[發明專利]驅動背板的制作方法、驅動背板及顯示裝置

在審

• 申請號: 202110005554.0
• 申請日: 2021-01-05
• 公開（公告）號: CN114725126A
• 公開（公告）日: 2022-07-08
• 發明（設計）人: 許哲睿;劉禹杉
• 申請（專利權）人: 北京小米移動軟件有限公司
• 主分類號: H01L27/12
• 分類號: H01L27/12;H01L27/32;H01L21/77;G02F1/1362
• 代理公司: 北京鉦霖知識產權代理有限公司 11722
• 代理人: 李志新;劉亞平

1.一種驅動背板，其特征在于，包括：

薄膜晶體管；

氧化銦錫ITO電極；

金屬連接層，位于所述薄膜晶體管與所述氧化銦錫ITO電極之間；

第一有機平坦化層，位于所述氧化銦錫ITO電極與所述金屬連接層之間。

2.如權利要求1所述的驅動背板，其特征在于，所述第一有機平坦化層采用有機絕緣感光材料。

3.如權利要求1或2所述的驅動背板，其特征在于，所述第一有機平坦化層的厚度為大于2000nm。

4.如權利要求1所述的驅動背板，其特征在于，所述氧化銦錫ITO電極通過所述金屬連接層與所述薄膜晶體管電性連接。

5.如權利要求1所述的驅動背板，其特征在于，所述驅動背板還包括：

第二有機平坦化層，位于所述薄膜晶體管和所述金屬連接層之間。

6.一種顯示裝置，其特征在于，所述顯示裝置包括如權利要求1-5任一項所述的驅動背板。

7.一種驅動背板的制作方法，其特征在于，所述方法包括：

形成薄膜晶體管和金屬連接層；

在所述金屬連接層上，形成第一有機平坦化層；

在所述第一有機平坦化層上沉積氧化銦錫ITO電極層，并形成氧化銦錫ITO電極。

8.根據權利要求7所述的驅動背板的制作方法，其特征在于，所述在所述金屬連接層上，形成第一有機平坦化層，包括：

采用涂布工藝，在所述金屬連接層上涂布形成第一有機平坦化層。

9.根據權利要求7所述的驅動背板的制作方法，其特征在于，采用涂布工藝，在所述金屬連接層上涂布形成第一有機平坦化層，包括：

在所述金屬連接層上涂布有機絕緣感光材料；

通過高溫烘烤去除所述有機絕緣感光材料中的溶劑部分，形成所述第一有機平坦化層。

10.根據權利要求7所述的驅動背板的制作方法，其特征在于，所述方法還包括：

在所述薄膜晶體管和所述金屬連接層之間形成第二有機平坦化層；

對所述第一有機平坦化層和所述第二有機平坦化層進行過孔工藝，使所述氧化銦錫ITO電極通過所述金屬連接層與所述薄膜晶體管電性連接。