[發明專利]表面形狀測定機及表面形狀測定方法

有效

• 申請號: 202080080859.1
• 申請日: 2020-11-05
• 公開（公告）號: CN114729797B
• 公開（公告）日: 2023-04-25
• 發明（設計）人: 關本倫裕
• 申請（專利權）人: 株式會社東京精密
• 主分類號: G01B5/20
• 分類號: G01B5/20
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司 11021
• 代理人: 孫尚昆

1.一種表面形狀測定機，其具備：

旋轉工作臺，其載置工件，并以旋轉中心為中心旋轉自如；以及

檢測器，其具有與載置于所述旋轉工作臺的工件接觸的測頭，并檢測所述測頭的位移，

其中，

所述旋轉工作臺具有用于調節所述工件的中心和所述旋轉中心的定心機構，

所述表面形狀測定機具備裝卸自如地設置于所述旋轉工作臺之上的分度工作臺，所述分度工作臺構成為能夠沿著與所述旋轉中心正交的第一軸以及第二軸進行分度進給，

所述表面形狀測定機具備偏心載荷抵消單元，該偏心載荷抵消單元抵消伴隨著所述分度工作臺的所述分度進給產生的偏心載荷，所述偏心載荷是搭載于所述旋轉工作臺的旋轉軸承之上的裝載物的重心與所述旋轉中心的偏移。

2.根據權利要求1所述的表面形狀測定機，其中，

所述表面形狀測定機具備通過檢知所述旋轉中心的傾倒量而取得所述偏心載荷的傳感器。

3.根據權利要求1或2所述的表面形狀測定機，其中，

所述表面形狀測定機具備：共用的驅動電路，其驅動所述旋轉工作臺和所述分度工作臺；切換電路，其在所述旋轉工作臺與所述分度工作臺之間切換所述驅動電路；以及裝卸機構，其將所述切換電路與所述分度工作臺電連接。

4.根據權利要求1或2所述的表面形狀測定機，其中，

所述分度工作臺的最大可動范圍比所述旋轉工作臺的最大可動范圍大。

5.根據權利要求1或2所述的表面形狀測定機，其中，

所述分度工作臺的移動速度比所述旋轉工作臺的移動速度大。

6.根據權利要求1或2所述的表面形狀測定機，其中，

所述偏心載荷抵消單元為設置于所述分度工作臺的配重，所述配重配置為能夠在所述分度工作臺內移動。

7.根據權利要求1或2所述的表面形狀測定機，其中，

所述偏心載荷抵消單元為所述旋轉工作臺的移動。

8.一種表面形狀測定方法，其使用權利要求1至7中任一項所述的表面形狀測定機，其中，

所述表面形狀測定方法包括：

載置步驟，將工件載置于所述旋轉工作臺及所述分度工作臺中的任一個；以及

檢測步驟，利用檢測器檢測與所述工件接觸的測頭的位移，

在所述工件載置于所述分度工作臺的情況下，在所述檢測步驟之前，包括抵消偏心載荷的抵消步驟。