[發明專利]三自由度精密微位移定位平臺

在審

• 申請號: 202110000515.1
• 申請日: 2021-01-04
• 公開（公告）號: CN112720374A
• 公開（公告）日: 2021-04-30
• 發明（設計）人: 張騰;張士軍;孟繁勛
• 申請（專利權）人: 山東建筑大學
• 主分類號: B25H1/00
• 分類號: B25H1/00;H02N2/02
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種三自由度精密微位移定位平臺，其特征是，包括：驅動單元、運動平臺、工作臺；工作臺上設有螺栓孔與驅動單元通過螺栓固定連接，驅動單元通過第二級放大機構輸出桿輸出端柔性鉸鏈和第二級放大機構輸出桿輸出端柔性鉸鏈固定連接在運動平臺的一側，驅動單元是對稱結構，且有兩級位移放大機構，上述的驅動單元設有四組，分別與工作臺固定連接且均勻分布在運動平臺四周。

2.根據權利要求1三自由度精密微位移定位平臺，其特征是，驅動單元一機構包括：基座，壓電陶瓷，鋼珠，楔形機構部分一，楔形機構部分二，折疊彈片，折疊彈片固定機構，外側螺栓孔，過渡柔性鉸鏈，外側推桿，第一級放大機構外側輸入端柔性鉸鏈，第一級放大機構外側固定端柔性鉸鏈，第一級放大機構外側輸入桿，第二級放大機構輸出桿，第二級放大機構輸出桿輸出端柔性鉸鏈，第二級放大機構輸出桿固定端柔性鉸鏈，第二級放大機構輸出桿輸入端柔性鉸鏈，內側推桿，第一級放大機構內側輸出桿上側柔性鉸鏈，第一級放大機構內側輸出桿，第一級放大機構內側輸出桿固定端柔性鉸鏈，第一級放大機構內側輸出桿輸入端柔性鉸鏈，內側螺栓孔；第一級放大機構外側輸入桿通過第一級放大機構外側固定端柔性鉸鏈固定連接在基座“山”型左側上方，第一級放大機構外側固定端柔性鉸鏈固定連接第一級放大機構外側輸入桿靠近左側端部下方的位置，第一級放大機構外側輸入端柔性鉸鏈固定連接在第一級放大機構外側輸入桿下部，并位于第一級放大機構外側固定端柔性鉸鏈內側，第一級放大機構內側輸出桿通過第一級放大機構內側輸出桿固定端柔性鉸鏈固定連接在基座“山”型中間的“T”型機構左側，第一級放大機構內側放大機構輸出桿輸入端柔性鉸鏈固定連接在第一級放大機構內側輸出桿靠近左側端部的下方位置，第一級放大機構內側輸出桿固定端柔性鉸鏈在第一級放大機構內側第二級放大機構輸出桿輸入端柔性鉸鏈內側，第一級放大機構外側輸入桿和第一級放大機構內側輸出桿橫向布置，第一級放大機構外側輸入桿在第一級放大機構內側輸出桿上側，外側推桿固定連接在第一級放大機構外側輸入端柔性鉸鏈下方，楔形機構部分二上方由過渡柔性鉸鏈固定連接外側推桿與第一級放大機構內側輸出桿輸入端柔性鉸鏈下方，第二級放大機構輸出桿在第一級放大機構外側輸入桿上側，第二級放大機構輸出桿輸入端柔性鉸鏈固定連接在第二級放大機構輸出桿靠近右側端部下方的位置，第二級放大機構輸出桿固定端柔性鉸鏈固定連接在第二級放大機構輸出桿輸入端柔性鉸鏈的內側；第二級放大機構輸出桿輸出端柔性鉸鏈固定連接靠近左側端部輸出桿第二級放大機構輸出桿上方的位置，第二級放大機構輸出桿輸入端柔性鉸鏈下方固定連接內側推桿，內側推桿與第一級放大機構內側輸出桿上側柔性鉸鏈固定連接；第一級放大機構內側輸出桿上側柔性鉸鏈固定連接在靠近右側端部第一級放大機構內側輸出桿上方的位置，第二級放大機構輸出桿固定端柔性鉸鏈固定連接靠近第一級放大機構外側輸入桿上方的位置，折疊彈片位于折疊彈片固定機構下側，折疊彈片左側與基座一緊密連接，折疊彈片右側與楔形機構部分一左側緊密連接，壓電陶瓷位于基座一“山”型內部左側的位置，壓電陶瓷左側中心位置通過鋼珠與楔形機構部分一右側緊密連接，楔形機構部分一與楔形機構部分二緊密連接。

3.根據權利要求1三自由度精密微位移定位平臺，其特征是，驅動單元通過第二級放大機構輸出桿輸出端柔性鉸鏈與第二級放大機構輸出桿輸出端柔性鉸鏈與運動平臺固定連接，上述的驅動單元共有四組且均勻分布在運動平臺周圍。

4.根據權利要求1三自由度精密微位移定位平臺，其特征是，每個驅動單元有兩個輸出端且相互獨立，運動平臺實現三個自由度的運動。

5.根據權利要求1三自由度精密微位移定位平臺，其特征是，采取楔形機構且壓電陶瓷驅動水平放置，減少了機構的體積。

6.根據權利要求1三自由度精密微位移定位平臺，其特征是，采用楔形機構部分一與壓電陶瓷之間用鋼珠連接，減少了機構的運動的誤差。

7.根據權利要求1三自由度精密微位移定位平臺，其特征是，采用柔性鉸接的方式進行連接，各桿件之間的間隙和摩擦力較小，能降低誤差,提高精度。

8.根據權利要求1三自由度精密微位移定位平臺，其特征是，采用了二級放大機構，運動平臺能實現更大的位移。