[發(fā)明專利]一種諧振型氣體傳感器

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202110002775.2
• 申請日: 2021-01-04
• 公開（公告）號: CN112816419A
• 公開（公告）日: 2021-05-18
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 袁宇鵬;張祖?zhèn)?/a>;楊靖;王登攀;何香君
• 申請（專利權(quán)）人: 中國電子科技集團公司第二十六研究所;中電科技集團重慶聲光電有限公司
• 主分類號: G01N21/17
• 分類號: G01N21/17
• 代理公司: 重慶輝騰律師事務(wù)所 50215
• 代理人: 盧勝斌

1.一種諧振型氣體傳感器，包括：集成光源、光聲池、聲學(xué)探測器、電路層基板，所述電路層基板上設(shè)置集成光源和聲學(xué)探測器，集成光源上設(shè)置有濾光片，其特征在于，所述光聲池為半封閉腔體，所述光聲池與電路層基板的形狀結(jié)構(gòu)相適應(yīng)且共同組合成帶孔的封閉腔體，電路層基板上設(shè)置的集成光源、光聲池、聲學(xué)探測器包裹于光聲池的腔體內(nèi)；所述光聲池包括一個支撐骨架和多個諧振面，支撐骨架和諧振面粘連組合成半封閉腔體，諧振面中至少有一個面較薄，諧振面中的任意一面或多面開設(shè)有一個或者多個較小的氣孔，氣孔外側(cè)設(shè)置有防水透氣膜或防水透聲膜。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種諧振型氣體傳感器，其特征在于，所述光聲池為長方體形狀，包括1個六面體支撐骨架和5個諧振面，5個諧振面中的任意一面或多面開設(shè)有一個或者多個較小的氣孔；氣孔外側(cè)設(shè)置有防水透氣膜或防水透聲膜。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種諧振型氣體傳感器，其特征在于，所述光聲池為圓柱體形狀，包括1個圓柱體框架和2個諧振面，2個諧振面中的任意一面或多面開設(shè)有一個或者多個較小的氣孔；氣孔外側(cè)設(shè)置有防水透氣膜或防水透聲膜，組成開設(shè)有氣孔的半封閉腔體。

4.根據(jù)權(quán)利要求1～3任一所述的一種諧振型氣體傳感器，其特征在于，所述支撐骨架采用具有較強剛度、楊氏模量較大、易加工的金屬或合金材料，或者采用硅、樹脂、亞克力材料。

5.根據(jù)權(quán)利要求2～3任一所述的一種諧振型氣體傳感器，其特征在于，諧振面采用楊氏模量較低的柔性薄膜材料。