲利華石創(chuàng)科技有限公司
• 主分類號: B24B29/02
• 分類號: B24B29/02;B24B41/00;B24B41/06;B24B1/00;F28C3/00
• 代理公司: 上海和華啟核知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 31339
• 代理人: 達(dá)曉玲

1.一種用于半導(dǎo)體用石英板的拋光上盤裝置，包括底座，其特征在于，所述底座上設(shè)有水平移動機(jī)構(gòu)，所述水平移動機(jī)構(gòu)上分別設(shè)有高溫恒溫水箱和低溫恒溫水箱，所述水平移動機(jī)構(gòu)帶動所述高溫恒溫水箱和所述低溫恒溫水箱做水平移動；

還包括升降籃，所述升降籃內(nèi)底面上設(shè)置有用于放置石英底板的升降籃卡槽，所述升降籃通過升降氣缸安裝在所述高溫恒溫水箱和所述低溫恒溫水箱上方，所述升降氣缸帶動所述升降籃做升降運動；

所述升降籃內(nèi)設(shè)有加壓提籃，所述加壓提籃通過加壓氣缸安裝在所述升降籃頂部的內(nèi)壁上，所述加壓氣缸裝有壓力調(diào)節(jié)裝置，所述加壓氣缸帶動所述加壓提籃做升降運動；

所述加壓提籃內(nèi)底面設(shè)有加壓卡槽，所述加壓卡槽上卡接吸盤裝置，所述吸盤裝置的底面穿過所述加壓卡槽后位于所述升降籃內(nèi)底面上方，所述吸盤裝置的底面用于吸住半導(dǎo)體用石英板。

2.如權(quán)利要求1所述的用于半導(dǎo)體用石英板的拋光上盤裝置，其特征在于，所述底板上還設(shè)有兩組凈化裝置，每組所述凈化裝置均包括待凈化水池、RO反滲透凈水器、熱交換器、第一潛水泵和第二潛水泵，所述第一潛水泵與所述熱交換器中的一組熱交換管入口連接、所述熱交換器中的一組熱交換管出口連接所述待凈化水池，所述待凈化水池通過所述第二潛水泵連接RO反滲透凈水器的入口，所述RO反滲透凈水器的出口連接所述熱交換器中的另一組熱交換管入口；

一組所述凈化裝置中的第一潛水泵連接所述高溫恒溫水箱，一組所述凈化裝置中的所述熱交換器中的另一組熱交換管出口連接所述高溫恒溫水箱；

另一組所述凈化裝置中的第一潛水泵連接所述低溫恒溫水箱，另一組所述凈化裝置中的所述交換器中的另一組熱交換管出口連接所述低溫恒溫水箱。

3.如權(quán)利要求1所述的用于半導(dǎo)體用石英板的拋光上盤裝置，其特征在于，所述水平移動機(jī)構(gòu)包括固定在所述底座上的導(dǎo)軌和推力氣缸，所述高溫恒溫水箱和所述低溫恒溫水箱的底部滑動連接所述導(dǎo)軌，所述推力氣缸的伸縮桿分別連接所述高溫恒溫水箱的底部、所述低溫恒溫水箱的底部，所述推力氣缸的伸縮桿伸縮帶動所述高溫恒溫水箱和所述低溫恒溫水箱在所述導(dǎo)軌上水平滑動運動。

4.如權(quán)利要求1所述的用于半導(dǎo)體用石英板的拋光上盤裝置，其特征在于，所述吸盤裝置包括縱截面為倒T字型的吸盤外殼，所述吸盤外殼的豎段為中空圓柱形結(jié)構(gòu)，所述吸盤外殼的橫段為底面敞開的圓盤結(jié)構(gòu)，所述吸盤外殼橫段內(nèi)設(shè)圓盤狀的吸盤面，所述吸盤面底面與所述吸盤外殼的橫段底面齊平，所述吸盤面上排列設(shè)置多個吸盤氣缸，每個所述吸盤氣缸中安裝有氣缸活塞，每個所述氣缸活塞與按壓柄軸連接，所述按壓柄軸內(nèi)置在所述吸盤外殼中且穿過所述吸盤外殼的豎段伸出于所述吸盤外殼頂部；

所述吸盤外殼的豎段外和所述按壓柄軸的伸出部分外套設(shè)有圓環(huán)狀手柄，所述手柄內(nèi)壁上設(shè)有一圈限位凸起，所述按壓柄軸的伸出部分上外表面設(shè)有一圈限位凸緣，所述按壓柄軸的伸出部分外表面纏繞有壓力彈簧，所述壓力彈簧位于所述吸盤外殼的豎段頂部和所述限位凸緣之間，所述按壓柄軸的限位凸緣限制在所述限位凸起下方；

所述吸盤外殼的豎段外表面還設(shè)有用于卡接所述加壓卡槽的卡接結(jié)構(gòu)。

5.如權(quán)利要求4所述的用于半導(dǎo)體用石英板的拋光上盤裝置，其特征在于，所述手柄的內(nèi)壁上從下至上設(shè)有內(nèi)螺紋，所述吸盤外殼的豎段外表面、所述按壓柄軸的伸出部分外表面分別設(shè)有與所述內(nèi)螺紋螺紋連接的外螺紋。

6.如權(quán)利要求4所述的用于半導(dǎo)體用石英板的拋光上盤裝置，其特征在于，所述吸盤外殼的豎段外表面設(shè)有一圈第一凸緣，所述第一凸緣頂部設(shè)有一圈第二凸緣，所述第一凸緣的底面連接所述吸盤外殼的橫段，所述第二凸緣上方為所述手柄；

所述第二凸緣的圓周表面設(shè)置至少一個用于卡接所述加壓卡槽的凸起，所述加壓卡槽包括上下聯(lián)通的圓形的加壓通槽，所述加壓通槽的內(nèi)壁圓周表面向外挖設(shè)有至少一個加壓卡口，所述加壓卡口的長寬大于所述凸起的長寬，所述第二凸緣的直徑小于所述加壓通槽的直徑，所述吸盤外殼的橫段外徑大于所述加壓通槽的直徑；

所述第一凸緣、所述第二凸緣和所述凸起形成所述卡接結(jié)構(gòu)；

所述吸盤外殼的橫段頂面到所述第二凸緣的底面距離大于所述加壓卡槽厚度。