[發明專利]一種諧振器的調頻方法在審
| 申請號： | 202110006473.2 | 申請日： | 2021-01-05 |
| 公開（公告）號： | CN112787616A | 公開（公告）日： | 2021-05-11 |
| 發明（設計）人： | 孫成亮;谷曦宇;國世上;周杰;徐沁文;高超;曲遠航 | 申請（專利權）人： | 武漢大學 |
| 主分類號： | H03H9/02 | 分類號： | H03H9/02 |
| 代理公司： | 武漢科皓知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 42222 | 代理人： | 許蓮英 |
| 地址： | 430072 湖*** | 國省代碼： | 湖北;42 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 諧振器 調頻 方法 | ||
【權利要求書】：
1.一種諧振器的調頻方法，其特征在于：
所述諧振器由下電極、壓電層、上電極依次疊加；
所述的壓電層上部電極寬度小于或大于下部電極寬度；
所述壓電層的材料刻蝕形成的截面形狀可圖案化為：圓形、正方形、矩形、規則多邊形或不規則多邊形；
所述壓電材料包括鈮酸鋰、鉭酸鋰、氮化鋁、鈧摻雜氮化鋁、PZT或ZnO；
所述電極截面要求的形狀可為：正方形、矩形、規則多邊形或不規則多邊形；
所述嵌入型電極的材料為鉑、鉬、銅、鋁、金或鎢。
2.根據權利要求1所述的諧振器的調頻方法，其特征在于：
所述調頻方法包括以下步驟：
固定諧振器下電極的寬度，來調節電極的相對金屬率，從而調節電極損耗與壓電層的壓電參數，通過調節上電極的寬度來調節諧振器的諧振頻率；
固定諧振器上電極的寬度，來調節電極的相對金屬率，從而調節電極損耗與壓電層的壓電參數，通過調節下電極的寬度來調節諧振器的諧振頻率。
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