[發明專利]一種制備表面改性的氧化鈰顆粒及含其的拋光液的方法有效
| 申請號： | 202110003323.6 | 申請日： | 2021-01-04 |
| 公開（公告）號： | CN112778970B | 公開（公告）日： | 2022-05-10 |
| 發明（設計）人： | 王溯;蔣闖;馬麗;寇浩東;孫濤;章玲然;張德賀;秦長春 | 申請（專利權）人： | 上海暉研材料科技有限公司 |
| 主分類號： | C09K3/14 | 分類號： | C09K3/14;C09C1/00;C09C3/12;C09G1/02;H01L21/311 |
| 代理公司： | 上海弼興律師事務所 31283 | 代理人： | 王衛彬;何敏清 |
| 地址： | 201616 上海市松江*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 制備 表面 改性 氧化 顆粒 拋光 方法 | ||
1.一種氧化鈰顆粒的改性方法，其特征在于，其包括下列步驟，在如式I所示的改性劑的作用下，將氧化鈰進行改性，得表面改性的氧化鈰顆粒；
其中，各R獨立地為氨基、“被一個或多個R1取代的C1-C6烷基”、C2-C6烯基、“被一個或多個R4取代的硅基”或“被一個或兩個R3取代的丙烯酰基”；
各R1獨立地為鹵素；
各R3獨立地為C1-C6烷基；
各R4獨立地為C1-C6烷基；
所述的如式I所示的改性劑與所述的氧化鈰的質量比為1∶(5-10)；
所述的改性包括以下步驟：水中，將所述如式I所示的改性劑、氧化鈰和聚合物助劑混合，用pH調節劑將pH值調節為4-7，在30℃-100℃下反應，得所述的表面改性的氧化鈰顆粒；
所述的改性中，所述的聚合物助劑為聚衣康酸或聚馬來酸；
所述的聚合物助劑與所述的氧化鈰的質量比為1∶25。
2.如權利要求1所述的氧化鈰顆粒的改性方法，其特征在于，
當各R獨立地為“被一個或多個R1取代的C1-C6烷基”時，所述的C1-C6烷基為C1-C4烷基；
和/或，當各R獨立地為C2-C6烯基時，所述的C2-C6烯基為C2-C4烯基；
和/或，當各R1獨立地為鹵素時，所述的鹵素為氟、氯、溴或碘；
和/或，當各R4獨立地為C1-C6烷基時，所述的C1-C6烷基為C1-C4烷基；
和/或，當各R3獨立地為C1-C6烷基時，所述的C1-C6烷基為C1-C4烷基；
和/或，所述的多個為2或3個。
3.如權利要求1所述的氧化鈰顆粒的改性方法，其特征在于，當各R獨立地為“被一個或多個R1取代的C1-C6烷基”時，所述的C1-C6烷基為甲基、乙基、正丙基、異丙基、正丁基、異丁基或叔丁基；
和/或，當各R獨立地為C2-C6烯基時，所述的C2-C6烯基為
和/或，當各R1獨立地為鹵素時，所述的鹵素為氯；
和/或，當各R4獨立地為C1-C6烷基時，所述的C1-C6烷基為甲基、乙基、正丙基、異丙基、正丁基、異丁基或叔丁基；
和/或，當各R3獨立地為C1-C6烷基時，所述的C1-C6烷基為甲基、乙基、正丙基、異丙基、正丁基、異丁基或叔丁基。
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