[發(fā)明專利]研磨墊修整器及包括其的化學(xué)機械研磨設(shè)備在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 202110001831.0 | 申請日： | 2021-01-04 |
| 公開（公告）號： | CN112775838A | 公開（公告）日： | 2021-05-11 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 汪亞 | 申請（專利權(quán)）人： | 長江存儲科技有限責(zé)任公司 |
| 主分類號： | B24B53/017 | 分類號： | B24B53/017;B24B51/00;B24B37/00;B24B57/02 |
| 代理公司： | 北京成創(chuàng)同維知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11449 | 代理人： | 蔡純;劉靜 |
| 地址： | 430074 湖北省武漢*** | 國省代碼： | 湖北;42 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 研磨 修整 包括 化學(xué) 機械 設(shè)備 | ||
本發(fā)明公開了一種研磨墊修整器及包括其的化學(xué)機械研磨設(shè)備。根據(jù)本發(fā)明實施例的研磨墊修整器包括機械臂；第一修整盤；第二修整盤，與所述第一修整盤固定連接，所述機械臂活動連接所述第一修整盤和所述第二修整盤，以使所述第一修整盤和所述第二修整盤在不同工作時間位于修整工位，以對所述研磨墊進行修整。根據(jù)本發(fā)明實施例的研磨墊修整器及包括其的化學(xué)機械研磨設(shè)備，能夠延長研磨墊的使用壽命，并減少設(shè)備的維護時間。
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種研磨墊修整器及包括其的化學(xué)機械研磨設(shè)備。
背景技術(shù)
化學(xué)機械研磨(Chemical Mechanical Polishing，CMP)是目前最有效、最成熟的平坦化技術(shù)，被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造中。研磨墊(Pad)和修整盤(Disk)是CMP技術(shù)中的主要耗材。在經(jīng)過一段時間的研磨(拋光)后，研磨墊表面會變得光滑，甚至釉面，會降低研磨過程中的材料去除率和拋光均勻性，因此，需要在研磨過程中使用研磨墊修整器對研磨墊進行修整，以使研磨墊維持所需的粗糙度，確保其使用功能。在研磨墊修整器對研磨墊進行修整的過程中，修整盤與研磨墊直接接觸，修整過程會造成修整盤的損耗。
在現(xiàn)有技術(shù)中，研磨墊和修整盤是同時維護的。修整盤和研磨墊中的任意一個需要維護時，配套使用的另一個即使仍可使用，也需停止工作，生產(chǎn)效率低下。
因此，希望能有一種新的研磨墊修整器及包括其的化學(xué)機械研磨設(shè)備，能夠克服上述問題。
發(fā)明內(nèi)容
鑒于上述問題，本發(fā)明的目的在于提供一種研磨墊修整器及包括其的化學(xué)機械研磨設(shè)備，從而延長研磨墊的使用壽命，并減少設(shè)備的維護時間。
根據(jù)本發(fā)明的一方面，提供一種研磨墊修整器，包括機械臂；第一修整盤；第二修整盤，與所述第一修整盤固定連接，所述機械臂活動連接所述第一修整盤和所述第二修整盤，以使所述第一修整盤和所述第二修整盤在不同工作時間位于修整工位，以對所述研磨墊進行修整。
優(yōu)選地，所述機械臂活動連接所述第一修整盤和所述第二修整盤，以在所述修整工位處實現(xiàn)所述第一修整盤和所述第二修整盤的切換，其中，在第一工作時間，所述第一修整盤位于所述修整工位；在第二工作時間，所述第二修整盤位于所述修整工位；在第三工作時間，所述機械臂將所述第二修整盤從非修整工位處移動至所述修整工位處。
優(yōu)選地，所述機械臂包括機械臂主體；以及切換頭，固定連接所述第一修整盤和所述第二修整盤，所述切換頭活動連接所述機械臂主體，以切換所述第一修整盤或所述第二修整盤至所述修整工位。
優(yōu)選地，所述機械臂還包括固定件，分別與所述機械臂主體和所述切換頭相連接，用于在所述第一修整盤和/或所述第二修整盤位于所述修整工位時，固定所述第一修整盤和/或所述第二修整盤。
優(yōu)選地，所述第一修整盤與所述第二修整盤位于同一條軸線上，且所述第一修整盤的修整表面與所述第二修整盤的修整表面相背。
優(yōu)選地，所述第一修整盤和所述第二修整盤設(shè)置在所述切換頭的同側(cè)；所述第一修整盤和/或所述第二修整盤的修整表面與所述切換頭的軸線的夾角為一銳角。
優(yōu)選地，所述研磨墊修整器還包括控制裝置，與所述機械臂相連接，用于控制所述第一修整盤和所述第二修整盤的切換和/或切換后的修整盤的校準(zhǔn)。
優(yōu)選地，所述研磨墊修整器還包括檢測裝置，用于檢測所述第一修整盤和/或所述第二修整盤的壽命情況，其中，所述控制裝置與所述檢測裝置相連接以接收所述壽命情況，并根據(jù)所述壽命情況得到控制信號；所述控制信號用于控制所述第一修整盤和/或所述第二修整盤的切換。
優(yōu)選地，所述研磨墊修整器還包括轉(zhuǎn)動臺，與所述機械臂相連接，用于所述機械臂的移動和/或轉(zhuǎn)動。
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